本发明涉及便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。
背景技术：
涉及通过向试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射装置的技术的研究和开发正在进行。
与此相关，公知有具有触摸面板的控制装置所控制的带电粒子束照射装置(参照专利文献1)。
专利文献1：日本特开2012-159699号公报
这里，在现有的带电粒子束照射装置中，由带电粒子束照射装置所具有的操作面板或控制装置中的任意一个对能够在带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目进行操作。操作面板是设置有对该多个操作项目分别进行操作的拨盘(dial)、按钮等硬件的面板。但是，操作面板无法从控制装置拆下而移动。另外，控制装置大多与带电粒子束照射装置一体构成。另外，控制装置即使在与带电粒子束照射装置分体构成的情况下，也有可能因移动所引起的故障等而无法进行带电粒子束照射装置的控制。因此，控制装置在该情况下也有时无法容易地移动。其结果是，在该带电粒子束照射装置中，用户有时难以在期望的位置进行该多个操作项目各自的操作。
技术实现要素：
因此，本发明就是鉴于上述现有技术的问题而完成的，提供便携式信息终端、射束照射系统、以及存储介质，其能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。
本发明的一个方式是一种便携式信息终端，其是与通过向试样照射带电粒子束来对所述试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其中，该便携式信息终端具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含gui即图形用户界面的图像，该gui能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在所述带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的一部分操作项目。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：在所述第一操作项目中包含有与所述带电粒子束的状态相关的操作项目。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：在与所述带电粒子束的状态相关的操作项目中包含有加速电压、射束电流、镜头模式、偏转电压值(aligner)、射束移位、ol值、像散校正值(stigmavalue)中的至少一部分。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：在所述第一操作项目中包含有与检测从被所述带电粒子束照射的所述试样放射的二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：在与所述检测灵敏度相关的操作项目中包含有对比度、亮度中的至少一方。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：该便携式信息终端具有像生成部，该像生成部根据表示从被所述带电粒子束照射的所述试样放射的二次粒子的信息生成所述试样的观察像，所述显示控制部使所述显示部在所述图像内预先确定的位置上显示所述像生成部所生成的所述观察像。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述显示控制部将所述gui配置在所述图像内与从用户接受的操作对应的位置上。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：对于所述gui分配了相互不同的所述第一操作项目，该便携式信息终端还具有输出控制部，该输出控制部使输出部输出与分配给用户所操作的所述gui的所述第一操作项目对应的种类的输出。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述输出部是扬声器，所述输出控制部使所述输出部输出所述种类的声音作为所述种类的输出。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述输出控制部使所述输出部输出与用户对用户所操作的所述gui进行的操作的程度对应的程度的声音。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述显示部是触摸面板，在用户触摸所述触摸面板上显示了的所述gui的区域，且用户未使所触摸的触摸位置移动的情况下，所述输出控制部不从所述输出部输出所述种类的声音。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述带电粒子束照射装置与控制所述带电粒子束照射装置的控制装置以能够进行通信的方式连接，所述便携式信息终端与所述控制装置以能够进行通信的方式连接，根据从用户接受的操作而经由所述控制装置操作所述第一操作项目。
另外，在本发明的另一方式中，在上述的便携式信息终端中也可以使用如下结构：所述便携式信息终端与所述控制装置以能够无线地通信的方式连接。
另外，本发明的另一方式是一种射束照射系统，其是具有带电粒子束照射装置和与所述带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端的射束照射系统，该带电粒子束照射装置通过向试样照射带电粒子束来对所述试样进行处理，其中，所述便携式信息终端具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含gui即图形用户界面的图像，该gui能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在所述带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的至少一部分操作项目。
