激光装置和激光装置管理系统、以及激光装置的管理方法与流程

本公开涉及激光装置和激光装置管理系统、以及激光装置的管理方法。

背景技术：

近年来，在半导体曝光装置(以下称为“曝光装置”)中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发出的光的短波长化得以发展。一般而言，对于曝光用光源，代替现有的汞灯而使用气体激光装置。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长为248nm的紫外线的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长为193nm的紫外线的激光的arf准分子激光装置。

作为新时代的曝光技术，曝光装置侧的曝光用透镜与晶片之间被液体充满的液浸曝光已经实用化。在该液浸曝光中，曝光用透镜与晶片之间的折射率变化，因此，曝光用光源在外观上波长变短。在将arf准分子激光装置作为曝光用光源进行液浸曝光的情况下，对晶片照射在水中的波长为134nm的紫外光。将该技术称为arf液浸曝光(或arf液浸光刻)。

krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的固有振幅较大，大约为350～400pm。因此，当利用使krf和arf激光这样的紫外线透射的材料构成投影透镜时，有时会产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的光谱线宽窄带化到能够忽视色差的程度。因此，为了使光谱线宽窄带化，有时要在气体激光装置的激光谐振器内设置具有窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(linenarrowmodule：lnm)。下面，将使光谱线宽窄带化的激光装置称为窄带化激光装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-43219号公报

专利文献2：日本特开2000-306813号公报

专利文献3：日本特开平7-142801号公报

专利文献4：日本特表2003-514403号公报

专利文献5：日本特开2002-15986号公报

技术实现要素：

本公开的激光装置具有：激光输出部，其进行激光振荡；以及控制部，其在停止从激光输出部向外部装置输出激光的期间内，取得在激光输出部中进行基于第1激光控制参数的激光振荡的情况下得到的第1激光性能数据和在激光输出部中进行基于第2激光控制参数的激光振荡的情况下得到的第2激光性能数据，判定第2激光性能数据与第1激光性能数据相比是否得到改善。

本公开的激光装置管理系统包含：激光装置；以及终端装置，其对激光装置进行管理，激光装置具有：激光输出部，其进行激光振荡；以及控制部，其在停止从激光输出部向外部装置输出激光的期间内，取得在激光输出部中进行基于第1激光控制参数的激光振荡的情况下得到的第1激光性能数据和在激光输出部中进行基于第2激光控制参数的激光振荡的情况下得到的第2激光性能数据，判定第2激光性能数据与第1激光性能数据相比是否得到改善。

本公开的激光装置的管理方法包含：在激光装置中停止从激光输出部向外部装置输出激光的期间内，通过控制部取得在激光输出部中进行基于第1激光控制参数的激光振荡的情况下得到的第1激光性能数据和在激光输出部中进行基于第2激光控制参数的激光振荡的情况下得到的第2激光性能数据；以及通过控制部判定第2激光性能数据与第1激光性能数据相比是否得到改善。

附图说明

下面，参照附图将本公开的若干个实施方式仅作为示例进行说明。

图1概略地示出了比较例的激光装置和激光装置管理系统的一个结构例。

图2是示出与比较例的激光装置中的控制参数的变更有关的控制流程的一例的流程图。

图3概略地示出了比较例的激光装置中的各种控制参数的一例。

图4是示出与比较例的激光装置中的能量控制部的能量控制有关的控制流程的一例的流程图。

图5是示出与比较例的激光装置中的光谱控制部的波长控制有关的控制流程的一例的流程图。

图6是示出与比较例的激光装置中的光谱控制部的光谱线宽控制有关的控制流程的一例的流程图。

图7是示出与比较例的激光装置中的气体控制部的气压控制有关的控制流程的一例的流程图。

图8是示出与比较例的激光装置中的气体控制部的部分气体更换控制有关的控制流程的一例的流程图。

图9是示出图8所示的流程图中的步骤s719的处理的详细情况的子流程图。

图10概略地示出了实施方式1的激光装置和激光装置管理系统的一个结构例。

图11是示出与实施方式1的激光装置中的激光控制部所进行的控制参数的变更有关的控制流程的一例的流程图。

图12是示出图11所示的流程图中的步骤s1107的调整振荡的处理的详细情况的子流程图。

图13是示出图12所示的流程图中的步骤s1202的能量控制的调整振荡的处理的详细情况的子流程图。

图14是示出图12所示的流程图中的步骤s1203的波长控制的调整振荡的处理的详细情况的子流程图。

图15是示出图12所示的流程图中的步骤s1203的光谱线宽控制的调整振荡的处理的详细情况的子流程图。

图16是示出图12所示的流程图中的步骤s1204的气体控制的调整振荡的处理的第1例的子流程图。

图17是示出图12所示的流程图中的步骤s1204的气体控制的调整振荡的处理的第2例的子流程图。

图18概略地示出了实施方式2的激光装置和激光装置管理系统的一个结构例。

图19概略地示出了实施方式2的激光装置管理系统中被存储在服务器中的控制参数变更前后的各种控制参数的数据的一例。

图20概略地示出了实施方式2的激光装置管理系统中被存储在服务器中的控制参数变更前后的与能量控制相关的激光性能数据的一例。

图21概略地示出了实施方式2的激光装置管理系统中被存储在服务器中的控制参数变更前后的与光谱控制相关的激光性能数据的一例。

图22概略地示出了实施方式2的激光装置和激光装置管理系统中的控制参数变更前后的与气体控制相关的激光性能数据的一例。

具体实施方式

<内容>

<1.比较例>(图1～图9)

1.1结构

1.2动作

1.3课题

<2.实施方式1>(具有控制参数的预约变更功能的激光装置和激光装置管理系统)(图10～图17)

2.1结构

2.2动作

2.3作用/效果

<3.实施方式2>(具有基于服务器的控制参数的预约变更功能的激光装置和激光装置管理系统)(图18～图22)

3.1结构

3.2动作

3.3作用/效果

<4.其他>

下面，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。

以下说明的实施方式示出本公开的若干个例子，并不会限定本公开的内容。此外，各实施方式中说明的全部结构和动作并不一定全部都作为本公开的结构和动作。

另外，对相同结构要素标注相同参照标号并省略重复说明。

<1.比较例>

[1.1结构]

图1概略地示出比较例的激光装置和激光装置管理系统的一个结构例。

另外，在本说明书中，激光的光路轴方向可以是z方向。与z方向大致正交的2个方向可以是h方向和v方向。h方向可以是与图1的纸面大致正交的方向。

比较例的激光装置管理系统可以具有激光装置101和终端装置111。终端装置111可以是由激光装置101的激光器制造商操作的pc(个人计算机)等终端。

激光装置101可以具有激光输出部，该激光输出部进行激光振荡，朝向作为外部装置的曝光装置4输出脉冲激光束lp。激光输出部可以包含：被供给激光气体的激光腔20；窄带化模块(lnm)10、作为oc(输出耦合器：outcoupler)的输出耦合镜35。

激光装置101具有被配置在激光输出部与曝光装置4之间的光路上的射出口光闸80。射出口光闸80在进行从激光输出部向曝光装置4的激光输出的情况下被打开。此外，射出口光闸80例如在虽然进行激光振荡但是停止从激光输出部向曝光装置4的激光输出的情况下被关闭。射出口光闸80例如在进行调整振荡的情况下被关闭。

曝光装置4可以是进行晶片曝光的装置。晶片曝光可以包括进行扫描曝光。“扫描曝光”是在使脉冲激光束lp进行扫描的同时对晶片的曝光区域进行曝光的方法。

激光装置101可以对应着曝光装置4中的晶片曝光而进行脉冲串运转。“脉冲串运转”是指交替地重复使如下期间运转：对应着扫描曝光连续振荡出窄带化的脉冲激光束lp的脉冲串期间、和振荡休止的振荡休止期间。

这里，在说明激光装置管理系统的结构之前，对脉冲串运转和晶片曝光的概要进行说明。激光装置101可以先进行调整振荡，在隔开了规定期间的间隔后，进行用于对第1枚晶片进行曝光的脉冲串运转。调整振荡是指，虽然不对晶片照射脉冲激光束lp，但仍然进行振荡以输出调整用的脉冲激光束lp。脉冲激光束lp例如可以以数百～数khz程度的规定频率进行输出。在晶片曝光时，一般情况下进行使脉冲串期间和振荡休止期间重复进行的脉冲串运转是可以的。在调整振荡中，也可以进行脉冲串运转。也可以在进行调整振荡后，在隔开比较大的间隔时间后在曝光装置4中进行第1枚晶片的曝光。在晶片曝光中，可以将晶片分割成多个规定的曝光区域，对各曝光区域进行扫描曝光。即，在晶片曝光中，可以反复进行如下步骤：通过第1次扫描曝光对晶片的第1规定曝光区域进行曝光、接着通过第2次扫描曝光对第2规定曝光区域进行曝光。在1次扫描曝光中，能够从激光装置101连续输出多个脉冲激光束lp。可以在第1规定曝光区域的扫描曝光结束后，在隔开规定间隔后进行第2规定曝光区域的扫描曝光。也可以依次反复进行该扫描曝光，在针对第1枚晶片的全部曝光区域的扫描曝光结束后，再次进行调整振荡，然后进行第2枚晶片的晶片曝光。

