石英袖管安装治具的制作方法

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种石英袖管安装治具。

背景技术：

在半导体工艺中，炉管机台用于进行化学气相沉积等工艺，在炉管机台中关于反应腔体连接的后段波纹管内部会安装两个以间隙方式套接的石英袖管，以防止副产物在波纹管处堆积造成颗粒问题。

请参考图1，为现有技术中，波纹管与石英袖管的安装拆解示意图。第一石英袖管11和第二石英袖管12分别从波纹管10的两端安装进入波纹管内。所述第二石英袖管12与第一石英袖管11套嵌安装，形成同心圆结构。

请参考图2，为所述第二石英袖管12与第一石英袖管11安装后的剖面示意图。所述第二石英袖管12套嵌入第一石英袖管11处的剖面示意图为同心圆结构，两者之间具有一定的间隙。但是，在实际安装过程中，两者容易产生如图3所示的接触，导致石英袖管发生破损而产生颗粒杂质，导致产品报废。

目前，市场上并没有专门用于安装石英袖管的治具，对石英袖管的安装过程带来极大的不便。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种石英袖管安装治具，使得石英袖管安装过程中能够实现同心套接，避免发生破损以及颗粒沉积问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种石英袖管安装治具，所述石英袖管包括第一石英袖管和第二石英袖管，所述石英袖管安装于炉管机台的排气管路内时，所述第一石英袖管和第二石英袖管的第一端分别固定于排气管路的两端，所述第二石英袖管的第二端套接于所述第一石英袖管的第二端外，所述石英袖管安装治具包括：插入部，为管状，用于当石英袖管安装于炉管机台的排气管路内时，从第二石英袖管的第一端内向第二端方向插入；底座，与所述插入部连接，所述底座用于在插入部插入第二石英袖管内时，卡于所述第二石英袖管外。

可选的，所述石英袖管、所述插入部的横截面均为圆形，且所述插入部的内径等于或大于所述第一石英袖管第二端的套接部分的外径。

可选的，所述第一石英袖管安装于排气管路内的第二端包括直管部和与所述直管部连接的缩颈部，所述缩颈部的直径小于所述直管部的直径，所述缩颈部伸入所述第二石英袖管的第二端内。

可选的，所述插入部的管壁厚度小于所述第一石英袖管第二端与第二石英袖管第二端同心套接时的间隙，相差0.1mm～0.3mm。

可选的，所述插入部的顶端经过倒角处理。

可选的，所述插入部的管壁为弹性结构。

可选的，所述插入部的材料为聚氯乙烯。

可选的，所述底座与所述插入部垂直连接。

可选的，所述底座具有通孔，所述通孔与所述插入部贯通。

本实用新型的石英袖管安装治具能够在石英袖管安装过程中，检测第一石英袖管和第二石英袖管套接处的间隙是否均匀，并在石英袖管安装治具的插入部插入的过程中，所述插入部能够调整第一石英袖管和第二石英袖管套接处的间隙，使两者间隙均匀，从而避免石英袖管发生破损，避免发生颗粒污染问题。

附图说明

图1为现有技术中波纹管与石英袖管的安装拆解示意图；

图2为现有技术中第二石英袖管与第一石英袖管安装后的剖面示意图；

图3为现有技术中第二石英袖管与第一石英袖管产生接触的示意图；

图4至图6为本实用新型一具体实施方式的石英袖管安装治具的结构示意图。

图7至图8为本实用新型一具体实施方式的石英袖管安装治具的使用状态示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型提供的石英袖管安装治具的具体实施方式做详细说明。

请参考图4至图6，为本实用新型一具体实施方式的石英袖管安装治具的结构示意图。图4，为所述石英袖管安装治具的侧视图；图5为石英袖管安装治具的仰视图；图6为沿图4中割线AA'的剖面示意图。

所述治具用于安装的石英袖管包括第一石英袖管和第二石英袖管，所述石英袖管安装于炉管机台的排气管路内时，所述第一石英袖管和第二石英袖管的第一端分别固定于排气管路的两端，所述第二石英袖管的第二端套接于所述第一石英袖管的第二端外。所述排气管路可以为炉管机台管路后段的波纹管。

所述石英袖管安装治具包括：插入部101，为管状，用于当石英袖管安装于炉管机台的排气管路内时，从第二石英袖管的第一端内向第二端方向插入，检测第一石英袖管、第二石英袖管套接部分之间的间隙是否均匀；底座102，与所述插入部101连接，所述底座102用于在插入部101插入第二石英袖管内时，卡于所述第二石英袖管外，从而控制所述插入部101的插入深度。

该具体实施方式中，石英袖管、插入部101以及底座102的横截面均为圆形，且所述底座102的外径大于所述插入部101的外径，从而当所述插入部101插入第二石英袖管内时，所述底座102能够卡于所述第二石英袖管外，控制所述插入部101的插入深度。

