流体流量调节装置及流体输送设备的制作方法

本发明涉及一种液体流量的调节结构，特别是一种可适用于半导体加工领域的流体流量调节装置及流体输送设备。

背景技术：

很多流体输送设备，需要使用气体或者液体作为工作物质，流体在设备里面通过诸如塑胶管道流通。特别是，在半导体湿法工艺设备中，诸如晶圆的镀膜、清洗、蚀刻、去胶等设备，需要采用很多粗细不一的塑胶管道。

目前，很多用流体作为工作物质的设备，需要把流体掺混均匀，比如把化学药液掺混均匀，使流体各处浓度一致，就需要泵驱动在管路中快速循环，泵的功率大，流体循环速度才能快，循环速度慢了流体均匀性达不到要求，循环速度快就使泵转速快多耗能源，泵磨损老化加快，寿命缩短，泵用几年就要换新的；很多流体循环管路需要调节流量，流量都有设计余量，从最大流量开始，把流量调小到刚好能满足使用要求，节省流体，又减少流体循环动力消耗。现有技术是在流体管路中串联流量调节阀，在半导体加工设备的流体管路中，流量调节阀调节流量时，零件之间会摩擦产生很多微小颗粒物混入流体，影响加工质量，就用特别好非常贵的材料做阀，减少颗粒物的产生，这样的流量调节阀很贵，增加了成本，管路中串联流量调节阀还增加了管接头数量，占用设备内空间增多，不利于设备结构紧凑化。

技术实现要素：

本发明的目的之一是为了克服现有技术中的不足，提供一种结构精简且便利于操作的流体流量调节装置及流体输送设备。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：

本发明提供一种流体流量调节装置。所述流体流量调节装置包括支撑件、保持板及抵接件。所述保持板设置在所述支撑件上，所述保持板用于支撑流体传输装置。所述抵接件设置在所述支撑件上，并与所述保持板正对设置；所述抵接件相对于所述保持板可靠近及远离地设置，以挤压及松开流体传输装置。

优选地，所述支撑件包括支撑柱及安装板。所述安装板设置在所述支撑柱上。所述保持板设置在所述支撑柱上，并可与所述安装板正对设置。所述抵接件设置在所述安装板上。

优选地，所述安装板上设置有螺纹孔。所述抵接件包括螺杆。所述螺杆与所述螺纹孔螺纹配合并可旋紧及旋松地设置，以使得所述抵接件可靠近及远离所述保持板地设置。

优选地，所述保持板相对于所述支撑柱可转动地设置，以可使得所述保持板转动至与至少部分所述安装板错位设置。

优选地，所述的流体流量调节装置还包括第二支撑柱。所述第二支撑柱与所述支撑柱间隔设置。所述安装板同时设置在所述第二支撑柱及所述支撑柱上。

优选地，所述保持板相对于所述支撑柱可转动地设置。所述保持板设置有夹持部。所述夹持部可夹持及松开所述第二支撑柱地设置。

优选地，所述第二支撑柱的自由端设置有台阶。所述流体流量调节装置还包括紧固螺母。所述紧固螺母与所述第二支撑柱的自由端通过螺纹紧固配合。所述夹持部设置在所述紧固螺母与所述台阶之间。

优选地，所述保持板上设置有限位槽。所述限位槽用于容置部分流体传输装置。

优选地，所述的流体流量调节装置还包括驱动装置。所述驱动装置可驱动所述抵接件靠近及远离所述保持板地设置。

优选地，所述流体流量调节装置用于半导体湿法加工设备。

本发明还提供一种流体输送设备。所述流体输送设备包括根据前述中任一项所述的流体流量调节装置及流体传输装置。所述流体传输装置延伸至所述保持板上。

优选地，所述流体传输装置包括传输管及保持管所述保持管套设在所述传输管的外周壁上。所述保持管为范性形变结构。

优选地，所述流体流量调节装置为可产生紊流的调节装置。相应地，所述流体流量调节装置在实际应用中可使得流过的流体产生相应的紊流。

与现有技术相比，本发明流体流量调节装置的整体结构精简、便于操作。所述流量调节装置作用于流体传输装置的外部，可以避免采用流量调节阀串联进入管路旋转调节流量时产生颗粒物进入流体而影响流体质量，保证了生产品质，而且节省了采购阀门的成本。同时，所述流体流量调节装置通过缩小传输管的横截面积，流体流过此处，就会发生紊流，使流体掺混均匀，提升诸如半导体等生产过程中的产品品质。产生紊流使流体更容易达到浓度一致，适当降低泵的转速，降低流体循环速度，也能达到之前的效果，节能增加泵的寿命。