另外，本发明的另一方式是一种便携式信息终端，其是与通过向试样照射射束来对所述试样进行处理的射束照射装置分体的便携式信息终端，其中，该便携式信息终端具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含gui即图形用户界面的图像，该gui能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在所述射束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。
另外，本发明的另一方式是一种记录了计算机程序的存储介质，其中，该计算机程序用于使与通过向试样照射带电粒子束来对所述试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端执行如下的步骤：使显示部显示包含gui即图形用户界面的图像，该gui能够根据来自用户的操作来操作能够第一操作项目，该第一操作项目是在所述带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。
根据本发明，可以提供能够在期望的位置进行第一操作项目的操作的便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。
附图说明
图1是示出实施方式的射束照射系统1的结构的一例的图。
图2是示出便携式信息终端40的硬件结构的一例的图。
图3是示出便携式信息终端40的功能结构的一例的图。
图4是示出便携式信息终端40生成操作画面图像的处理的流程的一例的图。
图5是示出在步骤s180中生成的操作画面图像的一例的图。
图6是示出显示有区域ra2的情况下的图像p1的一例的图。
图7是示出在步骤s180中生成的操作画面图像的另外一例的图。
标号说明
1：射束照射系统；10：射束照射装置；11：会聚离子束镜筒；12：电子束镜筒；13：试样室；14：载台；16：二次电子检测器；17：eds检测器；18：ebsd检测器；30：控制装置；35：显示装置；40：便携式信息终端；41：cpu；42：存储部；43：输入接受部；44：通信部；45：显示部；46：输出部；47：控制部；471：信息获取部；472：像生成部；473：显示控制部；475：操作控制部：476：输出控制部。
具体实施方式
＜实施方式＞
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
＜射束照射系统所进行的处理的概要＞
首先，对实施方式的射束照射系统1所进行的处理的概要进行说明。
射束照射系统1具有射束照射装置10、控制装置30、以及便携式信息终端40。关于射束照射装置10、控制装置30、便携式信息终端40的详细各自将在后面说明。
在射束照射系统1中，控制装置30根据从用户接受的操作对射束照射装置10进行控制，向试样照射射束来对试样进行处理。例如，射束照射系统1进行通过该射束使试样的截面露出并且通过该射束生成该截面的观察像(截面像)并进行显示生成的观察像的处理。另外，射束照射系统1也可以采用如下结构：进行通过照射该射束来切断试样的处理、通过照射该射束而在试样上形成沉积膜(depositedfilm)的处理等其他处理作为针对试样的处理。另外，以下，作为一例，对该射束是电子束、会聚离子束等使带电粒子会聚的带电粒子束的情况进行说明。即，在该一例中，射束照射系统1是带电射束照射系统。另外，在该一例中，射束照射装置10是带电射束照射装置。另外，该射束也可以代替带电粒子束而是红外线束、可见光束、x射线束、伽马射线束等中性粒子束。另外，该观察像是表示试样的化学组成中的该截面的化学组成、试样的晶体结构中的该截面的晶体结构等试样的内部构造的像。例如，该观察像是sim(scanningionmicroscope：扫描离子显微镜)像、sem(scanningelectronmicroscope：扫描电子显微镜)像、bse(backscatteringelectron：背散射电子)像、eds(energydispersivex-rayspectrometer：能量色散x射线光谱仪)像、ebsd(electronbackscatterdiffraction：电子背散射衍射)像等。
在射束照射系统1中，在生成向试样照射带电粒子束而露出的截面的观察像时，射束照射装置10对向该截面照射带电粒子束而在该截面上产生的二次粒子进行检测。然后，控制装置30根据射束照射装置10所检测的二次粒子生成该截面的观察像。二次粒子是包含于试样的电子中的带电粒子束所散射的散射电子、包含于试样的电子中的带电粒子束所激励的电子所放射的x射线等。控制装置30根据二次粒子生成该观察像的方法可以是已知的方法，也可以是将来开发的方法。另外，二次粒子也可以是其他粒子代替该散射电子和该x射线中的任意一方或两者。
这里，在与射束照射系统1不同的射束照射系统x即不具有便携式信息终端40的射束照射系统x(例如，现有的射束照射系统)中，由射束照射装置10所具有的操作面板或控制装置30中的任意一个对能够在射束照射装置10中进行操作的多个操作项目中的一部分操作项目即第一操作项目进行操作。操作面板是设置有对第一操作项目分别进行操作的拨盘、按钮等硬件的面板。但是，操作面板无法从控制装置30拆下而移动。另外，控制装置30大多与射束照射装置10一体构成。另外，控制装置30即使在与射束照射装置10分体构成的情况下，也有可能因移动所引起的故障等而无法进行射束照射装置10的控制。因此，控制装置30在该情况下也有时无法容易地移动。其结果是，在射束照射系统x中，用户有时难以在期望的位置进行1个以上的第一操作项目各自的操作。
