柔性薄膜电池的制作方法

技术特征：

1.一种柔性薄膜电池，该柔性薄膜电池包括柔性衬底和依次设置在所述柔性衬底上的背电极层、光吸收层、缓冲层、窗口层、导电层和上电极层，其特征在于，所述柔性衬底、所述背电极层、所述光吸收层、所述缓冲层、所述窗口层和所述导电层均具有陷光结构。

2.根据权利要求1所述的柔性薄膜电池，其特征在于，所述陷光结构包括多个凸起和/或凹坑，所述多个凸起和/或凹坑的形状各自独立地为圆锥体、圆台、棱锥、棱台、圆柱体、半球体、椭球体或不规则形状。

3.根据权利要求2所述的柔性薄膜电池，其特征在于，位于所述柔性衬底上的所述多个凸起和/或凹坑的高度为3-15μm；和/或

位于所述柔性衬底上的所述多个凸起和/或凹坑的任意面与水平面所成锐角为15°-90°；和/或

位于所述柔性衬底上的所述多个凸起和/或凹坑的宽度为1-50μm；和/或

位于所述柔性衬底上的所述多个凸起的间隔为0-5μm；和/或

位于所述柔性衬底上的所述多个凹坑的间隔为0-5μm。

4.根据权利要求3所述的柔性薄膜电池，其特征在于，位于所述柔性衬底上的所述多个凸起和/或凹坑的高度为3-8μm；和/或

位于所述柔性衬底上的所述多个凸起和/或凹坑的任意面与水平面所成锐角为60°-90°；和/或

位于所述柔性衬底上的所述多个凸起和/或凹坑的宽度为1-10μm；和/或

位于所述柔性衬底上的所述多个凸起的间隔为1-3μm；和/或

位于所述柔性衬底上的所述多个凹坑的间隔为1-3μm。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的柔性薄膜电池，其特征在于，所述柔性薄膜电池为柔性铜铟镓硒薄膜电池或柔性碲化镉薄膜电池，在所述柔性薄膜电池中，所述柔性衬底的厚度为30-100μm；和/或

所述背电极层的厚度为800-1200nm；和/或

所述光吸收层的厚度为1-2μm；和/或

所述缓冲层的厚度为30-100nm；和/或

所述窗口层的厚度为50-80nm；和/或

所述导电层的厚度为300-800nm；和/或

所述上电极层的厚度为3-6μm。

6.根据权利要求1-4中任意一项所述的柔性薄膜电池，其特征在于，所述柔性衬底为不锈钢衬底、钛衬底、钼衬底、铜衬底或聚酰亚胺衬底。

7.根据权利要求6所述的柔性薄膜电池，其特征在于，所述柔性衬底为不锈钢衬底或铜衬底，且在所述柔性衬底和所述背电极层之间还设置有钛阻挡层，且所述钛阻挡层具有陷光结构，所述钛阻挡层的厚度为100-200nm。