返回图1，再次说明激光装置管理系统的结构。

激光装置101还可以包含激光控制部2、能量控制部6、光谱控制部7、气体控制部9。激光装置101还可以包含监视器模块(mm)30、光谱可变部60、充电器90、激光气体供给装置91、激光气体排气装置92。

可以在终端装置111与激光控制部2之间设置如下信号线，该信号线从终端装置111向激光控制部2发送激光装置101中的各种控制参数的变更数据即控制参数变更数据pn、和请求从终端装置111向激光控制部2发送控制参数变更数据pn的控制参数发送请求信号。

可以在曝光装置控制部5与激光控制部2之间设置如下信号线，该信号线从曝光装置控制部5向激光控制部2发送各种目标数据dt。各种目标数据dt可以包含目标脉冲能量et、目标波长λt、目标光谱线宽δλt。

激光腔20可以包含窗口21、22、一对放电电极23、24、电绝缘部件25、横流风扇(cff)26、马达27、脉冲功率模块(ppm)28。

电绝缘部件25例如可以是氧化铝陶瓷。脉冲功率模块28可以包含开关29，经由电绝缘部件25的未图示的引线而与放电电极23连接。放电电极24可以与接地的激光腔20连接。

窄带化模块10和输出耦合镜35可以构成光谐振器。可以以在该谐振器的光路上配置一对放电电极23、24的放电区域的方式配置激光腔20。可以对输出耦合镜35涂敷多层膜，该多层膜使激光腔20内产生的激光的一部分反射，且使一部分透射。

窄带化模块10可以包含光栅11、棱镜12、使棱镜12旋转的旋转台14。

棱镜12可以配置成，使得从激光腔20输出的激光的束在棱镜12被进行束扩大而以规定的角度入射到光栅11。

旋转台14可以被配置成在棱镜12旋转时，使得束相对于光栅11入射的入射角度发生变化。光栅11被进行利特罗配置，使得束的入射角度和衍射角度成为相同角度。

充电器90和脉冲功率模块28可以相互电连接，使得对脉冲功率模块28的电容为c0的未图示的充电电容器进行充电。充电器90可以从能量控制部6接收表示充电电压v的充电电压数据dv。

可以从曝光装置4的曝光装置控制部5对激光控制部2输入发光触发信号str。可以经由激光控制部2对能量控制部6输入发光触发信号str。能量控制部6与脉冲功率模块28可以以如下方式电连接：与发光触发信号str同步地使开关29接通/断开。

监视器模块30可以包含分束器31、32、脉冲能量计测器33、光谱计测器34。

分束器31可以被配置在从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的光路上。分束器32可以被配置在被分束器31反射后的脉冲激光束lp的光路上。分束器32可以被配置成，使得反射光入射到脉冲能量计测器33、透射光入射到光谱计测器34。

脉冲能量计测器33可以包含未图示的会聚透镜和光传感器。光传感器可以是对紫外光具有抗性的高速的光电二极管。

光谱计测器34可以是包含未图示的标准具的分光器。光谱计测器34例如可以是监视器标准具分光器，其包含：未图示的监视器标准具；会聚透镜；以及图像传感器，其对透射过监视器标准具而通过会聚透镜在焦点面上生成的干涉条纹进行计测。

可以在光谱控制部7与窄带化模块10的旋转台14之间设置如下信号线，该信号线从光谱控制部7向旋转台14发送用于对旋转台14的旋转台角度θ进行控制的旋转台角度控制信号。可以根据由光谱计测器34检测到的波长λ对旋转台14的旋转台角度θ进行控制。

此外，可以在光谱控制部7与激光控制部2之间设置如下信号线，该信号线从光谱控制部7向激光控制部2发送基于光谱计测器34的计测结果的光谱控制关联数据dλc。

光谱可变部60可以被配置在激光腔20与输出耦合镜35之间的光路上。光谱可变部60可以包含圆柱形凹透镜61、圆柱形凸透镜62、直线台63。在光谱可变部60中，位于离激光腔20最远的位置的圆柱形凸透镜62的一个面是平面，可以对该平面涂敷部分反射膜。

圆柱形凹透镜61和圆柱形凸透镜62可以被配置在激光腔20与输出耦合镜35之间的光路上。圆柱形凹透镜61与圆柱形凸透镜62的透镜间隔可以通过直线台63来变更。圆柱形凸透镜62

可以在光谱控制部7与直线台63之间设置如下信号线，该信号线从光谱控制部7向直线台63发送用于对直线台63的直线台位置x进行控制的直线台位置控制信号。

可以在激光控制部2与光谱控制部7之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向光谱控制部7发送用于进行光谱控制的目标波长λt和目标光谱线宽δλt的数据。此外，可以在激光控制部2与光谱控制部7之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向光谱控制部7发送用于进行光谱控制的光谱控制参数pλc。

可以在能量控制部6与充电器90之间设置如下信号线，该信号线从能量控制部6向充电器90发送表示充电电压v的充电电压数据dv。可以根据由脉冲能量计测器33计测出的脉冲能量e对充电电压v进行控制。充电电压v可以是对脉冲功率模块28的未图示的充电电容器进行充电的电压。

可以在能量控制部6与激光控制部2之间设置如下信号线，该信号线从能量控制部6向激光控制部2发送基于脉冲能量计测器33的计测结果的能量控制关联数据deg。

可以在气体控制部9与激光控制部2之间设置如下信号线，该信号线从气体控制部9向激光控制部2发送气体控制关联数据dgs。

激光气体供给装置91可以构成为，能够根据来自气体控制部9的控制信号，将缓冲气体和含氟的气体作为激光气体分别供给到激光腔20内。缓冲气体可以是ar+ne混合气体。含氟的气体可以是ar+ne+f2混合气体。激光气体供给装置91可以与供给作为缓冲气体的ar+ne混合气体的气瓶93和供给作为含氟的气体的ar+ne+f2混合气体的气瓶94连接。激光气体供给装置91可以包含对来自气瓶93的ar+ne混合气体的供给进行控制的阀和对来自气瓶94的ar+ne+f2混合气体的供给进行控制的阀。

激光气体排气装置92也可以构成为能够通过来自气体控制部9的控制信号排出激光腔20内的激光气体。激光气体排气装置92可以包含对排气进行控制的阀、排气泵、捕集排出气体中的f2气体的卤素过滤器。

可以在激光控制部2与气体控制部9之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向气体控制部9发送用于进行气体控制的气体控制参数pgs。

可以在激光控制部2与能量控制部6之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向能量控制部6发送用于进行能量控制的目标脉冲能量et的数据。此外，可以在激光控制部2与能量控制部6之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向能量控制部6发送发光触发信号str。此外，可以在激光控制部2与能量控制部6之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向能量控制部6发送用于进行能量控制的能量控制参数peg。

可以在激光控制部2与光谱控制部7之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向光谱控制部7发送用于进行光谱控制的目标波长λt的数据。

可以在激光控制部2与激光腔20的马达27之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向马达27发送用于对横流风扇26的转速ω进行控制的转速数据dω。

激光控制部2可以包含存储各种控制参数的未图示的存储部。

[1.2动作]

(激光振荡的准备)

激光控制部2从未图示的存储部读入后述图3所示的各种控制参数。接着，激光控制部2进行激光振荡的准备。在激光振荡的准备中，激光控制部2向能量控制部6、光谱控制部7、气体控制部9的各控制部发送控制参数。此外，在激光振荡的准备中，激光控制部2向各控制部发送对各种计测器和台等进行驱动的信号。接着，激光控制部2从各控制部接收激光振荡准备完成信号。接着，激光控制部2从曝光装置控制部5接收各种目标数据dt和发光触发信号str。

(控制参数的变更控制)

图2是示出与比较例的激光装置101中的控制参数的变更有关的控制流程的一例的流程图。

激光控制部2判断是否接收到激光停止信号(步骤s101)。例如，激光控制部2在可以停止曝光装置4时判断维护人员是否输入了激光停止信号。

激光控制部2在判断为未接收到激光停止信号的情况下(步骤s101；否)，反复进行步骤s101的处理。接着，激光控制部2判断是否接收到来自终端装置111的控制参数发送请求信号(步骤s102)。

接着，激光控制部2从终端装置111接收控制参数变更数据pn，读入作为变更对象的新的控制参数(步骤s103)。接着，激光控制部2向各控制部发送新的控制参数(步骤s104)。

接着，激光控制部2关闭射出口光闸80(步骤s105)，进行调整振荡(步骤s106)。在调整振荡中，不是通过外部触发即来自曝光装置控制部5的发光触发信号str，而是通过激光装置101的内部触发以规定的重复频率进行激光振荡。

能量控制部6、光谱控制部7和气体控制部9的各控制部利用新的控制参数执行例如后述图4～图9所示的控制(步骤s107)。

接着，激光控制部2判断激光性能是否合格(步骤s108)。激光性能是否合格的判断是通过判断激光性能是否在预先确定的容许范围内来进行的。

在判断为激光性能不合格的情况下(步骤s108；否)，激光控制部2向曝光装置4输出性能不合格信号(步骤s109)。接着，激光控制部2停止调整振荡(步骤s110)，结束处理。

另一方面，在判断为激光性能合格的情况下(步骤s108；是)，激光控制部2停止调整振荡(步骤s111)，打开射出口光闸80(步骤s112)。接着，激光控制部2向曝光装置4输出性能合格信号(步骤s113)。接着，激光控制部2进行设定使得能够通过来自曝光装置4的外部触发来进行激光振荡(步骤s114)，并结束处理。