因此，射束照射系统1除了射束照射装置10和控制装置30之外还具有上述的便携式信息终端40。便携式信息终端40与射束照射装置10分体，使包含能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目的gui(graphicaluserinterface：图形用户界面)在内的图像显示。以下，为了便于说明，将该gui称作操作对象并进行说明。用户能够对包含于该图像的1个以上的操作对象进行操作，从而对分别分配给该1个以上的操作对象的第一操作项目进行操作。在用户对该1个以上的操作对象中的某个操作对象进行操作的情况下，便携式信息终端40通过对分配给该操作对象的第一操作项目进行操作而将设定在射束照射装置10中的设定值变更为与用户对该操作对象进行的操作对应的值即操作值。由此，在射束照射系统1中，用户能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。另外，该设定值是与该第一操作项目的种类对应的数值，例如是表示物理量的数值、由用户预先确定的表示何种状态的数值、表示物体的数值等。
在该一例中，在第一操作项目中包含有与带电粒子束的状态相关的操作项目、与检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目这两种操作项目。另外，也可以采用在第一操作项目中代替该两种操作项目中的任意一方或两者而包含有其他操作项目的结构，也可以采用除了该两种操作项目之外还包含有其他操作项目的结构，也可以采用仅包含有该两种操作项目中的一方的结构。
在本实施方式中，对便携式信息终端40所进行的处理进行详细地说明。另外，以下，作为一例，对上述的试样为试样s的情况进行说明。试样s例如是导电性的试样。另外，也可以取而代之，试样s是绝缘性的试样，也可以是半导电性的试样(半导体试样)。另外，上述的试样也可以是其他试样代替试样s，例如也可以是构成生物的细胞、骨等生物体。
＜射束照射系统1的结构＞
以下，参照图1对射束照射系统1的结构进行说明。图1是示出实施方式的射束照射系统1的结构的一例的图。
如上所述，射束照射系统1具有射束照射装置10、控制装置30、便携式信息终端40。另外，射束照射系统1还具有显示装置35。另外，在该一例中的射束照射系统1中，射束照射装置10、控制装置30、显示装置35各自分体构成，但也可以取而代之，射束照射装置10、控制装置30、显示装置35的一部或全部一体构成。但是，在射束照射系统1中，便携式信息终端40与射束照射装置10、控制装置30、显示装置35中的任意一个均是分体的。
射束照射装置10例如具有会聚离子束(fib(focusedionbeam))镜筒11、电子束(eb(electronbeam))镜筒12、试样室13、上述的未图示的操作面板。
会聚离子束镜筒11照射使预先确定的种类的离子会聚而成的会聚离子束b1作为上述带电粒子束的一种。会聚离子束镜筒11例如具有离子源(例如离子枪，气体电解电离型离子源等)、离子加速部、离子照射部。离子源产生离子。离子加速部对离子源所产生的离子向离子加速方向施加电场，使该离子加速。离子加速方向是沿会聚离子束镜筒11的中心轴的方向且是从会聚离子束镜筒11的离子源朝向会聚离子束镜筒11的射出会聚离子束b1的射出口的方向。离子照射部具有静电透镜，由该静电透镜对被离子加速部加速后的离子施加电场，使该离子会聚。而且，离子照射部将会聚的离子作为会聚离子束b1从该射出口向规定的照射区域照射。另外，该静电透镜可以是加速型，也可以是减速型。另外，离子照射部也可以采用如下的结构：具有磁场透镜，通过该磁场透镜对被离子加速部加速后的离子施加磁场，使该离子会聚。
会聚离子束镜筒11收纳在试样室13内。在试样室13中具有作为载置试样s的试样台的载台14、根据来自控制装置30的请求使载台14的位置和姿势变化的载台驱动部。在该一例中，载台14的位置由三维坐标系11c中的位置即三维坐标系14c的原点的位置进行表示。另外，载台14的姿势由相对于三维坐标系11c的各坐标轴的方向即三维坐标系14c的各坐标轴的方向进行表示。所谓三维坐标系11c是与会聚离子束镜筒11的预先确定的位置对应的三维坐标系。该预先确定的位置例如是会聚离子束镜筒11的重心的位置。在图1中，为了防止附图变得繁杂，三维坐标系11c的原点的位置从该重心的位置偏移。另外，该预先确定的位置也可以是与会聚离子束镜筒11对应的其他位置而取代之，。由于会聚离子束镜筒11被固定在试样室13内而不移动，因此三维坐标系11c的原点的位置、以及三维坐标系11c的各坐标轴的方向被固定而不移动。所谓三维坐标系14c是与载台14的上表面的中心对应的三维坐标系。因此，三维坐标系14c在载台14移动的情况下与载台14一起移动。在图1中，为了防止附图变得繁杂，三维坐标系14c的原点的位置从该中心的位置偏移。
这里，在该一例中，三维坐标系11c中的z轴方向与会聚离子束镜筒11的中心轴方向一致。另外，三维坐标系11c中的x轴方向是与该z轴方向垂直的方向，与从会聚离子束镜筒11朝向电子束镜筒12的方向一致。另外，三维坐标系11c中的y轴方向与该x轴方向和该z轴方向一致。另外，也可以采用三维坐标系11c中的x轴方向、y轴方向、z轴方向分别与其他方向一致的结构而取代之。
会聚离子束镜筒11在载台14的位置和姿势与作为预先确定的基准的位置和姿势即基准位置和基准姿势一致的情况下，将会聚离子束镜筒11的中心轴设置在与载台14的上表面垂直的位置。以下，为了简化说明，对用户不使载台14的位置和姿势从基准位置和基准姿势变化的情况进行说明。
这里，在该一例中，在载台14的位置和姿势与基准位置和基准姿势一致的情况下，三维坐标系14c中的x轴方向、y轴方向、z轴方向各自与三维坐标系11c中的x轴方向、y轴方向、z轴方向分别一致。另外，在该情况下，也可以采用三维坐标系14c中的x轴方向、y轴方向、z轴方向分别与其他方向一致的结构而取代之。
