技术特征：
技术总结
一种图像传感器及其形成方法，所述方法包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底包括并列的逻辑区域和像素区域，其中，在所述半导体衬底的正面，所述逻辑区域内形成有隔离结构；从所述半导体衬底的背面对所述逻辑区域进行刻蚀，以形成凹槽，其中，所述凹槽的底部暴露出所述隔离结构；在所述凹槽内填充介质层。本发明方案有助于降低漏电流以及寄生电容，避免闩锁效应的发生，从而提高器件品质。
技术研发人员：高俊九;李志伟;黄仁德
受保护的技术使用者：德淮半导体有限公司
技术研发日：2018.01.24
技术公布日：2018.07.13