附图说明

图1为本发明提供的一种流体流量调节装置在保持板与第二支撑柱分离设置时的立体结构示意图。

图2为图1的流体流量调节装置在保持板转动至与第二支撑柱保持一体时的立体结构示意图。

图3为本发明提供的一种流体输送设备的立体结构示意图。

图4为图3的流体输送设备的又一种实施方式的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行详细的描述：

实施例一：

请参阅图1及图2，其为本发明提供的一种流体流量调节装置101。所述流体流量调节装置101包括支撑件10、保持板30及抵接件50。所述保持板30设置在所述支撑件10上。所述抵接件50设置在所述支撑件10上，并可靠近及远离所述保持板30地设置。

所述支撑件10的具体形状及构造只要能够满足相应的支撑要求即可。为了便利于实现稳固的支撑，所述支撑件10包括支撑柱11及安装板13。所述支撑柱11用于支撑其他结构。所述支撑柱11沿平行与所述抵接件50靠近及远离所述保持板30的方向延伸设置。所述支撑柱11的自由端设置有外螺纹。所述安装板13设置在所述支撑柱11上。所述安装板13可用于直接支撑所述抵接件50。为了便利于所述抵接件50靠近及远离地设置，所述安装板13上设置有螺纹孔。所述螺纹孔用于与所述抵接件50螺纹配合。

为了进一步地稳固支撑其他结构，所述支撑件10还包括第二支撑柱15。所述第二支撑柱15与所述支撑柱11间隔设置。具体地，所述第二支撑柱15平行于所述支撑柱11设置。也即是，所述第二支撑柱15沿平行于所述抵接件50靠近及远离所述保持板30的方向延伸设置。为了与下述紧固螺母配合，所述第二支撑柱15的自由端设置有第二外螺纹。为了稳固保持所述保持板30，所述第二支撑柱15的自由端设置有台阶152。

为了进一步地使得所述支撑件10提供稳固支撑，所述支撑件10还包括第二安装板17。所述第二安装板17设置在所述支撑柱11上。进一步地，所述第二安装板17同时设置在所述第二支撑柱11上。具体地，所述第二支撑板17及所述安装板13均通过相应的通孔紧固套设在所述第二支撑柱15及所述支撑柱11上。为了便利于安装所述抵接件50，所述第二安装板17设置有通孔。为了稳固支撑所述抵接件50，所述第二安装板17设置有第二螺纹孔。所述第二螺纹孔与所述抵接件50螺纹配合。

所述保持板30设置在所述支撑件10上，用于支撑流体传输装置80。所述保持板30的具体形状及构造只要能够支撑所述流体传输装置80即可。在本实施例中，所述保持板30设置在所述支撑柱11上。所述保持板30可与所述抵接件50正对设置，从而可抵接相应的流体传输装置80。为了便利于使得所述抵接件50能够抵接或松开对应的流体传输装置80，所述保持板30相对于所述支撑柱11可转动地设置，从而可以移动至与至少部分所述抵接件50错位设置。也即是，所述流体流量调节装置101可以解除对相应的流体传输装置80的抵接。为了使得所述保持板30与所述抵接件50配合以实现对流体传输装置80更稳固地抵接，所述保持板30设置有夹持部32。所述夹持部32可夹持及松开所述第二支撑柱15地设置。所述夹持部32可以为机械手臂或夹子等结构。在本实施例中，所述夹持部32为凹槽。也相应地，至少部分所述第二支撑柱15可容置在所述凹槽内，从而实现彼此沿第二支撑柱15的径向的阻挡配合。

为了进一步将所述保持板30稳固保持在所述支撑柱11上，所述流体流量调节装置101包括对配紧固螺母41。所述对配紧固螺母41设置在所述支撑柱11的自由端上，并可旋紧及旋松地设置。也即是，当所述保持板30需要转动时，所述对配紧固螺母41旋松。当所述保持板30需要相对于固定时，所述对配紧固螺母41将保持板30旋紧并固定保持在所述支撑柱11上。