另外，会聚离子束镜筒11设置在能够向上述的照射区域照射会聚离子束b1的位置。该照射区域是载台14的位置和姿势与基准位置和基准姿势一致的情况下的、设定在沿载台14的上表面的平面上的平面区域。以下，作为一例，对照射区域是设定在该情况下的载台14的上表面的内侧的区域的情况进行说明。另外，照射区域也可以为设定在包含该情况下的载台14的上表面的一部分或全部在内的范围内的区域而取代之。另外，照射区域始终固定，即使在载台驱动部使载台14的位置和姿势变化的情况下，也不会与载台14的上表面一起移动。即，载台驱动部通过使载台14的位置和姿势变化，能够使载置于载台14的上表面的试样s相对于照射区域相对地并进平移或倾斜。
电子束镜筒12照射使电子会聚的电子束b2。电子束镜筒12例如具有电子源(例如电子枪)、电子加速部、电子照射部。电子源产生电子。电子加速部对电子源所产生的电子向电子加速方向施加电场，使该电子加速。电子加速方向是沿电子束镜筒12的中心轴的方向且是从电子束镜筒12的电子源朝向电子束镜筒12的射出电子束b2的射出口的方向。电子照射部具有静电透镜，由该静电透镜对被电子加速部加速后的电子施加电场，使该电子会聚。然后，电子照射部将会聚的电子作为电子束b2从该射出口照射。另外，该静电透镜可以是加速型的，也可以是减速型的。另外，电子照射部也可以采用如下结构：具有磁场透镜，由该磁场透镜对被电子加速部加速后的电子施加磁场，使该电子会聚。
另外，电子束镜筒12具有未图示的镜筒内反射电子检测器。镜筒内反射电子检测器检测包含于电子束b2的电子中的被试样s反射的反射电子作为二次电子。镜筒内反射电子检测器将包含表示检测到的该二次电子的信息在内的信号输出给控制装置30。表示该二次电子的信息是表示该反射电子的数量的信息。
电子束镜筒12与会聚离子束镜筒11一起收纳在试样室13内。电子束镜筒12设置于在载台14的位置和姿势与作为基准的基准位置和基准姿势一致的情况下电子束镜筒12的中心轴相对于载台14的上表面倾斜了规定的角度的位置。另外，电子束镜筒12设置在能够向上述的照射区域照射电子束b2的位置。另外，电子束镜筒12期望配置成沿电子束镜筒12的中心轴的方向即从电子束镜筒12的电子源朝向电子束镜筒12的射出电子束b2的射出口的方向与沿会聚离子束镜筒11的中心轴的方向即从会聚离子束镜筒11的离子源朝向会聚离子束镜筒11的射出会聚离子束b1的射出口的方向垂直。
另外，射束照射装置10还具有二次电子检测器16、eds检测器17、ebsd检测器18。
二次电子检测器16检测在会聚离子束b1被照射到试样s的情况下从试样s产生的二次电子。该二次电子是试样s所包含的电子中的会聚离子束b1所散射的散射电子等。另外，二次电子检测器16检测在电子束b2被照射到试样s的情况下从试样s产生的二次电子。该二次电子是试样s所包含的电子中的电子束b2所散射的散射电子等。二次电子检测器16将包含表示检测到的二次电子的信息在内的信号输出给控制装置30。该信息是表示该二次电子的数量的信息。
eds检测器17检测在电子束b2被照射到试样s的情况下从试样s产生的x射线。从试样s产生的x射线包含构成试样s的每个物质所特有的特性x射线。射束照射系统1能够根据该特性x射线来确定构成试样s的物质。eds检测器17将包含表示检测到的x射线的信息在内的信号输出给控制装置30。
ebsd检测器18对在试样s为结晶性材料的情况且电子束b2被照射到试样s的截面的情况下在该截面上产生的、因电子射线后方散射衍射而产生的二次电子的强度分布(衍射图形)即ebsd图案进行检测。该二次电子是试样s所包含的电子中的电子束所散射的散射电子等。在该截面上产生的ebsd图案表示该截面的晶体结构(即晶体系统、晶体取向等)。射束照射系统1能够根据该ebsd图案来确定该截面的化学组成。ebsd检测器18将包含表示检测到的该ebsd图案的信息在内的信号输出给控制装置30。
另外，射束照射装置10通过电缆与控制装置30以能够进行通信的方式连接。由此，射束照射装置10所具有的会聚离子束镜筒11(包含上述的镜筒内反射电子检测器在内)、电子束镜筒12、载台14、二次电子检测器16、eds检测器17、ebsd检测器18分别进行基于从控制装置30获取的控制信号的动作。另外，经由电缆的有线通信例如是根据以太网(注册商标)、usb(universalserialbus：通用串行总线)等标准进行的。另外，射束照射装置10也可以采用通过根据wi-fi(注册商标)等通信标准进行的无线通信而与控制装置30连接的结构。
另外，射束照射装置10也可以采用不具有上述的镜筒内反射电子检测器、二次电子检测器16、eds检测器17、ebsd检测器18中的一部分的结构。另外，射束照射装置10也可以采用具有其他检测器代替镜筒内反射电子检测器、二次电子检测器16、eds检测器17、ebsd检测器18中的一部或全部的结构。另外，射束照射装置10也可以采用除了镜筒内反射电子检测器、二次电子检测器16、eds检测器17、ebsd检测器18之外还具有其他检测器的结构。
控制装置30例如是台式pc(personalcomputer：个人计算机)、工作站等信息处理装置。另外，控制装置30也可以是笔记本pc等其他信息处理装置。控制装置30是控制射束照射装置10的装置。因此，期望抑制因使控制装置30移动而可能产生的控制装置30的故障等麻烦。即，控制装置30不是在通常时由用户携带而进行移动那样的运用的装置。
