一种基于反模的“I”型结构PDMS基体的制造方法与流程

文档序号:11776845阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于反模的“I”型结构PDMS基体的制造方法。其步骤有:1.硅模具的制备,得到具有台阶状凸点的硅模具;2.PDMS反模具的制备;3.PDMS反模具的表面处理4.利用PDMS反模具倒模:将处理后的PDMS反模具固定在硅片上,旋涂、抽真空、再旋涂、热烘至固态,依次使用丙酮和无水乙醇超声清洗,分离PDMS反模具和“I”型结构PDMS基体,烘干,制得“I”型结构PDMS基体。制得的PDMS基体拥有特殊的“I”型结构图案化阵列,其在力学性能上具有明显的应变隔离效应,在物理性能上具有较强的表面疏水性,使得其在微机电系统、医疗诊断、生物材料等柔性可延展电子领域具有特殊的应用价值。

技术研发人员:赵晋生;师明星
受保护的技术使用者:西南交通大学
技术研发日:2017.06.01
技术公布日:2017.10.20
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