(控制参数的具体例)

图3概略地示出比较例的激光装置101中的各种控制参数的一例。控制参数是用于使激光装置101的激光性能接近曝光装置4所要求的目标性能的目标控制参数。

(气体控制参数)

气体控制参数pgs可以包含气压控制参数和部分气体更换控制参数。气体控制参数pgs是用于间接地使脉冲激光束lp的脉冲能量e接近目标脉冲能量et的目标控制参数。

气压控制参数可以包含最小充电电压vmin、最大充电电压vmax、最大控制气压pmax和气压可变量δp。最小充电电压vmin可以是充电电压v的最小值。最大充电电压vmax可以是充电电压v的最大值。最大控制气压pmax可以是运转激光时的激光腔20内的最大气体压力。气压可变量δp可以是使气压p增加或减少的压力变化量。

部分气体更换控制参数可以包含部分气体更换周期tpg、缓冲气体的注入系数kpg和含氟的气体的注入系数khg。部分气体更换周期tpg可以是实施部分气体更换的周期。缓冲气体的注入系数kpg可以是每单位脉冲的ar+ne混合气体的注入量。含氟的气体的注入系数khg可以是每单位脉冲的ar+ne+f2混合气体的注入量。

(光谱控制参数)

光谱控制参数pλc可以包含波长控制参数和光谱线宽控制参数。波长控制参数是用于使脉冲激光束lp的波长接近目标波长λt的目标控制参数。光谱线宽控制参数是用于使脉冲激光束lp的光谱线宽接近目标光谱线宽δλt的目标控制参数。

波长控制参数可以包含波长控制增益λk和窄带化模块10中的旋转台14的初始角度θ0。旋转台14的初始角度θ0可以与窄带化模块10中的棱镜12的初始旋转角度对应。光谱线宽控制参数可以包含光谱线宽控制增益δλk和光谱可变部60中的直线台63的初始位置x0。直线台63的初始位置x0可以与光谱可变部60中的圆柱形凹透镜61的初始位置对应。

(能量控制参数)

能量控制参数peg是用于使脉冲激光束lp的脉冲能量e接近目标脉冲能量et的目标控制参数。

能量控制参数peg可以包含能量控制增益vk和充电电压v的初始值v0。

(能量控制)

激光控制部2可以向能量控制部6发送目标脉冲能量et的数据和发光触发信号str。能量控制部6可以向充电器90发送充电电压数据dv。此外，能量控制部6可以与发光触发信号str同步地向脉冲功率模块28的开关29发送接通信号。由此，在激光腔20中，在一对放电电极23、24之间被施加高电压，在一对放电电极23、24之间的放电区域内，激光气体被进行绝缘破坏，能够产生放电。其结果，在激光腔20内，激光气体被激励，能够在构成光谐振器的窄带化模块10与输出耦合镜35之间引起激光振荡。能够从输出耦合镜35输出基于激光振荡的脉冲激光束lp。

通过分束器31和分束器32，从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的一部分能够作为用于检测脉冲能量e的采样光入射到脉冲能量计测器33。

在脉冲能量计测器33中，能够检测从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的脉冲能量e。脉冲能量计测器33可以向能量控制部6发送检测到的脉冲能量e的数据。

能量控制部6可以根据脉冲能量e与目标脉冲能量et之差δe计算下一个脉冲的充电电压v，向充电器90发送表示充电电压v的充电电压数据dv。其结果，能够使从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的脉冲能量e接近目标脉冲能量et。

图4是示出与激光装置101中的能量控制部6的能量控制有关的控制流程的一例的流程图。

能量控制部6可以进行能量控制参数peg的设定和读入(步骤s501)。这里，能量控制部6可以将充电电压v的初始值设定为v＝v0。此外，能量控制部6可以经由激光控制部2进行脉冲能量控制增益vk的读入。

接着，能量控制部6可以经由激光控制部2从曝光装置控制部5读入目标脉冲能量et(步骤s502)。

接着，能量控制部6可以判断是否进行了激光振荡(步骤s503)。能量控制部6例如可以根据来自曝光控制装置5的发光触发信号str判断是否进行了激光振荡。或者，能量控制部6例如可以根据由脉冲能量计测器33检测到的脉冲能量e判断是否进行了激光振荡。

能量控制部6可以在判断为未进行激光振荡的情况下(步骤s503；否)，反复进行步骤s503的处理。

另一方面，在判断为进行了激光振荡的情况下(步骤s503；是)，能量控制部6接下来可以通过脉冲能量计测器33进行脉冲能量e的计测(步骤s504)。

接着，能量控制部6可以向激光控制部2发送计测出的脉冲能量e和充电电压v的数据(步骤s505)。

接着，能量控制部6可以对计测出的脉冲能量e与目标脉冲能量et之差δe(＝e-et)进行计算(步骤s506)。

接着，能量控制部6可以根据δe，如以下式子那样计算下一个充电电压v(步骤s507)。即，可以从计测脉冲能量e时的充电电压v减去vk·δe，计算下一次进行充电的充电电压v。脉冲能量控制增益vk可以是将δe转换为充电电压v的变化量的比例系数。

v＝v-vk·δe

其中，vk＝δv/δe

接着，能量控制部6可以向充电器90发送表示计算出的充电电压v的充电电压数据dv，由此在充电器90中设定充电电压v(步骤s508)。

接着，能量控制部6可以判断是否要变更目标脉冲能量et(步骤s509)。能量控制部6在判断为要变更目标脉冲能量et的情况下(步骤s509；是)，可以返回步骤s502的处理。

另一方面，能量控制部6在判断为不变更目标脉冲能量et的情况下(步骤s509；否)，接下来可以判断是否结束能量控制(步骤s510)。

能量控制部6在判断为不结束能量控制的情况下(步骤s510；否)，可以返回步骤s503的处理。另一方面，能量控制部6在判断为要结束能量控制的情况下(步骤s510；是)，可以结束能量控制处理。

(光谱控制)

激光控制部2可以向光谱控制部7发送目标波长λt的数据和发光触发信号str。光谱控制部7可以通过监视器模块30的光谱计测器34计测从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的波长λ和光谱线宽δλ。

光谱控制部7可以根据计测出的波长λ与目标波长λt之差δλ，向窄带化模块10的旋转台14发送旋转台角度控制信号，使得δλ接近0。通过旋转台角度控制信号，能够对旋转台14的旋转台角度θ进行控制。其结果，能够使从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的波长λ接近目标波长λt。

这里，光谱控制部7可以向激光控制部2发送光谱控制关联数据dλc。光谱控制关联数据dλc例如可以是包含目标波长λt、计测出的波长λ、光谱线宽δλ的数据。

图5是示出与激光装置101中的光谱控制部7的波长控制有关的控制流程的一例的流程图。

光谱控制部7可以进行光谱控制参数pλc中的波长控制参数的设定和读入(步骤s601)。这里，光谱控制部7可以将窄带化模块10的旋转台14的旋转台角度θ的初始值设定为θ＝θ0。此外，光谱控制部7可以经由激光控制部2进行波长控制增益λk的读入。

接着，光谱控制部7可以经由激光控制部2从曝光装置控制部5读入目标波长λt(步骤s602)。

接着，光谱控制部7可以判断是否进行了激光振荡(步骤s603)。光谱控制部7在判断为未进行激光振荡的情况下(步骤s603；否)，可以反复进行步骤s603的处理。

另一方面，光谱控制部7在判断为进行了激光振荡的情况下(步骤s603；是)，可以在接下来通过光谱计测器34进行波长λ的计测(步骤s604)。

接着，光谱控制部7可以向激光控制部2发送计测出的波长λ的数据(步骤s605)。

接着，光谱控制部7可以对计测出的波长λ与目标波长λt之差δλ(＝λ-λt)进行计算(步骤s606)。

接着，光谱控制部7可以根据δλ，如以下式子那样计算下一个旋转台角度θ(步骤s607)。即，可以从计测出波长λ时的旋转台14的旋转台角度θ减去λk·δλ，计算下一个旋转台角度。波长控制增益λk可以是将δλ转换为旋转台角度θ的变化量的比例系数。

θ＝θ-λk·δλ

其中，λk＝δθ/δλ

接着，光谱控制部7可以向窄带化模块10的旋转台14发送旋转台角度控制信号，使得旋转台角度成为θ(步骤s608)。

接着，光谱控制部7可以判断是否要变更目标波长λt(步骤s609)。光谱控制部7在判断为要变更目标波长λt的情况下(步骤s609；是)，可以返回步骤s602的处理。

另一方面，光谱控制部7在判断为不变更目标波长λt的情况下(步骤s609；否)，可以在接下来判断是否结束波长控制(步骤s610)。

光谱控制部7在判断为不结束波长控制的情况下(步骤s610；否)，可以返回步骤s603的处理。另一方面，在判断为要结束波长控制的情况下(步骤s610；是)，光谱控制部7可以结束波长控制处理。

(光谱线宽控制)

激光控制部2可以向光谱控制部7发送目标光谱线宽δλt的数据和发光触发信号str。光谱控制部7可以通过监视器模块30的光谱计测器34计测从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的光谱线宽δλ。