如上所述，控制装置30控制射束照射装置10。例如，控制装置30控制射束照射装置10，向试样s照射带电粒子束，使试样s的截面露出。另外，控制装置30使射束照射装置10向该截面照射带电粒子束。其结果是，控制装置30使射束照射装置10检测从该截面产生的二次粒子。控制装置30从射束照射装置10获取包含表示射束照射装置10所检测的二次粒子的信息在内的信号作为表示该截面的观察像信息。控制装置30根据获取的观察像信息生成该观察像信息所表示的该截面的观察像。另外，控制装置30根据来自便携式信息终端40的请求将获取的观察像信息输出给便携式信息终端40。另外，控制装置30也能够通过射束照射装置10来进行使保护试样s的表面的沉积膜形成在该表面上的处理等其他处理，但省略该其他处理的详细。
另外，控制装置30能够根据从用户接受的操作来操作能够在射束照射装置10中进行操作的多个操作项目的全部。
显示装置35例如是具有液晶显示器面板、或者有机el(electroluminescence：电致发光)显示面板作为上述显示部的显示器。显示装置35将从控制装置30获取的各种图像显示在该显示部上。
另外，显示装置35通过电缆与控制装置30以能够进行通信的方式连接。由此，显示装置35进行基于从控制装置30获取的控制信号的动作。另外，经由电缆的有线通信例如是根据以太网(注册商标)、usb等标准进行的。另外，显示装置35也可以采用通过根据wi-fi(注册商标)等通信标准进行的无线通信而与控制装置30连接的结构。
便携式信息终端40是平板pc、多功能手机终端(智能手机)、pda(personaldigitalassistant：个人数据助理)等的与射束照射装置10、控制装置30、显示装置35分体的便携式信息终端。
便携式信息终端40通过根据wi-fi(注册商标)等通信标准进行的无线通信与控制装置30以能够进行通信的方式连接。由此，便携式信息终端40能够经由控制装置30与射束照射装置10进行通信。另外，便携式信息终端40也可以采用通过电缆与控制装置30以能够进行通信的方式连接的结构。
如上所述，便携式信息终端40显示包含1个以上的操作对象在内的图像。在用户对包含于该图像的某个操作对象进行操作的情况下，便携式信息终端40对分配给该操作对象的第一操作项目进行操作。具体而言，便携式信息终端40计算该情况下的、与对该操作对象进行了的来自用户的操作对应的操作值。便携式信息终端40生成分别表示以下的操作信息：表示计算出的操作值的信息和表示该第一操作项目的信息。便携式信息终端40将生成的操作信息经由控制装置30输出给射束照射装置10。获取了该操作信息的射束照射装置10将设定在该操作信息所表示的第一操作项目中的设定值变更为该操作信息所表示的操作值，由此操作该第一操作项目。
例如，在分配给某个操作对象的第一操作项目为射束电流的情况下，当用户对该操作对象进行操作时，便携式信息终端40计算与对该操作对象进行了的来自用户的操作对应的操作值。由于该第一操作项目为射束电流，因此该操作值为电流值。便携式信息终端40生成分别表示以下的操作信息：表示计算出的电流值的信息和表示作为该第一操作项目的射束电流的信息。便携式信息终端40将生成的该操作信息经由控制装置30输出给射束照射装置10。获取了该操作信息的射束照射装置10将设定为该操作信息所表示的射束电流的设定值即电流值变更为作为该操作信息所表示的操作值的电流值，由此操作射束电流。
另外，也可以采用便携式信息终端40将生成的操作信息经由控制装置30输出给射束照射装置10的结构而代替输出给控制装置30的结构。在这种情况下，控制装置30根据获取到的操作信息对射束照射装置10进行控制，使射束照射装置10将设定在该操作信息所表示的第一操作项目中的设定值变更为该操作信息所表示的操作值。另外，也可以采用便携式信息终端40将生成的操作信息不经由控制装置30而输出给射束照射装置10的结构。在这种情况下，便携式信息终端40通过无线或有线与射束照射装置10以能够进行通信的方式连接。
＜第一操作项目的详细＞
这里，对第一操作项目的详细进行说明。
如上所述，在该一例中，在第一操作项目中包含有与带电粒子束的状态相关的操作项目、与检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目这两种操作项目。
带电粒子束的状态是带电粒子束展宽、由照射带电粒子束的位置、带电粒子束的射束电流的电流值等规定的状态。
更具体而言，射束照射装置10所能照射的两种带电粒子束中的会聚离子束b1的状态是与射束照射装置10的会聚离子束镜筒11中的分别设定为第一加速电压、第一射束电流、第一镜头模式、第一偏转电压值、第一射束移位、第一ol(objectivelens：物镜)值、第一像散校正值的设定值对应的状态。即，在与会聚离子束b1的状态相关的操作项目中包含有第一加速电压、第一射束电流、第一镜头模式、第一偏转电压值、第一射束移位、第一ol值、第一像散校正值中的至少一部分。以下，作为一例，对在该操作项目中包含有第一加速电压、第一射束电流、第一镜头模式、第一偏转电压值、第一射束移位、第一ol值、第一像散校正值中的全部的情况进行说明。
这里，设定为第一加速电压的设定值是表示第一加速电压的电压值的数值。设定为第一射束电流的设定值是表示第一射束电流的电流值的数值。设定为第一镜头模式的设定值是表示施加在会聚离子束镜筒11所具有的静电透镜的电极之间的电压值的数值。设定为第一偏转电压值的设定值是表示施加在会聚离子束镜筒11所具有的偏转器的电极之间的电压值的数值。设定为第一射束移位的设定值是表示从会聚离子束镜筒11照射的会聚离子束b1的移位量的数值。设定为第一ol值的设定值是表示会聚离子束镜筒11所具有的未图示的物镜(ol)的位置的数值。设定为第一像散校正值的设定值是表示施加在会聚离子束镜筒11所具有的标记的电极之间的电压值的数值。
另外，射束照射装置10所能照射的两种带电粒子束中的电子束b2的状态是与射束照射装置10的电子束镜筒12中的分别设定为第二加速电压、第二射束电流、第二镜头模式、第二偏转电压值、第二射束移位、第二ol值、第二像散校正值的设定值对应的状态。即，在与电子束b2的状态相关的操作项目中包含有第二加速电压、第二射束电流、第二镜头模式、第二偏转电压值、第二射束移位、第二ol值、第二像散校正值中至少一部分。以下，作为一例，对在该操作项目中包含有第二加速电压、第二射束电流、第二镜头模式、第二偏转电压值、第二射束移位、第二ol值、第二像散校正值的全部的情况进行说明。
