传输装置监控系统的制作方法

本实用新型涉及设备技术领域，特别是涉及一种传输装置监控系统。

背景技术：

在半导体工厂中，需要通过机械手臂(传输装置)将晶圆盒(cassette或FOUP)放到机台上，并通过另一机械手臂(传输装置)将晶圆(wafer)放到机台内部的腔中。如果机械手臂的传送运动不平稳，则机械手臂的震动造成晶圆震动，从而产生较多的颗粒(particle)；特别是带动机械手臂的马达卡死时，还需要人工地将晶圆从腔或机械手臂上取下，很容易划伤晶圆，造成晶圆的报废。

在现有技术中，只能当马达或机械手臂出现异常时，进行问题部件的更换。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，提供一种传输装置监控系统，可以检测马达或机械手臂的传输装置的运动振幅，有利于对传输装置的寿命周期进行监控。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种传输装置监控系统，用于监控一传输装置的运动振幅，所述传输装置监控系统包括：

光发射器，所述光发射器发出一光；

光接收器，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及

根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的量的弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置。

可选的，所述传输装置监控系统还包括：

移动靶，所述移动靶中设置有一槽；

当所述传输装置静止时，所述光从所述槽中穿过，并照射到所述光接收器的接收面。

可选的，所述移动靶通过所述弹性单元连接所述传输装置。

可选的，所述移动靶的底端连接所述弹性单元。

可选的，所述槽为环形槽。

可选的，所述槽位于所述移动靶的侧壁。

可选的，所述槽为圆环形槽或方环形槽。

可选的，所述移动靶为圆柱形或方柱形。

可选的，所述传输装置监控系统还包括：

至少一改变所述光在所述槽内传播方向的反射板。

可选的，所述反射板设置在所述移动靶外，并与所述槽相对。

可选的，所述传输装置监控系统包括三个所述反射板，所述光在每个所述反射板处的传播方向改变90°。

可选的，所述槽具有两相邻的斜面，当所述传输装置震动时，至少部分所述光照射到所述斜面上，所述光接收器的接收面接收到的光减少或接受不到所述光。

可选的，所述槽具有一曲面，当所述传输装置震动时，至少部分所述光照射到所述曲面上，所述光接收器的接收面接收到的光减少或接受不到所述光。

可选的，所述光发射器通过所述弹性单元连接所述传输装置。

可选的，所述光接收器通过所述弹性单元连接所述传输装置。

可选的，所述弹性单元通过一固定座固定在所述传输装置上。

可选的，所述光发射器为激光发射器。

可选的，所述弹性单元为弹簧。

与现有技术相比，本实用新型提供的传输装置监控系统具有以下优点：

在本实用新型提供的传输装置监控系统中，所述传输装置监控系统包括光发射器、光接收器以及弹性单元，所述光发射器发出一光，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面，所述弹性单元可以根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的量。当传输装置静止时，所述光照射到所述接收面的量多；当所述传输装置移动时，所述传输装置带动所述弹性单元发生弹性形变，使所述光接收器接收所述光的量减少，因此可以根据所述光接收器接收所述光的量监控所述传输装置的运动状况，对传输装置的寿命周期进行监控。

附图说明

图1为本实用新型一实施例中传输装置监控系统的俯视图；。

图2为本实用新型一实施例中光在传输装置监控系统中传播时传输装置监控系统的主视图；

图3为本实用新型一实施例中光在传输装置监控系统中传播时传输装置监控系统的左视图。

具体实施方式

如背景技术所述，现有的马达或机械手臂的传输装置的运动的可靠性取法评估。发明人对现有技术研究发现，传输装置的寿命周期可以通过运行时震动幅度体现，例如，振幅小，则说明传输装置还可以进行长时间的可靠运行；如果振幅大，则说明传输装置有可能会出现异常情况。则可以通过监控传输装置的振幅，对传输装置的寿命周期进行监控。

发明人进一步研究发现，可以在传输装置上安装监控振幅的传输装置监控系统，通过监控传输装置的振幅，对传输装置的寿命周期进行监控。

结合上述研究，发明人提出一种传输装置监控系统，包括：

光发射器，所述光发射器发出一光；

光接收器，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及

根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的量的弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置。

当传输装置静止时，所述光照射到所述接收面的量多；当所述传输装置移动时，所述传输装置带动所述弹性单元发生弹性形变，使所述光接收器接收所述光的量减少，因此可以根据所述光接收器接收所述光的量监控所述传输装置的运动状况，对传输装置的寿命周期进行监控。

下面将结合示意图对本实用新型的传输装置监控系统进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

以下结合图1、图2和图3说明本实施例中的传输装置监控系统。所述传输装置监控系统1用于监控一传输装置的运动振幅，所述传输装置可以为传输晶圆的机械手臂或马达，或是用于传输晶圆盒的机械手臂或马达，只要是用于传输物品的机械传输装置，均在本实用新型的思想范围之内。

如图1所示，所述传输装置监控系统1包括光发射器110和光接收器120，所述光发射器120用于发出一光111，较佳的，所述光发射器120为激光发射器，所述光为激光，激光的直线传播性能好，可以提高监控的精度。所述光接收器120具有用于接收所述光111的接收面121，所述接收面121可以为曲面或平面。所述光111从所述光发射器110发出，被所述光接收器120接收，形成一个光的回路。

