闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法与流程

文档序号:11278470阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于静电除尘原理的带有自清洁光窗的闭环放电激励脉冲重频气体激光器及其运行方法,激光器包括激光器主体、脉冲放电泵浦源、谐振腔、自清洁光窗、气体循环装置、气体供给单元和真空单元;自清洁光窗由光窗清洁器和窗口构成;光窗清洁器包括消能箱、气管和气体过滤器。气体过滤器基于静电除尘原理,包括方形外腔、进气口、多层金属网、静电除尘电离区、静电除尘收集区、灰斗、末端滤网、出气口和高压直流电源。激光器运行时,从气体循环装置中风机出口处引出一定流量的工作气体,该气流在气体过滤器中经静电除尘和两级过滤除去前一个脉冲放电产生的大量微粒,转变成清洁的工作气体,并送至激光器光窗,实现激光器光窗实时自清洁。

技术研发人员:黄超;黄珂;安晓霞;马连英;李高鹏;雷飞
受保护的技术使用者:西北核技术研究所
技术研发日:2017.05.22
技术公布日:2017.09.26
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