另外，设定为第二加速电压的设定值是表示第二加速电压的电压值的数值。设定为第二射束电流的设定值是表示第二射束电流的电流值的数值。设定为第二镜头模式的设定值是表示施加在电子束镜筒12所具有的静电透镜的电极之间的电压值的数值。设定为第二偏转电压值的设定值是表示施加在电子束镜筒12所具有的偏转器的电极之间的电压值的数值。设定为第二射束移位的设定值是表示从电子束镜筒12照射的电子束b2的移位量的数值。设定为第二ol值的设定值是表示电子束镜筒12所具有的未图示的物镜(ol)的位置的数值。设定为第二像散校正值的设定值是表示施加在电子束镜筒12所具有的标记的电极之间的电压值的数值。
检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子的检测灵敏度是根据射束照射装置10中的分别设定为对比度、亮度的设定值而确定的。
更具体而言，检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子的检测灵敏度中的、由上述的镜筒内反射电子检测器检测该二次粒子的检测灵敏度是与镜筒内反射电子检测器的分别设定为第一对比度、第一亮度的设定值对应的检测灵敏度。即，在与由镜筒内反射电子检测器检测该二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目中包含有第一对比度、第一亮度中的至少一方。以下，作为一例，对在该操作项目中包含有第一对比度、第一亮度这两者的情况进行说明。
这里，设定为第一对比度的设定值是表示设定在镜筒内反射电子检测器中的对比度值的数值。设定为第一亮度的设定值是表示设定在镜筒内反射电子检测器中的对比度值的数值。
另外，检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子的检测灵敏度中的、由二次电子检测器16检测该二次粒子的检测灵敏度是与二次电子检测器16的分别设定为第二对比度、第二亮度的设定值对应的检测灵敏度。即，在与由二次电子检测器16检测该二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目中包含有第二对比度、第二亮度中的至少一方。以下，作为一例，对在该操作项目中包含有第二对比度、第二亮度这两者的情况进行说明。
设定为第二对比度的设定值是表示设定在二次电子检测器16中的对比度值的数值。设定为第二亮度的设定值是表示设定在二次电子检测器16中的对比度值的数值。
另外，检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子的检测灵敏度中的、由eds检测器17检测该二次粒子的检测灵敏度是与eds检测器17的分别设定为第三对比度、第三亮度的设定值对应的检测灵敏度。即，在与由eds检测器17检测该二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目中包含有第三对比度、第三亮度中的至少一方。以下，作为一例，对在该操作项目中包含有第三对比度、第三亮度这两者的情况进行说明。
设定为第三对比度的设定值是表示设定在eds检测器17中的对比度值的数值。设定为第三亮度的设定值是表示设定在eds检测器17中的对比度值的数值。
另外，检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子的检测灵敏度中的、由ebsd检测器18检测该二次粒子的检测灵敏度是与ebsd检测器18的分别设定为第四对比度、第四亮度的设定值对应的检测灵敏度。即，在与由ebsd检测器18检测该二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目中包含有第四对比度、第四亮度中的至少一方。以下，作为一例，对在该操作项目中包含有第四对比度、第四亮度这两者的情况进行说明。
设定为第四对比度的设定值是表示设定在ebsd检测器18中的对比度值的数值。设定为第四亮度的设定值是表示设定在ebsd检测器18中的对比度值的数值。
＜便携式信息终端的硬件结构＞
以下，参照图2对便携式信息终端40的硬件结构进行说明。图2是示出便携式信息终端40的硬件结构的一例的图。
便携式信息终端40例如具有cpu(centralprocessingunit：中央处理单元)41、存储部42、输入接受部43、通信部44、显示部45、输出部46。这些构成要素经由总线b以相互能够进行通信的方式连接。另外，便携式信息终端40经由通信部44与控制装置30进行通信。
cpu41执行保存在存储部42中的各种计算机程序。
存储部42例如包含hdd(harddiskdrive：硬盘驱动器)、ssd(solidstatedrive：固态硬盘)、eeprom(electricallyerasableprogrammableread-onlymemory：电可擦除可编程只读存储器)、rom(read-onlymemory：只读存储器)、ram(randomaccessmemory：随机存取存储器)等。另外，存储部42也可以代替内置于便携式信息终端40中的存储部而是通过usb等数字输入输出端口等来连接的外置型的存储装置。存储部42保存便携式信息终端40所处理的各种信息和图像、各种计算机程序。
输入接受部43例如是与显示部45一体构成的触摸面板。另外，输入接受部43也可以代替触摸面板而是键盘、鼠标、触摸板等其他输入装置。
通信部34例如构成为包含usb等数字入输出端口、以太网(注册商标)端口等。
显示部45例如是液晶显示面板、或者有机el(electroluminescence：电致发光)显示面板，与输入接受部43一体地构成触摸面板。另外，显示部45也可以与输入接受部43分体。