所述光发射器110和光接收器120均连接所述传输装置，所述光发射器110和光接收器120随所述传输装置运动。同时，所述光的回路也随所述传输装置运动。

此外，所述传输装置监控系统1还包括弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置，所述弹性单元根据所述传输装置的运动改变所述光接收器120接收所述光111的量，当所述传输装置静止时，所述光111照射到所述接收面121的量多；当所述传输装置移动时，特别是所述传输装置出现不稳抖动时，所述传输装置带动所述弹性单元发生弹性形变，使所述光接收器120接收所述光111的量减少，因此可以根据所述光接收器120接收所述光的量监控所述传输装置的运动状况。在本实施例中，所述弹性单元为弹簧。

较佳的，在本实施中，所述传输装置监控系统1还包括移动靶140，所述移动靶140中设置有一槽141。当所述传输装置静止时，所述光111从所述槽141中穿过，并照射到所述光接收器120的接收面121。

较佳的，所述移动靶140通过所述弹性单元连接所述传输装置。如图2所示，在本实施例中，所述移动靶140的底端连接所述弹性单元130。所述弹性单元130通过一固定座160固定在所述传输装置上，以感知所述传输装置的运动。

当所述传输装置移动时，特别是所述传输装置出现不稳抖动时，所述传输装置带动所述弹性单元130发生弹性形变，所述移动靶140由于是所述弹性单元130，所述移动靶140会随震动惯性上下左右或前后移动，当所述移动靶140移动时，所述槽141的侧面都会至少挡住部分所述光111，这样所述光接收器120接收所述光111的量减少，接收所述光111的量减少的越多，说明震动的越大。

较佳的，如图1所示，所述槽141为环形槽，当所述移动靶140在平面任意方向移动时，都至少有部分所述光111被所述槽141的侧面挡住。在本实施例中，所述槽141为圆环形槽，所述移动靶140为圆柱形。在其它实施例中，所述槽141还可以为方环形槽，所述移动靶140为方柱形。

较佳的，如图2和图3所示，所述槽141具有两相邻的斜面142、143，当所述传输装置震动时，至少部分所述光111照射到所述斜面142、143上，所述光接收器120的接收面121接收到的光111减少或接受不到所述光111。所述槽141包括两相邻的斜面142、143，当所述移动靶140在上下方向移动时，都至少有部分所述光111被所述槽141的侧面挡住。

在其它实施例中，所述槽141还可以具有一曲面，当所述传输装置震动时，至少部分所述光111照射到所述曲面上，所述光接收器120的接收面121接收到的光111减少或接受不到所述光111。所述槽141包括曲面，亦可以使得当所述移动靶140在上下方向移动时，都至少有部分所述光111被所述槽141的侧面挡住，亦在本实用新型的思想范围之内。

在本实施例中，所述槽141位于所述移动靶140的侧壁处，即可以在所述移动靶140的侧壁开槽，以形成所述槽141，可以使得所述光111方便地从所述移动靶140中穿过。

在本实施例中，所述传输装置监控系统1还包括至少一改变所述光111在所述槽141内传播方向的反射板，所述反射板设置在所述移动靶140外，并与所述槽141相对，所述反射板可以使得所述光111在环形的所述槽141内传播，并有利于增加光程，提高监控的准确度。较佳的，如图1所示，所述传输装置监控系统1包括三个所述反射板151、152、153，所述光111在每个所述反射板151、152、153处的传播方向改变90°。在图1中，所述光111经过所述反射板151、152、153的三次反射，最终形成一个环形回路。

所述传输装置监控系统1可以安装在运动的机械(传输装置)末端，通过所述光接收器120接收所述光111量的变化，可以将所述光111量的变化的信号传输给一运动分析软件(IEMS)，IEMS对运行的振幅进行实时监控。其中，IEMS为本领域的普通技术人员可以理解的，在此不作赘述。

通过IEMS监控设定limit(限制)报警线，这样可以时时监控，也可以根据实时监控的数据建立振幅图标(chart)，通过长期判断机械运动马达和运动部件的寿命点和预期的变化，通过比较以及合理的报警线的设定，切实做到真正的预防。

本实用新型的较佳实施例如上所述，但本实用新型并不限于上述实施例，例如，还可以不设置所述移动靶140，将所述光发射器110通过所述弹性单元连接所述传输装置，则当所述传输装置震动时，所述光发射器110随震动惯性上下左右前后移动，所述光接收器120接收到的光的量或位置发生改变，亦可以监控所述传输装置的运动，亦在本实用新型的思想范围之内；

此外，还可以所述光接收器120通过所述弹性单元连接所述传输装置，则当所述传输装置震动时，所述光接收器120随震动惯性上下左右前后移动，所述光接收器120接收到的光的量或位置发生改变，亦可以监控所述传输装置的运动，亦在本实用新型的思想范围之内。

综上，本实用新型提供一种传输装置监控系统，包括：光发射器，所述光发射器发出一光；光接收器，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的量的弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置。

当传输装置静止时，所述光照射到所述接收面的量多；当所述传输装置移动时，所述传输装置带动所述弹性单元发生弹性形变，使所述光接收器接收所述光的量减少，因此可以根据所述光接收器接收所述光的量监控所述传输装置的运动状况，对传输装置的寿命周期进行监控。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。