具有沟槽的激光棒的制作方法

文档序号:15741693发布日期:2018-10-23 22:24阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有半导体层(11)的激光棒(1),所述半导体层具有活跃区域(15)和多个层,其中所述活跃区域(15)布置在xy平面中,其中激光二极管(12)分别在x方向上在两个端面之间形成模式空间(4),其中所述激光二极管(12)的所述模式空间(4)在y方向上并排地布置,其中在两个所述模式空间(4)之间在所述半导体层(11)中设置沟槽(3),其中所述沟槽(3)在所述x方向上延伸,并且其中,所述沟槽(3)从所述半导体层(11)的上侧在z方向上延伸一个在至所述活跃区域(15)的方向上预先给定的深度。

2.根据权利要求1所述的激光棒,其中,所述沟槽(3)从所述半导体层(11)的上侧在所述z方向上延伸到所述活跃区域(15)中。

3.根据权利要求1或2所述的激光棒,其中,在y方向上在两个沟槽(3)之间布置有具有第二模式空间(4)的第二激光二极管(12),其中所述第二模式空间(4)在所述x方向上在两个所述端面之间延伸。

4.根据权利要求3所述的激光棒,其中,在布置在两个沟槽(3)之间的两个所述激光二极管(12)之间设置第二沟槽(7),其中所述第二沟槽(7)沿着所述x方向延伸,其中所述第二沟槽(7)在所述z方向上具有比第一沟槽(3)更小的深度。

5.根据权利要求3或4所述的激光棒,其中,在布置在两个沟槽(3)之间的两个所述激光二极管(12)之间设置第二沟槽(7),其中所述第二沟槽(7)沿着所述x方向延伸,其中所述第二沟槽(7)在所述y方向上具有比第一沟槽(3)更小的宽度。

6.根据权利要求4或5所述的激光棒,其中,所述第二沟槽(7)在所述z方向上延伸到所述激光二极管(12)的所述活跃区域(15)中。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的激光棒,其中,在至少一个第二沟槽(7)中布置吸收材料(8),所述吸收材料(8)设计用于至少部分地吸收由激光二极管(12)产生的电磁辐射。

8.根据前述权利要求中任一项所述的激光棒,其中,所述半导体层(11)布置在基板(16)上,并且其中,第一沟槽(3)和/或所述第二沟槽(7)延伸到所述基板(16)中。

9.根据前述权利要求中任一项所述的激光棒,其中,所述激光棒(1)安装在载体(10)上,其中所述载体(10)特别构造为散热器。

10.根据权利要求9所述的激光棒,其中,所述激光棒(1)利用引入所述沟槽(3)的一侧安装到所述载体(10)上。

11.根据前述权利要求中任一项所述的激光棒,其中,所述沟槽(3)在所述y方向上具有1μm至100μm、尤其大约50μm的宽度。

12.根据权利要求5至11中任一项所述的激光棒,其中,所述第二沟槽(7)在所述y方向上具有1μm至100μm、尤其大约50μm的宽度。

13.根据权利要求7至12中任一项所述的激光棒,其中,所述吸收材料(8)填充到所述第二沟槽(7)中。

14.根据权利要求7至13中任一项所述的激光棒,其中,所述吸收材料(8)比所述半导体层(11)的材料具有更好的导热性。

15.根据权利要求7至14中任一项所述的激光棒,其中,所述吸收材料(8)具有金属或者由金属、特别是触点金属组成。

16.根据权利要求7至15中任一项所述的激光棒,其中,在所述吸收材料(8)和所述半导体层(11)之间,至少在所述第二沟槽(7)的部段中形成绝缘层(18),和/或其中,在所述吸收材料(8)和所述半导体层(11)之间,至少在所述沟槽(3)的部段中形成绝缘层(18)。

17.根据权利要求16所述的激光棒,其中,所述第二沟槽(7)和所述吸收材料(8)引导至所述活跃区域(15)之下,其中,所述吸收材料(8)是导电的,并且其中,所述第二沟槽(7)的所述吸收材料(8)与电线(17)连接,其中,所述吸收材料(8)建立在所述活跃区域(15)之下用于所述半导体层的电通孔接触。

18.一种用于制造根据前述权利要求中任一项所述的激光棒的方法,其中,将所述半导体层沉积到利用沟槽预先构造的基板上,其中,在所述半导体层中形成沟槽,和/或其中,通过构造所述半导体层在所述沉积之后生成所述沟槽,或者其中,通过ELOG工艺在所述半导体层的所述沉积期间生成所述沟槽。

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