一种真空半导体焊接装置的制作方法

本实用新型是一种真空半导体焊接装置，属于真空半导体焊接装置领域。

背景技术：

半导体器件是将晶块焊接在瓷板上制成的，现有技术中，整个焊接装置是在空气中进行的，这样的装置具有结构简单、容易加工的优点，随着对半导体器件高性能的要求，这样的半导体器件不能满足需要，例如焊接的接触部分具有气泡，至使晶块和瓷板接触不好，影响了半导体器件的质量。

现有技术公开申请号为CN201120385893.8的一种真空半导体焊接装置，本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是真空半导体焊接装置，它包括机架，机架上有压盘，压盘下方有底座，所述的压盘和底座外围有一个箱体，箱体固定在机架上，所述的箱体有门，箱体还有管道连通抽真空装置，所述的箱体是透明材料制成的，这样的真空半导体焊接装置具有晶块和瓷板接触更好、质量更优、没有气泡的满足高标准的要求。但是，现有技术设备不具有能够称重测力的装置，能够测量可承受力和拉力，避免超载的重力使设备损坏。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种真空半导体焊接装置，以解决现有技术不具有能够称重测力的装置，能够测量可承受力和拉力，避免超载的重力使设备损坏的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种真空半导体焊接装置，其结构包括连接杆、固定板、波纹管、重力传感器，所述连接杆通过螺纹啮合连接于固定板侧面上，所述固定板通过螺纹啮合连接于连接杆与波纹管之间，所述波纹管通过螺纹啮合连接于固定板与重力传感器之间，所述重力传感器通过螺纹啮合连接于波纹管尾端，所述连接杆设有支杆，所述支杆通过螺纹啮合连接于连接杆顶端；所述固定板设有固定孔，所述固定孔均匀等距嵌设于固定板四个对角上；所述波纹管设有钢筘、垫片，所述钢筘嵌设于波纹管中间部分外表面上，所述垫片通过螺纹啮合连接于波纹管尾端；所述重力传感器设有导线、线圈、接头、轴圈、双孔接头，所述导线嵌设于双孔接头尾端，所述线圈均匀等距嵌设于接头与双孔接头之间，所述接头通过螺纹啮合连接于轴圈外侧，所述轴圈通过螺纹啮合连接于接头与线圈之间，所述双孔接头通过螺纹啮合连接于线圈端部。

进一步的，所述连接杆为圆形杆状结构，所述连接杆设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于连接杆两端，所述连接杆通过旋转螺纹啮合连接于固定板与支杆之间。

进一步的，所述支杆为圆形杆状结构，所述支杆设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于支杆一端，所述支杆通过旋转螺纹啮合连接于连接杆一端上。

进一步的，所述固定板为矩形结构，固定板设有连接孔，所述连接孔嵌设于固定板中心部分，所述连接孔设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于连接孔内部，所述固定板通过旋转螺纹啮合连接于波纹管与连接杆之间。

进一步的，所述波纹管为圆形杆状结构，波纹管设有螺纹凸起、旋转螺纹，所述螺纹凸起均匀等距分布于波纹管外表面，所述旋转螺纹嵌设于波纹管两端，所述波纹管通过旋转螺纹啮合连接于垫片与固定板之间。

进一步的，所述轴圈为圆形结构，所述轴圈设有连接孔，所述连接孔为圆形结构，所述连接孔嵌设于轴圈中心部分，所述连接孔设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于连接孔内部，所述轴圈通过旋转螺纹啮合连接于接头与线圈之间。

进一步的，所述双孔接头为圆形结构，所述双孔接头设有嵌设孔、旋转螺纹，所述嵌设孔嵌设于双孔接头外表面，所述旋转螺纹嵌设于双孔接头端部，所述双孔接头通过旋转螺纹啮合连接于线圈端部。

本实用新型的有益效果：通过设有一种重力传感器，能够称重测力，能够测量可承受力和拉力，避免超载的重力使设备损坏，保护设备的安全使用，方便实用。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种真空半导体焊接装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种重力传感器的结构示意图。