输出部46例如是扬声器。另外，输出部46也可以代替扬声器而是使便携式信息终端40振动的振动装置，也可以是使光闪烁的led(lightemittingdiode：发光二极管)等。
＜便携式信息终端的功能结构＞
以下，参照图3对便携式信息终端40的功能结构进行说明。图3是示出便携式信息终端40的功能结构的一例的图。
便携式信息终端40具有存储部42、输入接受部43、显示部45、输出部46、控制部47。
控制部47控制整个便携式信息终端40。控制部47具有信息获取部471、像生成部472、显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476。控制部47所具有的这些功能部例如通过cpu41执行存储在存储部42中的各种计算机程序来实现。另外，该功能部中的一部或全部也可以是lsi(largescaleintegration：大规模集成)、asic(applicationspecificintegratedcircuit：专用集成电路)等硬件功能部。
信息获取部471经由控制装置30从射束照射装置10获取表示射束照射装置10中的分别设定在1个以上的第一操作项目中的当前的设定值的设定值信息。
像生成部472从控制装置30获取控制装置30从射束照射装置10获取的观察像信息，生成基于获取到的观察像信息的观察像。
显示控制部473根据从用户接受的操作生成各种图像。显示控制部473使生成的图像显示在显示部45上。例如，显示控制部473根据从用户接受的操作生成包含上述的1个以上的操作对象在内的图像作为操作画面图像。此时，显示控制部473根据信息获取部471所获取的设定值信息生成操作画面图像。显示控制部473使生成的操作画面图像显示在显示部45上。
操作控制部475在用户在由显示控制部473显示在显示部45上的操作画面图像中对某个操作对象进行操作的情况下，计算与对该操作对象进行了的来自用户的操作对应的操作值。操作控制部475生成分别表示以下的操作信息：表示计算出的操作值的信息和表示该第一操作项目的信息。操作控制部475将生成的操作信息经由控制装置30输出给射束照射装置10。
输出控制部476在用户在由显示控制部473显示在显示部45上的操作画面图像中对某个操作对象进行操作的情况下，根据由操作控制部475计算出的操作值即与对该操作对象进行了的来自用户的操作对应的操作值，将与该操作对象被分配到的第一操作项目对应的种类的输出使输出部46输出。在该一例中，该输出是声音。另外，在输出部46为振动装置等其他装置的情况下，该输出为与该其他装置对应的输出(在该其他装置为振动装置的情况下，该输出为振动)。另外，与各操作对象被分配到的第一操作项目分别对应的种类的输出可以重复进行，也可以不重复进行。
＜便携式信息终端生成操作画面图像的处理＞
在便携式信息终端40中，用户可以从1个以上的第一操作项目中选择用户所期望的1个以上的第一操作项目。另外，在便携式信息终端40中，用户可以从预先确定的1个以上的种类中选择分别分配了用户所选择的第一操作项目的操作对象的种类(即，作为拨盘、滑杆(slidebar)、按钮等的gui的种类)。而且，在便携式信息终端40中，用户可以将分别分配了用户所选择的第一操作项目的操作对象配置在操作画面图像中的位置即用户所期望的配置位置。
这里，参照图4对便携式信息终端40生成操作画面图像的处理进行说明。图4是示出便携式信息终端40生成操作画面图像的处理的流程的一例的图。图4所示的流程图的处理是从用户接受到使便携式信息终端40生成操作画面图像的处理开始的操作后的处理。
显示控制部473生成信息接受图像(步骤s110)。信息接受图像是包含从用户接受到为了生成操作画面图像所需的各种信息后的gui在内的图像。在该各种信息中例如包含有用户所选择的1个以上的第一操作项目、分配给该信息各自所表示的第一操作项目的操作对象的种类、操作画面图像中的位置即分别配置该操作对象的配置位置。另外，也可以采用在该各种信息中包含有其他信息而代替这三个信息中的一部分或全部的结构，也可以采用除了该三个信息之外还包含有其他信息的结构。
显示控制部473使在步骤s110中生成的信息接受图像显示在显示部45上(步骤s120)。
接下来，显示控制部473对是否接受到对象第一操作项目进行判定(步骤s130)。对象第一操作项目是由用户从用户所能选择的1个以上的未选择的第一操作项目中选择的第一操作项目。例如，显示控制部473使分别表示该1个以上的未选择的第一操作项目的信息的一览(列表)显示在信息接受图像上。在进行了用户从该一览中选择表示期望的第一操作项目的信息的操作(例如该信息的抽头(tap))的情况下，显示控制部473接受该信息所表示的第一操作项目作为对象第一操作项目。
在判定为未接受到对象第一操作项目的情况下(步骤s130：“否”)，显示控制部473转移到步骤s170。关于步骤s170的处理在后面说明。另一方面，在判定为接受到对象第一操作项目的情况下(步骤s130：“是”)，显示控制部473待机到接受对象操作对象的种类为止(步骤s140)。对象操作对象是分配给对象第一操作项目的操作对象。在该种类中例如包含有拨盘、滑杆、按钮等。另外，也可以采用在该种类中代替拨盘、滑杆、按钮中的一部分或全部而包含有其他gui的种类的结构，也可以采用除了拨盘、滑杆、按钮之外还包含有其他gui的种类的结构。例如，显示控制部473使分别表示用户所能选择的1个以上的gui的种类的信息的一览(列表)显示在信息接受图像上。在进行了用户从该一览中选择表示期望的种类的gui的信息的操作(例如该信息的抽头)的情况下，显示控制部473接受该信息所表示的种类作为对象操作对象的种类。