光谱控制部77可以根据计测出的光谱线宽δλ与目标光谱线宽δλt之差δδλ，向光谱可变部60的直线台63发送直线台位置控制信号，使得δδλ接近0。能够通过直线台位置控制信号对直线台63的直线台位置x进行控制。其结果，能够使从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的光谱线宽δλ接近目标光谱线宽δλt。

这里，光谱控制部7可以向激光控制部2发送包含目标光谱线宽δλt和计测出的光谱线宽δλ的光谱控制关联数据dλc。

图6是示出与激光装置101中的光谱控制部7的光谱线宽控制有关的控制流程的一例的流程图。

光谱控制部7可以进行光谱控制参数pλc中的光谱线宽控制参数的设定和读入(步骤s611)。这里，光谱控制部7可以将光谱可变部60的直线台63的位置x的初始值设定为x＝x0。此外，光谱控制部7可以经由激光控制部2进行光谱线宽控制增益δλk的读入。

接着，光谱控制部7可以经由激光控制部2从曝光装置控制部5读入目标光谱线宽δλt(步骤s612)。

接着，光谱控制部7可以判断是否进行了激光振荡(步骤s613)。光谱控制部7在判断为未进行激光振荡的情况下(步骤s613；否)，可以反复进行步骤s613的处理。

另一方面，光谱控制部7在判断为进行了激光振荡的情况下(步骤s613；是)，可以在接下来通过光谱计测器34进行光谱线宽δλ的计测(步骤s614)。

接着，光谱控制部7可以向激光控制部2发送计测出的光谱线宽δλ的数据(步骤s615)。

接着，光谱控制部7可以对计测出的光谱线宽δλ与目标光谱线宽δλt之差δδλ(＝δλ-δλt)进行计算(步骤s616)。

接着，光谱控制部7可以根据δλ，如以下式子那样计算下一个直线台63的位置x(步骤s617)。即，可以从计测出光谱线宽时的直线台63的位置x减去δλk·δδλ，计算下一个直线台63的位置x。光谱线宽控制增益δλk可以是将δδλ转换为位置x的变化量的比例系数。

x＝x-δλk·δλ

其中，δλk＝δx/δδλ

接着，光谱控制部7可以向光谱可变部60的直线台63发送直线台位置控制信号，使得直线台63的位置成为x(步骤s618)。

接着，光谱控制部7可以判断是否要变更目标光谱线宽δλt(步骤s619)。光谱控制部7在判断为要变更目标光谱线宽δλt的情况下(步骤s619；是)，可以返回步骤s612的处理。

另一方面，光谱控制部7在判断为不变更目标光谱线宽δλt的情况下(步骤s619；否)，在接下来可以判断是否结束光谱线宽控制(步骤s620)。

光谱控制部7在判断为不结束光谱线宽控制的情况下(步骤s620；否)，可以返回步骤s613的处理。另一方面，光谱控制部7在判断为结束光谱线宽控制的情况下(步骤s620；是)，可以结束光谱线宽控制的处理。

(气体控制)

作为气体控制，气体控制部9可以进行气压控制和部分气体更换控制。激光控制部2可以向气体控制部9发送气体控制参数pgs。气体控制参数pgs可以包含气压控制参数和部分气体更换控制参数。

(气压控制)

气体控制部9进行的气压控制可以是利用以下性质的气体控制方式。当激光气压变高时，绝缘破坏电压上升，从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的脉冲能量e能够增加。相反，当激光气压变低时，绝缘破坏电压下降，从输出耦合镜35输出的脉冲激光束lp的脉冲能量e能够降低。

气体控制部9可以通过压力传感器计测激光腔20内的气压p。气体控制部9可以向激光控制部2发送气压p的数据。

气体控制部9可以在充电电压v成为最大充电电压vmax以上的情况下，控制激光气体供给装置91向激光腔20内注入ar+ne混合气体，使得气压p增加气压可变量δp。相反，气体控制部9可以在充电电压v成为最小充电电压vmin以下的情况下，控制激光气体排气装置92使激光腔20内的气体排出，使得气压p减少气压可变量δp。

图7是示出与激光装置101中的气体控制部9的气压控制有关的控制流程的一例的流程图。

气体控制部9可以进行气体控制参数pgs中的气压控制参数的读入(步骤s701)。这里，气体控制部9可以经由激光控制部2读入最小充电电压vmin、最大充电电压vmax、最大控制气压pmax和气压可变量δp作为气压控制参数。

接着，气体控制部9可以进行由压力传感器计测出的激光腔20内的气压p的读入(步骤s702)。

接着，气体控制部9可以向激光控制部2发送计测出的气压p的数据(步骤s703)。

接着，气体控制部9可以经由激光控制部2接收充电电压v的数据(步骤s704)。

接着，气体控制部9可以将充电电压v的值与最小充电电压vmin和最大充电电压vmax进行比较(步骤s705)。在vmax≥v≥vmin的情况下，气体控制部9可以判断是否结束气压控制(步骤s708)。例如，是否结束气压控制的判断可以通过判断计测出的气压p是否超过最大控制气压pmax来进行。

此外，在v>vmax的情况下，气体控制部9可以控制激光气体供给装置91，向激光腔20内注入ar+ne混合气体，使得激光腔20内的气压p增加气压可变量δp(步骤s706)。然后，气体控制部9可以判断是否结束气压控制(步骤s708)。

此外，在v<vmin的情况下，气体控制部9可以控制激光气体排气装置92将激光腔20内的气体排出，使得激光腔20内的气压p减少气压可变量δp(步骤s707)。然后，气体控制部9可以判断是否结束气压控制(步骤s708)。

气体控制部9在判断为不结束气压控制的情况下(步骤s708；否)，可以返回步骤s702的处理。另一方面，气体控制部9在判断为结束气压控制的情况下(步骤s708；是)，可以结束气压控制的处理。

(部分气体更换控制)

气体控制部9进行的部分气体更换控制例如可以是按照固定周期进行的如下控制：在向激光腔20内注入规定量的ar+ne混合气体和ar+ne+f2混合气体后，对应着注入的这些气体的量相应地排出激光腔20内的气体。通过进行部分气体更换控制，能够在激光腔20内对应着由于放电而引起的f2气体的降低量相应地进行补充。通过进行部分气体更换控制，能够将激光腔20内产生的杂质气体的浓度和f2气体的浓度分别维持在规定的浓度。

图8是示出与激光装置101中的气体控制部9的部分气体更换控制有关的控制流程的一例的流程图。

气体控制部9可以进行气体控制参数pgs中的部分气体更换控制参数的读入(步骤s711)。这里，气体控制部9可以读入部分气体更换周期tpg、ar+ne混合气体的注入系数kpg、ar+ne+f2混合气体的注入系数khg作为部分气体更换控制参数。kpg可以是每单位振荡脉冲的ar+ne气体的注入量。khg可以是每单位振荡脉冲的ar+ne+f2混合气体的注入量。

接着，气体控制部9可以将脉冲数的计数器值n的初始值设定为n＝0(步骤s712)。接着，气体控制部9可以使计时器t进行复位起动(步骤s713)。

接着，气体控制部9可以判断是否进行了激光振荡(步骤s714)。气体控制部9在判断为未进行激光振荡的情况下(步骤s714；否)，可以进入步骤s716的处理。

另一方面，气体控制部9在判断为进行了激光振荡的情况下(步骤s714；是)，接着，可以将脉冲数的计数器值n设定为n+1(步骤s715)。

接着，气体控制部9可以判断计时器t的值是否达到部分气体更换周期tpg(步骤s716)。气体控制部9可以以此方式计测部分气体更换周期tpg中的激光振荡的脉冲数。气体控制部9在判断为计时器t的值未达到部分气体更换周期tpg的情况下(步骤s716；否)，可以返回步骤s714的处理。

另一方面，气体控制部9在判断为计时器t的值达到部分气体更换周期tpg的情况下(步骤s716；是)，可以在接下来进行由压力传感器计测出的激光腔20内的气压p的读入(步骤s717)。

接着，气体控制部9可以向激光控制部2发送计测出的气压p的数据(步骤s718)。

接着，气体控制部9可以进行后述图9所示的部分气体更换的处理(步骤s719)。

接着，气体控制部9可以判断是否结束部分气体更换控制(步骤s720)。气体控制部9在判断为不结束部分气体更换控制的情况下(步骤s720；否)，可以返回步骤s712的处理。另一方面，气体控制部9在判断为结束部分气体更换控制的情况下(步骤s720；是)，可以结束部分气体更换控制的处理。

图9是示出图8所示的流程图中的步骤s719的处理的详细情况的子流程图。

气体控制部9可以根据ar+ne混合气体的注入系数kpg和部分气体更换周期tpg中的激光振荡的脉冲数n计算δppg(＝kpg·n)(步骤s721)。

接着，气体控制部9可以向激光腔20内注入ar+ne混合气体，使得激光腔20内的气压p增加δppg(步骤s722)。

接着，气体控制部9可以根据ar+ne+f2混合气体的注入系数khg和部分气体更换周期tpg中的激光振荡的脉冲数n计算δphg(＝khg·n)(步骤s723)。

接着，气体控制部9可以向激光腔20内注入ar+ne+f2混合气体，使得激光腔20内的气压p增加δphg(步骤s724)。

接着，气体控制部9可以排出激光腔20内的气体，使得激光腔20内的气压p减少(δppg+δphg)(步骤s725)。然后，气体控制部9可以进行图8的步骤s720的处理。