由于所述石英袖管材料容易发生破损，为了避免所述插入部101插入时导致石英破损，所述石英袖管安装治具的插入部101为弹性结构，在受到挤压时能够发生形变。在该具体实施方式中，所述插入部101的管壁由聚氯乙烯制成，也可以包括多种具有弹性的聚合物材料。

为了便于所述插入部101插入所述第二石英袖管702内，所述插入部101的顶端，可以经过倒角处理，管内壁具有倾斜面。

所述底座102与所述插入部101垂直连接，所述底座102与所述插入部101可以是一体成型结构，也可以是两部分单独形成然后粘合而成的。当所述治具插入第二石英袖管内之后，所述底座102留在外部，便于将治具取出。

为了便于观察治具插入所述第二石英袖管内的状态，该具体实施方式中，所述底座102还具有通孔103，所述通孔103与所述插入部101贯通，该具体实施方式中，所述通孔103的直径与插入部101的内径一致，在其他具体实施方式中，所述通孔103的直径也可以小于或者大于所述插入部101的内径。在其他具体实施方式中，所述底座102也可以没有通孔，横截面可以是圆形、多边形等多种形状。

请参考图7和图8，为本实用新型一具体实施方式的石英袖管安装治具的使用状态示意图。图7为沿石英袖管长度方向的剖面示意图；图8为割线BB'方向的剖面示意图。

所述第一石英袖管701和第二石英袖管702分别从排气管路700的两端安装至所述排气管路700内。所述第一石英袖管701的第一端701a和第二石英袖管702的第一端702a分别固定安装于排气管路700的两端，并进行密封。所述第一石英袖管701的第二端701b以及第二石英袖管702的第二端702b位于所述排气管路700内，且所述第二石英袖管702的第二端702b套接于所述第一石英袖管701的第二端701b外，具体的，所述第一石英袖管701的第二端701b顶部包括直管部以及与所述直管部连接的直径小于所述直管部直径的缩颈部7011，所述缩颈部7011伸入所述第二石英袖管702的第二端702b内，且所述缩颈部7011与第二石英袖管702的第二端702b之间具有一间隙。由于所述第一石英袖管701和第二石英袖管702的第二端均为悬空状态，因此，要保证所述缩颈部7011与第二石英袖管702的第二端702b同心套接，间隙均匀是比较困难的。若两者的间隙不均匀，第一石英袖管701和第二石英袖管702的安装位置发生偏差，会导致两者发生接触破损，产生颗粒问题；并且，副产物也容易发生堆积，造成颗粒物回流，污染晶圆，使产品报废。

所述石英袖管安装治具的插入部101向第二石英袖管702内插入，所述插入部101的内径大于或等于所述缩颈部7011的外径，所述插入部101的外径小于或等于所述第二石英袖管702的第二端702b的内径，因此，所述插入部101插入所述第二石英袖管702之后，插入部101的管壁位于所述缩颈部7011与第二石英袖管702的第二端702b之间的间隙内。

所述插入部101的管壁厚度小于或等于所述缩颈部7011与第二石英袖管702第二端702b同心套接时两者之间的间隙。若所述缩颈部7011与第二石英袖管702第二端702b同心套接，两者之间间隙均匀，那么所述插入部101能够自由插入两者之间的间隙内；反之，若两者之间间隙不均匀，那么插入部101插入会遇阻力，根据插入部101插入阻力的位置，可以知道所述缩颈部7011与第二石英袖管702第二端702b哪个位置之间的间隙过小，从而调整所述第一石英袖管701和第二石英袖管702的位置。并且，在所述插入部101插入的过程中，若间隙不均匀，插入部101局部收到挤压积累的弹性势能也能够调整第一石英袖管701和第二石英袖管702之间的相对位置，当所述插入部101插入至间隙最深处时，第一石英袖管701和第二石英袖管702之间就实现了同心套接。

在该具体实施方式中，所述插入部101的管壁厚度小于所述缩颈部7011与第二石英袖管702第二端702b同心套接时两者之间的间隙，避免插入时摩擦阻力过大，也便于石英袖管安装完成之后，将所述治具取出。在一个具体实施方式中，所述插入部101的管壁厚度与所述缩颈部7011与第二石英袖管702第二端702b同心套接时两者之间的间隙之间相差0.1～0.3mm，例如为0.2mm，既减少了治具插入和取出过程的摩擦阻力，又不影响对间隙均匀性的检查和调整。

由于所述插入部101的管壁为弹性结构，容易发生变形，所述底座102有利于保持所述插入部101的形状，且可作为手持位置，便于操作，且通过底座102与第二石英袖管701第一端702a之间的距离，判断插入部101深入的长度。

为了便于所述插入部101插入，以及使得所述插入部101插入之后，能够与石英袖管之间紧密贴合，所述插入部101顶端倒角处理后的倾斜面的倾斜角度与所述第一石英袖管701的缩颈部7011与其他部分连接处的倾斜面的倾斜角度一致，因此，当所述插入部101插入至最里处时，能够与第一石英袖管701的表面贴合，贴面接触，避免刮伤第一石英袖管701以及使得插入部101能够到达间隙最深处。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。