图中：1-连接杆、2-固定板、3-波纹管、4-重力传感器、10-支杆、20-固定孔、30-钢筘、31-垫片、40-导线、41-线圈、42-接头、43-轴圈、44-双孔接头。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-图2，本实用新型提供一种真空半导体焊接装置，其结构包括连接杆1、固定板2、波纹管3、重力传感器4，所述连接杆1通过螺纹啮合连接于固定板2侧面上，所述固定板2通过螺纹啮合连接于连接杆1与波纹管3之间，所述波纹管3通过螺纹啮合连接于固定板2与重力传感器4之间，所述重力传感器4通过螺纹啮合连接于波纹管3尾端，所述连接杆1设有支杆10，所述支杆10通过螺纹啮合连接于连接杆1顶端；所述固定板2设有固定孔20，所述固定孔20均匀等距嵌设于固定板20四个对角上；所述波纹管3设有钢筘30、垫片31，所述钢筘30嵌设于波纹管3中间部分外表面上，所述垫片31通过螺纹啮合连接于波纹管3尾端；所述重力传感器4设有导线40、线圈41、接头42、轴圈43、双孔接头44，所述导线40嵌设于双孔接头44尾端，所述线圈41均匀等距嵌设于接头42与双孔接头44之间，所述接头42通过螺纹啮合连接于轴圈43外侧，所述轴圈43通过螺纹啮合连接于接头42与线圈41之间，所述双孔接头44通过螺纹啮合连接于线圈41端部，所述连接杆1为圆形杆状结构，所述连接杆1设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于连接杆1两端，所述连接杆1通过旋转螺纹啮合连接于固定板2与支杆10之间，所述支杆10为圆形杆状结构，所述支杆10设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于支杆10一端，所述支杆10通过旋转螺纹啮合连接于连接杆1一端上，所述固定板2为矩形结构，固定板2设有连接孔，所述连接孔嵌设于固定板2中心部分，所述连接孔设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于连接孔内部，所述固定板2通过旋转螺纹啮合连接于波纹管3与连接杆1之间，所述波纹管3为圆形杆状结构，波纹管3设有螺纹凸起、旋转螺纹，所述螺纹凸起均匀等距分布于波纹管3外表面，所述旋转螺纹嵌设于波纹管3两端，所述波纹管3通过旋转螺纹啮合连接于垫片31与固定板2之间，所述轴圈43为圆形结构，所述轴圈43设有连接孔，所述连接孔为圆形结构，所述连接孔嵌设于轴圈43中心部分，所述连接孔设有旋转螺纹，所述旋转螺纹嵌设于连接孔内部，所述轴圈43通过旋转螺纹啮合连接于接头42与线圈41之间，所述双孔接头44为圆形结构，所述双孔接头44设有嵌设孔、旋转螺纹，所述嵌设孔嵌设于双孔接头44外表面，所述旋转螺纹嵌设于双孔接头44端部，所述双孔接头44通过旋转螺纹啮合连接于线圈41端部。

本专利所说的重力传感器是弹性体在外力作用下产生弹性变形，使粘贴在他表面的电阻应变片也随同产生变形，电阻应变片变形后，它的阻值将发生变化，再经相应的测量电路把这一电阻变化转换为电信号，从而完成了将外力变换为电信号的过程。

使用时，通过设有一种重力传感器，能够称重测力，能够测量可承受力和拉力，避免超载的重力使设备损坏，保护设备的安全使用，方便实用。

本实用新型的1-连接杆、2-固定板、3-波纹管、4-重力传感器、10-支杆、20-固定孔、30-钢筘、31-垫片、40-导线、41-线圈、42-接头、43-轴圈、44-双孔接头，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现有技术不具有能够称重测力的装置，能够测量可承受力和拉力，避免超载的重力使设备损坏，本实用新型通过上述部件的互相组合，通过设有一种重力传感器，能够称重测力，能够测量可承受力和拉力，避免超载的重力使设备损坏，保护设备的安全使用，方便实用。具体如下所述：

所述重力传感器4设有导线40、线圈41、接头42、轴圈43、双孔接头44，所述导线40嵌设于双孔接头44尾端，所述线圈41均匀等距嵌设于接头42与双孔接头44之间，所述接头42通过螺纹啮合连接于轴圈43外侧，所述轴圈43通过螺纹啮合连接于接头42与线圈41之间，所述双孔接头44通过螺纹啮合连接于线圈41端部。

综上所述：当轴圈材质为不锈钢时，轴圈材质的坚固性最高，耐腐蚀性最好，因此选用不锈钢作为轴圈材质是最佳选择。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。