另外，ar+ne混合气体的注入和ar+ne+f2混合气体的注入可以同时统一进行。

另外，在以上的各种控制的说明中，是以各种控制增益是比例系数的情况为例的，但是，也可以是使用基于pid(proportional-integral-differential：比例积分微分控制)控制的微分控制系数或积分控制系数作为各种控制增益的情况。

[1.3课题]

在比较例的激光装置101和激光装置管理系统中，在变更控制参数的情况下，可以先委托激光装置101的用户停止激光输出动作，并由激光器制造商的维护人员直接操作激光装置101来变更控制参数，判断激光性能的结果。因此，可能发生长时间的停机。并且，在比较例的激光装置101和激光装置管理系统中，控制参数变更前后的激光性能的差异不明确，很难判断控制参数的变更是否是恰当的。

<2.实施方式1>(具有控制参数的预约变更功能的激光装置和激光装置管理系统)

接着，对本公开的实施方式1的激光装置和激光装置管理系统进行说明。另外，在下面，对与上述比较例的激光装置1和激光装置管理系统的结构要素大致相同的部分标注相同标号并适当省略说明。

[2.1结构]

图10概略地示出实施方式1的激光装置1和激光装置管理系统的一个结构例。

实施方式1的激光装置管理系统可以是代替上述比较例的激光装置101而具有激光装置1的结构。

在激光装置1中，激光控制部2具有第1存储部51和第2存储部52。

第1存储部51可以存储第1激光控制参数。第1激光控制参数可以是进行调整振荡的情况下的控制参数变更前的各种控制参数，该调整振荡用于进行后述图11～图17所示的控制参数变更。第1激光控制参数也可以是进行调整振荡之前、换言之，也可以是停止从激光输出部向曝光装置4输出激光之前使用的激光控制参数，该调整振荡用于进行控制参数变更。控制参数变更前的各种控制参数可以包含图3所示的能量控制参数peg、光谱控制参数pλc和气体控制参数pgs中的至少一方。

第2存储部52可以存储第2激光控制参数。第2激光控制参数可以是进行调整振荡的情况下的控制参数变更后的各种控制参数，该调整振荡用于进行后述图11～图17所示的控制参数变更。控制参数变更后的各种控制参数可以包含图3所示的能量控制参数peg、光谱控制参数pλc和气体控制参数pgs中的至少一方。

可以在终端装置111与激光控制部2之间设置如下信号线，该信号线从终端装置111向激光控制部2发送包含激光装置1中的各种控制参数的变更数据的预约控制参数pr。

此外，可以在终端装置111与激光控制部2之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向终端装置111发送激光性能数据dab和控制参数变更结果信号sab。控制参数变更结果信号sab可以包含进行调整振荡的情况下的控制参数变更合格信号或控制参数变更不合格信号，该调整振荡用于进行后述图11～图17所示的控制参数变更。

此外，可以在激光控制部2与曝光装置4的曝光装置控制部5之间设置如下信号线，该信号线从激光控制部2向曝光装置控制部5发送控制参数变更结果信号sab。

激光性能数据dab可以是控制参数变更前后的激光性能数据。激光性能数据dab可以包含第1激光性能数据和第2激光性能数据。

第1激光性能数据可以是在停止从激光输出部向曝光装置4输出激光的期间内，在激光输出部中进行基于第1激光控制参数的激光振荡的情况下得到的激光性能数据。

第2激光性能数据可以是在停止从激光输出部向曝光装置4输出激光的期间内、在激光输出部中进行基于第2激光控制参数的激光振荡的情况下得到的激光性能数据。

激光控制部2可以是判断在停止从激光输出部向曝光装置4输出激光的期间内、第2激光性能数据与第1激光性能数据相比是否得到改善的控制部。

另外，在以上的说明中，停止从激光输出部向曝光装置4输出激光的期间可以是进行调整振荡的期间，该调整振荡用于进行图11～图17所示的控制参数变更。

激光控制部2可以是如下的控制部：根据第2激光性能数据与第1激光性能数据相比是否得到改善的判定的结果，使用第1激光控制参数和第2激光控制参数中的任意一个激光控制参数使激光输出部向曝光装置4输出激光。

激光控制部2可以在判定为第2激光性能数据得到改善的情况下，使用第2激光控制参数使激光输出部向曝光装置4输出激光。激光控制部2在判定为第2激光性能数据没有得到改善的情况下，可以使用第1激光控制参数使激光输出部向曝光装置4输出激光。

在预约控制参数pr中可以包含第2激光控制参数。激光控制部2可以在停止从激光输出部向曝光装置4输出激光之前从终端装置111接收第2激光控制参数，并将其存储在第2存储部52中。

其他结构可以与上述比较例的激光装置101和激光装置管理系统大致相同。

[2.2动作]

(控制参数的变更控制)

图11是示出与由激光装置1中的激光控制部2进行的控制参数的变更有关的控制流程的一例的流程图。

激光控制部2判断是否从终端装置111接收到了预约控制参数pr的数据(步骤s1101)。激光控制部2在判断为未从终端装置111接收到预约控制参数pr的数据的情况下(步骤s1101；否)，可以反复进行步骤s1101的处理。

另一方面，激光控制部2在判断为从终端装置111接收到预约控制参数pr的数据的情况下(步骤s1101；是)，可以在接下来将控制参数变更前的控制参数的数据写入第1存储部51中(步骤s1102)。

接着，激光控制部2将预约控制参数pr的数据写入第2存储部52中(步骤s1103)。

接着，激光控制部2向曝光装置4发送用于进行控制参数变更的调整振荡请求信号(步骤s1104)。

激光控制部2判断是否从曝光装置4接收到了调整振荡允许信号(步骤s1105)。激光控制部2在判断为未接收到调整振荡允许信号的情况下(步骤s1105；否)，可以反复进行步骤s1105的处理。

另一方面，激光控制部2在判断为接收到调整振荡允许信号的情况下(步骤s1105；是)，可以在接下来关闭射出口光闸80(步骤s1106)，进行调整振荡(步骤s1107)。这里，通过进行后述图13～图17的调整振荡，得到表示激光性能是否得到改善的标志f的值。在激光性能得到改善的情况下，得到标志f＝1的值，在激光性能没有得到改善的情况下，得到标志f＝0的值。

激光控制部2判断激光性能是否得到了改善(步骤s1108)。这里，能够通过判断标志f的值是否为1来判断激光性能是否得到改善。

激光控制部2在判断为激光性能得到改善的情况下(步骤s1108；是)，在接下来设定第2存储部52的控制参数变更后的控制参数的数据作为激光装置1的控制参数(步骤s1109)。接着，激光控制部2可以打开射出口光闸80(步骤s1110)，在向曝光装置4输出控制参数变更成功信号后(步骤s1111)，返回步骤s1101的处理。另外，在步骤s1111的处理中，激光控制部2还可以向终端装置111输出控制参数变更成功信号。

另一方面，激光控制部2在判断为激光性能没有得到改善的情况下(步骤s1108；否)，可以在接下来向曝光装置4输出控制参数变更失败信号后(步骤s1112)，设定第1存储部51的控制参数变更前的控制参数的数据作为激光装置1的控制参数(步骤s1113)，结束处理。另外，在步骤s1112的处理中，激光控制部2还可以向终端装置111输出控制参数变更失败信号。

图12是示出图11所示的流程图中的步骤s1107的调整振荡的处理的详细情况的子流程图。

首先，激光控制部2判定是对哪个控制参数进行变更(步骤s1201)。

在对能量控制参数peg进行变更的情况下，激光控制部2进行能量控制的调整振荡(步骤s1202)，进入图11的步骤s1108的处理。

在对光谱控制参数pλc进行变更的情况下，激光控制部2进行光谱控制的调整振荡(步骤s1203)，进入图11的步骤s1108的处理。另外，在光谱控制参数pλc的变更是波长控制参数的变更的情况下，激光控制部2进行波长控制的调整振荡。此外，在光谱控制参数pλc的变更是光谱线宽控制参数的变更的情况下，激光控制部2进行光谱线宽控制的调整振荡。

在对气体控制参数pgs进行变更的情况下，激光控制部2进行气体控制的调整振荡(步骤s1204)，进入图11的步骤s1108的处理。

另外，在图12中，是以分别对能量控制参数peg、光谱控制参数pλc和气体控制参数pgs进行变更的情况为例的，但是，在不会由于各控制参数的变更而导致各控制彼此之间发生干扰的情况下，也可以同时变更各控制参数。特别是，由于在能量控制参数peg的变更和光谱控制参数pλc的变更中，所进行的控制的彼此之间很少发生干扰，因此，可以同时变更控制参数。

(能量控制的调整振荡)

图13是示出图12所示的流程图中的步骤s1202的能量控制的调整振荡的处理的详细情况的子流程图。激光控制部2主要控制能量控制部6来进行能量控制的调整振荡。

激光控制部2开始进行调整振荡(步骤s1301)。在调整振荡中，不是通过外部触发即来自曝光装置控制部5的发光触发信号str，而是通过激光装置1的内部触发以规定的重复频率进行激光振荡。在调整振荡中，优选以接近实际曝光的脉冲串运转进行振荡。例如，可以以6khz进行包含0.5s(秒)的振荡期间和0.2s的休止时间的脉冲串运转等。

