一种基于布拉格相移光栅的电光调制器的制作方法

文档序号:11763750阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种基于布拉格相移光栅的电光调制器,其特征是,包括基底层、下波导层和上波导层,所述下波导层和上波导层顺序叠接在基底层的上表面上,所述上波导层的顶部设有等周期的布拉格光栅,布拉格光栅的中间位置设有相移结构,相移结构将布拉格光栅分成大小相同的2个光栅结构,所述基底层的宽度尺寸要大于下波导层的宽度尺寸、上波导层的宽度尺寸,基底层的上表面还设有电极。这种电光调制器结构尺寸小、传输损耗低、调制效率高,另外还具有工艺简单,易集成于CMOS集成电路的特点。

技术研发人员:肖经;王泉;韦启钦;刘平
受保护的技术使用者:桂林电子科技大学
文档号码:201720073868
技术研发日:2017.01.19
技术公布日:2017.10.20

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