具有沟槽的激光棒的制作方法

文档序号:15741693发布日期:2018-10-23 22:24阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种具有半导体层(11)的激光棒(1),半导体层具有活跃区域(15)和多个层,其中活跃区域(15)布置在xy平面中,其中激光二极管(12)分别在x方向上在两个端面之间形成模式空间(4),其中激光二极管(12)的模式空间(4)在y方向上并排地布置,其中在两个模式空间(4)之间在半导体层(11)中设置沟槽(3),其中沟槽(3)在x方向上延伸,并且其中,沟槽(3)从半导体层(11)的上侧在z方向上延伸到在活跃区域(15)的方向上预先给定的深度。

技术研发人员:安德烈亚斯·勒夫勒;克莱门斯·菲尔海利希;斯文·格哈德
受保护的技术使用者:奥斯兰姆奥普托半导体股份有限两合公司
技术研发日:2017.02.23
技术公布日:2018.10.23

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