接着，激光控制部2设定第1存储部51中存储的变更前的能量控制参数peg的数据作为能量控制参数peg(步骤s1302)，执行能量控制(步骤s1303)。

接着，激光控制部2计测能量控制参数peg变更前的脉冲能量，存储其评价数据(步骤s1304)。这里，脉冲能量的评价数据例如可以是脉冲能量的能量稳定性eσ(％)。脉冲能量的能量稳定性eσ可以是脉冲能量的标准偏差σ。激光控制部2可以向终端装置111发送评价数据。

接着，激光控制部2设定第2存储部52中存储的变更后的能量控制参数peg的数据作为能量控制参数peg(步骤s1305)。执行能量控制(步骤s1306)。这里，要变更的能量控制参数peg例如可以是脉冲能量控制增益vk。

接着，激光控制部2计测能量控制参数peg变更后的脉冲能量，存储其评价数据(步骤s1307)。这里，脉冲能量的评价数据例如可以是脉冲能量的能量稳定性eσ(％)。脉冲能量的能量稳定性eσ可以是脉冲能量的标准偏差σ。激光控制部2可以向终端装置111发送评价数据。

接着，激光控制部2停止调整振荡(步骤s1309)，判断能量稳定性是否得到改善(步骤s1309)。这里，能量稳定性是否得到改善的判断可以通过判定能量稳定性eσ的值在控制参数变更前后是否减小来进行。

激光控制部2在判断为能量稳定性得到改善的情况下(步骤s1309；是)，可以设标志f的值为1(步骤s1311)，进入图11的步骤s1108的处理。另一方面，激光控制部2在判断为能量稳定性没有得到改善的情况下(步骤s1309；否)，可以设标志f的值为0(步骤s1310)，进入图11的步骤s1108的处理。

(波长控制的调整振荡)

图14是示出图12所示的流程图中的步骤s1203的波长控制的调整振荡的处理的详细情况的子流程图。激光控制部2主要控制光谱控制部7来进行波长控制的调整振荡。

激光控制部2开始进行调整振荡(步骤s1401)。在调整振荡中，不是通过外部触发即来自曝光装置控制部5的发光触发信号str，而是通过激光装置1的内部触发以规定的重复频率进行激光振荡。在调整振荡中，优选以接近实际曝光的脉冲串运转进行振荡。例如，可以以6khz进行包含0.5s(秒)的振荡期间和0.2s的休止时间的脉冲串运转等。

接着，激光控制部2设定第1存储部51中存储的变更前的波长控制参数的数据作为波长控制参数(步骤s1402)，执行波长控制(步骤s1403)。

接着，激光控制部2计测波长控制参数变更前的波长，存储其评价数据(步骤s1404)。这里，波长的评价数据例如可以是波长稳定性λσ。波长稳定性λσ例如可以是计测出的波长λ与目标波长λt之差δλ(＝λ-λt)的标准偏差值δλσ。激光控制部2可以向终端装置111发送评价数据。

接着，激光控制部2设定第2存储部52中存储的变更后的波长控制参数的数据作为波长控制参数(步骤s1405)。执行波长控制(步骤s1406)。这里，要变更的波长控制参数例如可以是波长控制增益λk。

接着，激光控制部2计测波长控制参数变更后的波长，存储其评价数据(步骤s1407)。这里，波长的评价数据例如可以是波长稳定性λσ。波长稳定性λσ例如可以是计测出的波长λ与目标波长λt之差δλ(＝λ-λt)的标准偏差值δλσ。激光控制部2可以向终端装置111发送评价数据。

接着，激光控制部2停止调整振荡(步骤s1409)，判断波长稳定性是否得到改善(步骤s1409)。这里，波长稳定性是否得到改善的判断可以通过判定波长稳定性λσ的值在控制参数变更前后是否减小来进行。

激光控制部2在判断为波长稳定性得到改善的情况下(步骤s1409；是)，可以设标志f的值为1(步骤s1411)，进入图11的步骤s1108的处理。另一方面，激光控制部2在判断为波长稳定性没有得到改善的情况下(步骤s1409；否)，可以设标志f的值为0(步骤s1410)，进入图11的步骤s1108的处理。

(光谱线宽控制的调整振荡)

图15是示出图12所示的流程图中的步骤s1203的光谱线宽控制的调整振荡的处理的详细情况的子流程图。激光控制部2主要控制光谱控制部7来进行光谱线宽控制的调整振荡。

激光控制部2开始进行调整振荡(步骤s1501)。在调整振荡中，不是通过外部触发即来自曝光装置控制部5的发光触发信号str，而是通过激光装置1的内部触发以规定的重复频率进行激光振荡。在调整振荡中，优选以接近实际曝光的脉冲串运转进行振荡。例如，可以以6khz进行包含0.5s(秒)的振荡期间和0.2s的休止时间的脉冲串运转等。

接着，激光控制部2设定第1存储部51中存储的变更前的光谱线宽控制参数的数据作为光谱线宽控制参数(步骤s1502)，执行光谱线宽控制(步骤s1503)。

接着，激光控制部2计测光谱线宽控制参数变更前的光谱线宽，存储其评价数据(步骤s1504)。这里，光谱线宽的评价数据例如可以是光谱线宽稳定性δλσ。光谱线宽稳定性δλσ可以是计测出的光谱线宽δλ与目标光谱线宽δλt之差δδλ(＝δλ-δλt)的标准偏差值δδλσ。激光控制部2可以向终端装置111发送评价数据。

接着，激光控制部2设定第2存储部52中存储的变更后的光谱线宽控制参数的数据作为光谱线宽控制参数(步骤s1505)。执行光谱线宽控制(步骤s1506)。这里，要变更的光谱线宽控制参数例如可以是光谱线宽控制增益δλk。

接着，激光控制部2计测光谱线宽控制参数变更后的光谱线宽，存储其评价数据(步骤s1507)。这里，光谱线宽的评价数据例如可以是光谱线宽稳定性δλσ。光谱线宽稳定性δλσ可以是计测出的光谱线宽δλ与目标光谱线宽δλt之差δδλ(＝δλ-δλt)的标准偏差值δδλσ。激光控制部2可以向终端装置111发送评价数据。

接着，激光控制部2停止调整振荡(步骤s1509)，判断光谱线宽稳定性是否得到改善(步骤s1509)。这里，光谱线宽稳定性是否得到改善的判断可以通过光谱线宽稳定性δλσ的值在控制参数变更前后是否减小来进行。

激光控制部2在判断为光谱线宽稳定性得到改善的情况下(步骤s1509；是)，可以设标志f的值为1(步骤s1511)，进入图11的步骤s1108的处理。另一方面，激光控制部2在判断为光谱线宽稳定性没有得到改善的情况下(步骤s1509；否)，可以设标志f的值为0(步骤s1510)，进入图11的步骤s1108的处理。

(气体控制的调整振荡的第1例)

图16是示出图12所示的流程图中的步骤s1204的气体控制的调整振荡的处理的第1例的子流程图。激光控制部2主要控制气体控制部9来进行气体控制的调整振荡。在图16中，作为气体控制的调整振荡的处理的第1例，对判定在规定时间内激光性能是否成为合格的例子进行说明。

激光控制部2开始进行调整振荡(步骤s1601)。在调整振荡中，不是通过外部触发即来自曝光装置控制部5的发光触发信号str，而是通过激光装置1的内部触发以规定的重复频率进行激光振荡。在调整振荡中，优选以接近实际曝光的脉冲串运转进行振荡。例如，可以以6khz进行包含0.5s(秒)的振荡期间和0.2s的休止时间的脉冲串运转等。

接着，激光控制部2读入第2存储部52中存储的变更后的气体控制参数pgs的信息(步骤s1602)，利用变更后的气体控制参数pgs实施气体控制(步骤s1603)。这里，作为气体控制参数pgs的变更，例如可以假设处于最大控制气压pmax增加的倾向的情况。

接着，激光控制部2使计时器t进行复位起动(步骤s1604)。接着，激光控制部2利用变更后的气体控制参数pgs实施气体控制(步骤s1605)。

接着，激光控制部2判断计时器t的值是否达到规定时间k(步骤s1606)。激光控制部2可以在判断为计时器t的值未达到规定时间k的情况下(步骤s1606；否)，返回步骤s1605的处理。

另一方面，激光控制部2在判断为计时器t的值达到规定时间k的情况下(步骤s1606；是)，在接下来计测激光性能(步骤s1607)。这里，关于激光性能的计测，例如可以计测能量稳定性eσ或充电电压v等的值。激光控制部2可以向终端装置111发送计测结果。

接着，激光控制部2停止调整振荡(步骤s1608)，判断激光性能是否合格(步骤s1609)。这里，激光性能是否合格的判断例如可以通过判定能量稳定性eσ或充电电压v等的值是否在容许范围内来进行。

激光控制部2在判断为激光性能合格的情况下(步骤s1609；是)，可以设标志f的值为1(步骤s1611)，进入图11的步骤s1108的处理。另一方面，激光控制部2在判断为激光性能不合格的情况下(步骤s1609；否)，可以设标志f的值为0(步骤s1610)，进入图11的步骤s1108的处理。

(气体控制的调整振荡的第2例)

