1.一种压印装置，所述压印装置用于通过在使模具与基板上的压印材料接触的同时固化所述压印材料来在所述基板上形成图案，其特征在于，所述压印装置包括：
基板卡盘，所述基板卡盘具有用于保持所述基板的基板保持区域；
周边部件，所述周边部件被布置为围绕由所述基板卡盘保持的基板的侧面；以及
控制单元，所述控制单元被配置为控制用于通过使用包括带电单元的清洁部件来对所述周边部件的至少部分区域进行清洁的清洁过程，
其中，所述清洁过程包括用于通过在所述带电单元面向所述周边部件的至少部分区域的同时相对于所述周边部件移动所述清洁部件来将所述部分区域中的微粒吸引到所述带电单元的操作。
2.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，所述带电单元相对于所述周边部件的移动包括重复以下的操作单位：所述操作单位包括与第一方向平行的方向上的相对移动以及与所述第一方向相交的第二方向上的相对移动。
3.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，所述带电单元相对于所述周边部件的移动的路径包括围绕所述基板保持区域的多个环路，并且所述多个环路具有与所述基板保持区域的不同距离。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的压印装置，其特征在于，还包括供给单元和模具驱动机构，所述供给单元被配置为将压印材料供给到基板上，所述模具驱动机构被配置为驱动模具，
其中，所述模具驱动机构当从所述供给单元观察时位于第一方位位置，并且所述部分区域包括所述周边部件的上表面的以下区域：该区域位于比由所述基板卡盘保持的基板的位于所述第一方位位置的一侧的侧面更靠近所述第一方位位置。
5.根据权利要求4所述的压印装置，其特征在于，所述清洁过程在所述基板上不存在压印材料时执行，并且
在所述清洁过程期间，所述供给单元不将压印材料供给到所述基板上。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的压印装置，其中，在发出执行用于通过压印来在所述基板上形成图案的压印过程的命令之后，所述控制单元在响应于所述命令而执行所述压印过程之前执行所述清洁过程。
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述周边部件包括具有光滑表面的连续部分和具有粗糙表面的不连续部分，并且所述控制单元将所述带电单元被使得面向每单位面积的不连续部分的总时间设置为长于所述带电单元被使得面向每单位面积的连续部分的总时间。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的压印装置，其特征在于，还包括模具卡盘和保持单元，所述模具卡盘被配置为保持模具，所述保持单元被配置为保持清洁部件，
其中，所述控制单元在所述清洁部件由所述保持单元保持时执行所述清洁过程。
9.根据权利要求1至7中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述清洁过程在所述清洁部件由被配置为保持模具的模具卡盘保持时执行。
10.根据权利要求1至9中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述清洁过程中所述带电单元和所述周边部件之间的间隙小于当所述基板被移动以将压印材料供给到所述基板上时所述模具和所述周边部件之间的间隙。
11.根据权利要求1至10中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述清洁过程在所述带电单元和所述周边部件之间的间隙被设置为不多于0.8mm的情况下执行。
12.根据权利要求1至11中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述带电单元包括带电的介电部件。
13.根据权利要求1至11中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述带电单元包括驻极体。
14.根据权利要求1至11中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述带电单元包括保持正电荷的驻极体和保持负电荷的驻极体。
15.根据权利要求1至14中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述控制单元控制通过在没有基板被所述基板卡盘保持的同时相对于所述基板卡盘移动所述带电单元来使所述带电单元吸引所述基板卡盘上的微粒的操作。
16.一种操作压印装置的方法，所述压印装置包括基板卡盘和周边部件，所述基板卡盘被配置为保持基板，所述周边部件被布置为围绕由所述基板卡盘保持的基板的侧面，其特征在于，所述方法包括：
执行用于通过使用包括带电单元的清洁部件来对所述周边部件的至少部分区域进行清洁的清洁过程的步骤；以及
通过将压印材料供给到由所述基板卡盘保持的基板上并且在模具与所述压印材料接触的同时固化所述压印材料来在所述基板上形成图案的步骤，
其中，所述清洁过程包括用于通过在所述带电单元面向所述周边部件的至少部分区域的同时相对于所述周边部件移动所述清洁部件来将所述部分区域中的微粒吸引到所述带电单元的操作。
17.一种物品制造方法，其特征在于，所述物品制造方法包括：
通过使用权利要求1至15中的任一项中限定的压印装置来在基板上形成图案的步骤；以及
处理其上形成图案的基板的步骤。
18.一种物品制造方法，其特征在于，所述物品制造方法包括：
通过根据权利要求16中限定的操作方法来操作压印装置并且使用所述压印装置来在基板上形成图案的步骤；以及
处理其上形成图案的基板的步骤。
19.根据权利要求1至15中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述清洁部件被布置为使得所述模具位于被配置为将压印材料供给到基板上的分配器和所述清洁部件之间。
20.根据权利要求19所述的压印装置，其特征在于，所述控制单元执行控制以用于将所述清洁部件的带电单元设置成带电状态或非带电状态。
21.根据权利要求20所述的压印装置，其特征在于，所述控制单元在所述分配器将压印材料供给到基板之前将所述带电单元设置成带电状态。
22.根据权利要求19至21中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述带电单元在与所述清洁部件和分配器被排列的方向垂直的方向上的宽度大于图案区域的宽度。
23.根据权利要求1所述的压印装置，其特征在于，还包括：
气体供给单元，所述气体供给单元被配置为供给用于使所述模具放电的气体；以及
电压控制单元，所述电压控制单元被配置为控制施加到所述带电单元的电压。
24.根据权利要求23所述的压印装置，其特征在于，所述电压控制单元设置施加到所述带电单元的电压，使得在所述带电单元和周边部件之间产生的电场的强度变得不大于通过所述气体而发生放电的电场强度。
25.根据权利要求24所述的压印装置，其特征在于，施加到所述带电单元的电压根据所述气体的类型以及所述带电单元和周边部件之间的距离而变化。
26.根据权利要求23至25中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述模具通过利用所述气体替换从固化的压印材料脱离的模具和所述压印材料之间的间隙来放电。
27.根据权利要求23至26中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述气体包括具有比空气长的电子平均自由路径的气体。
28.根据权利要求23至26中的任一项所述的压印装置，其特征在于，所述气体包括氦气。
29.根据权利要求23所述的压印装置，其特征在于，所述电压控制单元在所述气体供给单元不供给气体时设置施加到所述带电单元的电压，使得在所述带电单元和周边部件之间由所述带电单元产生的电场的强度变得高于通过所述气体而发生放电的电场强度。