为了新一步将所述保持板30可稳固保持在所述第二支撑柱15上，所述流体流量调节装置101还包括紧固螺母45。所述紧固螺母45设置在所述第二支撑柱15的自由端上，并可旋紧及旋松地设置。也即是，当所述保持板30需要转动时，所述紧固螺母45旋松。当所述保持板30需要相对于固定时，所述紧固螺母45将保持板30旋紧并固定保持在所述第二支撑柱15上。具体地，所述紧固螺母45与所述第二支撑柱15的自由端通过螺纹紧固配合。相应地，所述夹持部32设置在所述紧固螺母45与所述台阶152之间。所述紧固螺母45可将所述夹持部32轴向抵接在所述台阶152上。

为了稳固支撑相应的液体输送装置80，所述保持板30上设置有限位槽34。所述限位槽34用于容置至少部分液体输送装置80。所述限位槽34可以为相应的圆弧倒角形状。

所述抵接件50的具体形状及构造只要能够抵接在液体输送装置80上，从而使得该液体输送装置80发生形变并使得其液体通过的横截面变化即可。所述抵接件50设置在所述支撑件10上，并可相对于所述保持件30靠近及远离。在本实施例中，为了便利于使得所述抵接件50提供稳固的抵接力及便利于实现靠近及远离的移动，所述抵接件50包括螺纹杆52。所述螺纹杆52穿过所述安装板13的螺纹孔，并与该螺纹孔通过螺纹配合而旋紧及旋松。进一步地，所述螺纹杆52穿过所述第二安装板13的第二螺纹孔，并与该第二螺纹孔通过螺纹配合而旋紧仅旋松。在本实施中，所述抵接件50的底端可以抵接在液体输送装置80上。可以想到的是，所述抵接件50可以通过人力实现相对于所述保持板30靠近及远离地操作。具体地，所述抵接件50通过旋紧、旋松所述螺纹杆52实现相对于所述保持板30靠近及远离地操作。

实施例二：

请参阅下述图4，本发明提供又一种流体流量调节装置101b。与前述实施例一不同的是，所述流体流量调节装置101b包括驱动装置70。所述驱动装置70驱动所述抵接件50靠近及远离所述保持板30地设置。

所述驱动装置70只要能够提供相应的动力即可。在本实施例中，为了提升操控精度，所述驱动装置70可以是伺服电机或步进电机。

为了便利于与所述驱动装置70精确配合，在本实施例中，所述流体流量调节装置101b的抵接件50b为带传动螺纹的电机轴。相应地，所述抵接件50b与所述驱动装置70螺纹配合。

实施例三：

请参阅图3，本发明提供一种液体输送设备103。所述液体输送设备103包括根据前述实施例记载的所述流体流量调节装置101及液体输送装置80。所述流体流量调节装置101可抵接在所述液体输送装置80上地设置。

部分所述液体输送装置80延伸至所述保持板30上。具体地，部分所述液体输送装置80延伸至容置在所述保持部30的限位槽34内。所述液体输送装置80的具体形状及规格根据需要而选择，只要能够实现相应的液体传输即可。在本实施例中，所述液体输送装置80包括弹性形变管81。譬如，所述液体输送装置80为可发生弹性形变的塑料管或橡胶管。所述弹性形变管81通过变形，使得横截面积发生变化，这样就能产生紊流掺混均匀流体，同时可以调节流量大小。同时，紊流掺混流体效果增强了，流体更容易达到浓度一致，适当降低泵的转速，降低流体循环速度，也能达到之前的效果，节能增加泵的寿命

为了便利于保持所述液体输送装置80的形变及相应的液体流量，所述液体输送设备103还包括保持管85。所述保持管85为范性形变结构。也即是，所述保持管85受到外力不能够恢复原来的形状。相应地，范性形变，即塑性形变，与弹性形变能够完全恢复原来的形状相对。

实施例四：

请参阅图4，本发明还提供一种液体输送设备103b。与前述实施例三不同的是，所述液体输送设备103b包括实施例二记载的流体流量调节装置101b。所述液体输送设备103b的装配关系可以参考前述实施例三。

以上仅为本发明较佳的实施例，并不用于局限本发明的保护范围，任何在本发明精神内的修改、等同替换或改进等，都涵盖在本发明的权利要求范围内。