图17是示出图12所示的流程图中的步骤s1204的气体控制的调整振荡的处理的第2例的子流程图。激光控制部2主要控制气体控制部9来进行气体控制的调整振荡。在图17中，作为气体控制的调整振荡的处理的第2例，以计测气体控制参数pgs变更前后的激光性能并进行判定的情况为例进行说明。

激光控制部2开始进行调整振荡(步骤s1701)。在调整振荡中，不是通过外部触发即来自曝光装置控制部5的发光触发信号str，而是通过激光装置1的内部触发以规定的重复频率进行激光振荡。在调整振荡中，优选以接近实际曝光的脉冲串运转进行振荡。例如，可以以6khz进行包含0.5s(秒)的振荡期间和0.2s的休止时间的脉冲串运转等。

接着，激光控制部2设定第1存储部51中存储的变更前的气体控制参数pgs的数据作为气体控制参数pgs(步骤s1702)，使计时器t进行复位起动(步骤s1703)。接着，激光控制部2执行气体控制(步骤s1704)。

接着，激光控制部2判断计时器t的值是否达到规定时间k1(步骤s1705)。激光控制部2在判断为计时器t的值未达到规定时间k1的情况下(步骤s1705；否)，可以返回步骤s1704的处理。

另一方面，激光控制部2在判断为计时器t的值达到规定时间k1的情况下(步骤s1705；是)，在接下来计测气体控制参数pgs变更前的激光性能，存储其评价数据(步骤s1706)。这里，关于激光性能的计测，例如可以计测能量稳定性eσ或充电电压v等的值。激光控制部2可以向终端装置111发送评价数据。

接着，激光控制部2设定第2存储部52中存储的变更后的气体控制参数pgs的数据作为气体控制参数pgs(步骤s1707)，使计时器t进行复位起动(步骤s1708)。这里，要变更的气体控制参数pgs例如可以是最大控制气压pmax。接着，激光控制部2执行气体控制(步骤s1709)。

接着，激光控制部2判断计时器t的值是否达到规定时间k2(步骤s1710)。这里，规定时间k1和规定时间k2的值可以是k2≥k1的值。激光控制部2在判断为计时器t的值未达到规定时间k2的情况下(步骤s1710；否)，可以返回步骤s1709的处理。

另一方面，激光控制部2在判断为计时器t的值达到规定时间k2的情况下(步骤s1710；是)，在接下来计测气体控制参数pgs变更后的激光性能，存储其评价数据(步骤s1711)。这里，关于激光性能的计测，例如可以计测能量稳定性eσ或充电电压v等的值。激光控制部2可以向终端装置111发送评价数据。

接着，激光控制部2停止调整振荡(步骤s1712)，判断激光性能是否得到改善(步骤s1713)。这里，激光性能是否得到改善的判断可以通过判定能量稳定性eσ等激光性能的值在控制参数变更前后是否减小来进行。

激光控制部2在判断为激光性能得到改善的情况下(步骤s1713；是)，可以设标志f的值为1(步骤s1715)，进入图11的步骤s1108的处理。另一方面，激光控制部2在判断为激光性能没有改善的情况下(步骤s1713；否)，可以设标志f的值为0(步骤s1714)，进入图11的步骤s1108的处理。

其他动作可以与上述比较例的激光装置101和激光装置管理系统大致相同。

[2.3作用/效果]

根据实施方式1的激光装置1和激光装置管理系统，能够根据控制参数变更前后的激光性能的数据判定控制参数的变更是否有效。而且，在有效的情况下，通过控制参数的变更来改善激光性能。

此外，如图11那样，利用变更后的控制参数进行控制，然后，判定激光性能是否合格，由此，能够判定控制参数的变更是否有效。而且，在有效的情况下，通过控制参数的变更来改善激光性能。

(其他)

在实施方式1中，是以直接连接激光控制部2和终端装置111的情况为例的，但是，激光控制部2和终端装置111也可以经由网络而被连接。激光控制部2与终端装置111之间的、预约控制参数pr、激光性能数据dab和控制参数变更结果信号sab等数据的发送接收可以经由网络进行。

<3.实施方式2>(具有基于服务器的控制参数的预约变更功能的激光装置和激光装置管理系统)

接着，对本公开的实施方式2的激光装置和激光装置管理系统进行说明。另外，下面，对与上述比较例或实施方式1的激光装置和激光装置管理系统的结构要素大致相同的部分标注相同标号并适当省略说明。

[3.1结构]

图18概略地示出实施方式2的激光装置和激光装置管理系统的一个结构例。

实施方式2的激光装置管理系统可以是相对于实施方式1的激光装置管理系统另外还具有服务器110和终端装置112的结构。

终端装置111可以是由激光装置1的激光器制造商操作的pc(个人计算机)等终端。终端装置112可以是由激光装置1的用户操作的pc等终端。

终端装置111、终端装置112和激光控制部2分别可以通过信号线来连接，该信号线能够与服务器110之间进行各种数据的发送接收。

在实施方式2的激光装置管理系统中，可能包含多个激光装置1。多个激光装置1的各自的激光控制部2可以通过如下信号线来连接，该信号线能够与服务器110之间进行各种数据的发送接收。

在实施方式2的激光装置管理系统中，构成为在激光控制部2与终端装置111之间，经由服务器110进行作为第2激光控制参数的预约控制参数pr、激光性能数据dab和控制参数变更结果信号sab等数据的发送接收。

在实施方式2的激光装置管理系统中，在为了进行控制参数的变更而停止从激光输出部向曝光装置4输出激光之前，从服务器110发送预约控制参数pr。

在实施方式2的激光装置管理系统中，激光控制部2在为了进行控制参数的变更而停止从激光输出部向曝光装置4输出激光之前，从与终端装置111连接的服务器110接收预约控制参数pr的数据，将其存储在第2存储部52中。

激光控制部2可以具有性能数据发送部，该性能数据发送部向服务器110发送包含控制参数变更前的第1激光性能数据和控制参数变更后的第2激光性能数据的激光性能数据dab。

服务器110具有数据存储部120。数据存储部120包含控制参数存储部，该控制参数存储部存储从终端装置111发送的预约控制参数pr的数据。此外，数据存储部120包含性能数据存储部，该性能数据存储部存储包含从激光控制部2的性能数据发送部发送的第1激光性能数据和第2激光性能数据的激光性能数据dab。此外，数据存储部120包含如下存储部，该存储部存储控制参数变更前后的控制参数的数据。此外，数据存储部120可以存储包含控制参数变更成功信号或控制参数变更失败信号的控制参数变更结果信号sab。

另外，在实施方式2的激光装置管理系统中，也优选在激光控制部2中设置有第1存储部51和第2存储部52。但是，在激光控制部2中也可以不设置第1存储部51和第2存储部52，而是在服务器110侧的数据存储部120中保存控制参数变更前后的各种控制参数的数据，激光控制部2使用该数据存储部120中存储的各种控制参数进行控制参数的变更控制。

其他结构可以与上述比较例或实施方式1的激光装置和激光装置管理系统大致相同。

[3.2动作]

在从终端装置111向服务器110发送预约控制参数pr的数据后，服务器110将预约控制参数pr的数据存储在数据存储部120中，并且向激光装置1的激光控制部2发送预约控制参数pr。

激光控制部2在从服务器110接收到预约控制参数pr时，进行与实施方式1大致相同的控制参数的变更控制。

激光控制部2在控制参数变更前，通过内部触发以第1振荡方式运转激光装置1，向服务器110发送此时计测出的能量控制关联数据deg、光谱控制关联数据dλc、气体控制关联数据dgs作为控制参数变更前的调整振荡时的激光性能数据。服务器110在数据存储部120中存储该激光性能数据。

激光控制部2在控制参数变更后，通过内部触发以第2振荡方式运转激光装置1，向服务器110发送此时计测出的能量控制关联数据deg、光谱控制关联数据dλc、气体控制关联数据dgs作为控制参数变更后的调整振荡时的激光性能的数据。服务器110在数据存储部120中存储该激光性能数据。

此外，激光控制部2向服务器110发送控制参数变更前后的控制参数的数据、和包含控制参数变更成功信号或控制参数变更失败信号的控制参数变更结果信号sab。服务器110在数据存储部120中存储这些数据。

服务器110可以针对数据存储部120中存储的数据，根据内容设定参照权限。例如，对于控制参数变更前后的控制参数的数据，服务器110可以设定能够从终端装置111参照的参照权限。但是，对于控制参数变更前后的控制参数的数据，也可以设定还能够从终端装置112参照的参照权限。例如，对于包含控制参数变更成功信号或控制参数变更失败信号的控制参数变更结果信号sab的数据，服务器110设定能够从终端装置111和终端装置112参照的参照权限。例如对于控制参数变更前后的激光性能数据dab，服务器110设定能够从终端装置111和终端装置112参照的参照权限。

也可以是，终端装置111至少能够阅览服务器110的数据存储部120中存储的数据中的、控制参数变更前后的控制参数的数据、控制参数变更前后的激光性能数据dab、控制参数变更结果信号sab的数据。

也可以是，终端装置112至少能够阅览服务器110的数据存储部120中存储的数据中的、控制参数变更前后的控制参数的数据、控制参数变更前后的激光性能数据dab、控制参数变更结果信号sab的数据。但是，也可以设置成，控制参数变更前后的控制参数的数据无法从终端装置112阅览。

