基板收容容器的制作方法

文档序号:18706286发布日期:2019-09-17 23:45阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种基板收容容器(1),具备:容器本体(10),在一端具有开口部(11),在另一端具有与开口部(11)对向且可供基板(W)重叠收容的搭载部(12);以及盖体(20),用以堵塞开口部(11);盖体(20)具有:盖体部(21),用以堵塞开口部(11);以及在盖体部(21)的至少两个部位所具有的按压构件(22),朝向盖体部(21)的中心方向摆动,并且将收容重叠于容器本体(10)的基板(W)的外侧予以按压;容器本体(10)具有导槽(13),该导槽(13)使按压构件(22)的前端部(22a)从搭载部(12)的外侧朝向内侧移动且被导引至按压基板(W)的外侧的位置;导槽(13)形成为比搭载部(12)的表面还凹下。

技术研发人员:西岛正敬
受保护的技术使用者:阿基里斯株式会社
技术研发日:2017.02.06
技术公布日:2019.09.17
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