技术总结
一种多尺寸硅片片盒悬挂器，包括吊杆和两个卡头，吊杆的上部设置有悬挂钩，底部设置有挂板，挂板上设置有若干组卡槽，每组卡槽由两条贯穿挂板厚度方向的切槽组成，每个卡头的基板两侧设置两条侧板，两条侧板之间设置两条隔板，且每条侧板与其相邻的隔板间形成条形槽，以使硅片片盒的一端通过两条卡条与两条条形槽的配合卡在卡头上。本实用新型通过在挂板上不同位置设置若干组卡槽，每组卡槽由两条切槽组成，且不同组卡槽中两条切槽的间距分别对应不同尺寸规格的硅片片盒，然后通过在切槽内设置卡头，并将硅片片盒卡在卡头上，即可实现同一条挂板上悬挂不同尺寸规格的硅片片盒，降低了生产的成本。
技术研发人员：赵文龙;孟娟峰
受保护的技术使用者：麦斯克电子材料有限公司
文档号码：201721032085
技术研发日：2017.08.17
技术公布日：2018.04.13