(变更前后的各种控制参数)

图19概略地示出在实施方式2的激光装置管理系统中被存储在服务器110中的控制参数变更前后的各种控制参数的数据的一例。

服务器110可以将与气体控制参数pgs有关的变更前后的控制参数的数据存储在数据存储部120中。与气体控制参数pgs有关的变更前后的控制参数可以包含，最小充电电压vmina、vminb、最大充电电压vmaxa、vmaxb、最大控制气压pmaxa、pmaxb、气压可变量δpa、δpb、部分气体更换周期tpga、tpgb、缓冲气体的注入系数kpga、kpgb和含氟的气体的注入系数khga、khgb。

此外，服务器110可以将与光谱控制参数pλc有关的变更前后的控制参数的数据存储在数据存储部120中。与光谱控制参数pλc有关的变更前后的控制参数可以包含波长控制增益λka、λkb、旋转台14的初始角度θ0a、θ0b、光谱线宽控制增益δλka、δλkb和直线台63的初始位置x0a、x0b。

此外，服务器110可以将与能量控制参数peg有关的变更前后的控制参数的数据存储在数据存储部120中。与能量控制参数peg有关的变更前后的控制参数可以包含能量控制增益vka、vkb和充电电压v的初始值v0a、v0b。

服务器110可以对上述数据存储部120中存储的各种控制参数的数据进行权限设定，使得例如能够从激光器制造商的维护人员所使用的终端装置111来参照。此外，在上述数据存储部120中存储的各种控制参数的数据不是向激光装置1的用户公开的数据的情况下，服务器110也可以将权限设定成无法从用户使用的终端装置112参照。

另外，上述各种控制参数是一例，不限于上述各种控制参数。此外，服务器110可以将变更控制参数的时刻或变更控制参数的负责人的id等历史数据与上述各种控制参数关联起来存储在数据存储部120中。

(变更前后的与能量控制相关的激光性能数据)

图20概略地示出在实施方式2的激光装置管理系统中被存储在服务器110中的控制参数变更前后的与能量控制相关的激光性能数据的一例。

服务器110可以将控制参数变更前后的与能量控制相关的激光性能数据存储在数据存储部120中。控制参数变更前后的与能量控制相关的激光性能数据可以包含目标脉冲能量et、脉冲能量ea、eb、能量稳定性eσa、eσb和充电电压va、vb的数据。

服务器110可以将上述控制参数变更前后的与能量控制相关的激光性能数据与自控制参数变更前后的各调整振荡开始起的发射(shot)编号、自控制参数变更前后的各调整振荡开始时刻起的经过时间ta、tb关联起来存储在数据存储部120中。

服务器110可以对上述数据存储部120中存储的控制参数变更前后的与能量控制相关的激光性能数据进行权限设定，使得例如能够从激光器制造商的维护人员所使用的终端装置111参照。此外，服务器110可以对上述数据存储部120中存储的控制参数变更前后的与能量控制相关的激光性能数据进行权限设定，使得能够从激光装置1的用户所使用的终端装置112参照。

在终端装置111中，根据从服务器110的数据存储部120读入的上述激光性能数据，例如在横轴上针对控制参数变更前后的各发射编号或自控制参数变更前后的各调整振荡开始时刻起的经过时间ta、tb进行描点，在纵轴上针对与能量控制相关的各激光性能数据进行描点，从而能够评价激光性能。由此，维护人员能够对控制参数变更前后的更加详细的激光性能的改善或恶化的状态进行比较分析。

(变更前后的与光谱控制相关的激光性能数据)

图21概略地示出在实施方式2的激光装置管理系统中被存储在服务器110中的控制参数变更前后的与光谱控制相关的激光性能数据的一例。

服务器110可以将控制参数变更前后的与光谱控制相关的激光性能数据存储在数据存储部120中。控制参数变更前后的与光谱控制相关的激光性能数据可以包含目标波长λt、与目标波长之差δλa、δλb、波长稳定性λσa、λσb、目标光谱线宽δλt、光谱线宽δλa、δλb和光谱线宽稳定性δλσa、δλσb的数据。

服务器110可以将上述控制参数变更前后的与光谱控制相关的激光性能数据与自控制参数变更前后的各调整振荡开始起的发射(shot)编号、自控制参数变更前后的各调整振荡开始时刻起的经过时间ta、tb关联起来存储在数据存储部120中。

服务器110可以对上述数据存储部120中存储的控制参数变更前后的与光谱控制相关的激光性能数据进行权限设定，使得例如能够从激光器制造商的维护人员所使用的终端装置111来参照。此外，服务器110可以对上述数据存储部120中存储的控制参数变更前后的与光谱控制相关的激光性能数据进行权限设定，使得能够从激光装置1的用户所使用的终端装置112参照。

在终端装置111中，根据从服务器110的数据存储部120读入的上述激光性能数据，例如在横轴上针对控制参数变更前后的各发射编号或自控制参数变更前后的各调整振荡开始时刻起的经过时间ta、tb进行描点，在纵轴上针对与光谱控制相关的激光性能数据进行描点，从而能够评价激光性能。由此，维护人员能够对控制参数变更前后的更加详细的激光性能的改善或恶化的状态进行比较分析。

(变更前后的与气体控制相关的激光性能数据)

图22概略地示出实施方式2的激光装置1和激光装置管理系统中的控制参数变更前后的与气体控制相关的激光性能数据的一例。

服务器110可以将控制参数变更前后的与气体控制相关的激光性能数据存储在数据存储部120中。控制参数变更前后的与气体控制相关的激光性能数据可以包含气压pa、pb和充电电压va、vb的数据。

服务器110可以将上述控制参数变更前后的与气体控制相关的激光性能数据与自控制参数变更前后的各调整振荡开始起的发射(shot)编号、自控制参数变更前后的各调整振荡开始时刻起的经过时间ta、tb关联起来存储在数据存储部120中。

服务器110可以对上述数据存储部120中存储的控制参数变更前后的与气体控制相关的激光性能数据进行权限设定，使得例如能够从激光器制造商的维护人员所使用的终端装置111参照。此外，服务器110还可以对上述数据存储部120中存储的控制参数变更前后的与气体控制相关的激光性能数据进行权限设定，使得能够从激光装置1的用户所使用的终端装置112参照。

在终端装置111中，根据从服务器110的数据存储部120读入的上述激光性能数据，例如在横轴上针对控制参数变更前后的各发射编号或自控制参数变更前后的各调整振荡开始时刻起的经过时间ta、tb描点，在纵轴上针对各个与气体控制相关的激光性能数据进行描点，从而能够评价激光性能。由此，维护人员能够对控制参数变更前后的更加详细的激光性能的改善或恶化的状态进行比较分析。

其他动作可以与上述比较例或实施方式1的激光装置1和激光装置管理系统大致相同。

[3.3作用/效果]

根据实施方式2的激光装置1和激光装置管理系统，控制参数变更前后的控制参数的数据和激光性能数据、控制参数变更成功信号或控制参数变更失败信号的数据被存储在服务器110中，能够从终端装置111阅览这些详细数据。其结果，能够利用终端装置111进行基于控制参数变更的激光性能的综合评价。进而，终端装置111能够用作根据这些详细数据的综合评价进一步变更控制参数以改善激光性能的情况下的有力的信息源。

此外，还能够从激光装置1的用户所使用的终端装置112阅览控制参数变更前后的激光性能数据等。由此，激光装置1的用户能够在曝光过程中反映控制参数变更的结果。

(其他)

在实施方式2中，是以服务器110与激光控制部2、终端装置111和终端装置112直接连接的情况为例的，但是，激光控制部2、终端装置111和终端装置112也可以经由网络而与服务器110连接。

例如，激光装置1和服务器110可以被设置在半导体工厂内。该情况下，可以在半导体工厂内使服务器110、激光控制部2、终端装置111和终端装置112连接于网络。而且，终端装置111可以与半导体工厂内的网络连接，并经由服务器110向激光控制部2发送预约控制参数pr的数据。

此外，终端装置111可以设置在位于与半导体工厂不同的场所的激光器制造商的工厂内。终端装置111可以经由互联网从激光器制造商的工厂与半导体工厂内的服务器110连接，向服务器110发送预约控制参数pr的数据。该情况下，即使不向半导体工厂派遣激光器制造商的维护人员，也能够远程发送预约控制参数pr，进行激光装置1的控制参数变更，改善激光装置1的激光性能。

此外，在服务器110与多个激光装置1连接的情况下，可以针对各个激光装置1赋予id。而且，可以将进行控制参数变更的激光装置1的id与预约控制参数pr关联起来，从而从终端装置111向服务器110发送带id的预约控制参数pr的数据。

其他作用/效果可以与上述比较例或实施方式1的激光装置和激光装置管理系统大致相同。

<4.其他>

上述说明不是限制而仅仅是例示。因此，本领域技术人员能够知晓，可以在不脱离于附加的权利要求书的情况下对本公开的实施方式施加变更。

本说明书和附加的权利要求书整体所使用的用语应该解释为“非限定性”用语。例如，“包含”或“所包含”这样的用语应该解释为“不限定于所记载的包含的内容”。“具有”这样的用语应该解释为“不限定于所记载的具有的内容”。此外，本说明书和附加的权利要求书所记载的不定冠词“一个”应该解释为意味着“至少一个”或“一个或一个以上”。