在接受到对象操作对象的情况下(步骤s140：“是”)，显示控制部473待机到接受对象配置位置为止(步骤s150)。对象配置位置是操作画面图像中配置对象操作对象的配置位置。例如，显示控制部473使信息接受图像上显示纵横比与操作画面图像的纵横比相同的图像且比操作画面图像小的缩小图像。这里，操作画面图像上的坐标与缩小图像上的坐标相对应。因此，操作画面图像上的某个位置和与该位置对应的缩小图像上的位置，在将缩小图像放大到与操作画面图像的大小相同的大小并将放大后的缩小图像与操作画面图像重叠的情况下重叠。在进行了用户选择缩小图像上的某个位置的操作(例如该位置的抽头)的情况下，显示控制部473接受与该位置对应的操作画面图像上的位置作为对象配置位置。另外，显示控制部473在预先确定了操作画面图像内不可以配置操作对象的区域的情况下，例如通过将与该区域对应的缩小图像上的区域的显示状态相对于缩小图像上的该区域以外的区域的显示状态相对地改变，向用户通知操作画面图像内不可以配置操作对象的区域。另外，在进行了用户选择与操作画面图像内不可以配置操作对象的区域对应的缩小图像上的区域内的位置的操作的情况下，显示控制部473例如未接受与该位置对应的操作画面图像上的位置作为对象配置位置，而是将通知用户所选择的位置是不可以配置操作对象的区域内的位置的内容的警报与信息接受图像重叠并进行显示。以下，作为一例，对仅预先确定了一个操作画面图像内不可以配置操作对象的区域的情况进行说明。另外，在操作画面图像内也可以有多个该区域。
在接受到对象操作对象的情况下(步骤s150：“是”)，显示控制部473生成分别表示以下的信息作为输入信息：表示在步骤s130中接受到的对象第一操作项目的信息、表示在步骤s140中接受到的对象操作对象的种类的信息、表示在步骤s150中接受到的对象配置位置的信息的信息。显示控制部473将生成的输入信息存储到存储部42中。然后，显示控制部473转移到步骤s170。
在步骤s170中，显示控制部473对是否接受到结束用户对为了经由信息接受图像生成操作画面图像所需的各种信息的输入的操作进行判定(步骤s170)。例如，在信息接受图像中包含于接受该操作的按钮。在进行了用户选择该按钮的操作(例如该按钮的抽头)的情况下，显示控制部473判定为接受到结束用户对为了经由信息接受图像生成操作画面图像而所需的各种信息的输入的操作，将信息接受图像的显示从显示部45删除。在判定为未接受到结束用户对为了经由信息接受图像生成操作画面图像而所需的各种信息的输入的操作的情况下(步骤s170：“否”)，显示控制部473转移到步骤s130，再次对是否接受到对象第一操作项目进行判定。另一方面，在判定为接受到结束用户对为了经由信息接受图像生成操作画面图像而所需的各种信息的输入的操作的情况下(步骤s170：“是”)，显示控制部473根据存储在存储部42中的1个以上的各个输入信息生成操作画面图像(步骤s180)。这里，对步骤s180的处理进行说明。
在步骤s180中，显示控制部473读出存储在存储部42中的1个以上的输入信息。另外，显示控制部473生成没有任何配置的图像作为操作画面图像。显示控制部473按读出的该1个以上的每个输入信息对输入信息所表示的种类的操作对象分配输入信息所表示的第一操作项目，并将分配了该第一操作项目的该操作对象配置在生成的该图像中输入信息所表示的配置位置。由此，显示控制部473生成操作画面图像。这样，在便携式信息终端40中，用户可以从1个以上的第一操作项目中选择用户所期望的1个以上的第一操作项目。另外，在便携式信息终端40中，用户可以从预先确定的1个以上的种类中选择分别分配了用户所选择的第一选择项目的操作对象的种类。而且，在便携式信息终端40中，用户可以将分别分配了用户所选择的第一操作项目的操作对象配置在操作画面图像中的位置即用户所期望的配置位置。
这里，参照图5和图6对步骤s180和步骤s190的更具体的处理和操作画面图像中的操作对象的具体的动作进行说明。图5是示出在步骤s180中生成的操作画面图像的一例的图。另外，这里，为了便于说明，对显示控制部473在重复执行的步骤s130的处理中从1个以上的第一操作项目中分别接受第一对比度、第一亮度、第二ol值、第二镜头模式、第二加速电压、第二射束电流、第二偏转电压值、第二射束移位、第二像散校正值作为对象第一操作项目的情况进行说明。图5所示的图像p1是该情况下显示控制部473所生成的操作画面图像的一例。
在图像p1中包含有拨盘dl1、拨盘dl2、滑杆sb、六个按钮bts作为操作对象。
拨盘dl1是作为对象第一操作项目而分配给显示控制部473所接受的第一对比度的操作对象。拨盘dl1例如具有分配给拨盘dl1的显示当前设定为第一对比度的设定值的未图示的显示栏。在显示控制部473生成操作画面图像时，信息获取部471经由控制装置30从射束照射装置10获取表示该设定值的设定值信息。显示控制部473根据信息获取部471所获取的该设定值信息所表示的设定值生成具有显示该设定值的该显示栏的拨盘dl1。另外，信息获取部471在显示控制部473使操作画面图像显示在显示部45上的期间，在每次操作拨盘dl1时经由控制装置30从射束照射装置10获取表示该设定值的设定值信息。显示控制部473在每次信息获取部471获取该设定值信息时，使获取到的设定值信息所表示的设定值显示在该显示栏上。另外，拨盘dl1也可以代替具有该显示栏的结构而采用沿拨盘dl1的圆周绘制隔开规定的间隔的刻度和与各刻度对应的数值的结构。
在由用户对拨盘dl1进行操作的情况下，操作控制部475计算与对拨盘dl1进行了的来自用户的操作对应的操作值。例如，操作控制部475计算将与拨盘dl1的单位转动角对应的规定值和用户使拨盘dl1转动时的转动角相乘后的值作为该操作值。该单位转动角例如是0.1度。另外，该单位转动角可以是比0.1度小的转动角，也可以是比0.1度大的转动角。该规定值是在变更设定为第一对比度的第一对比度值时可变更的最小的值。另外，该规定值也可以是在变更设定为第一对比度的第一对比度值时可变更的其他值而取代之。这里，在该一例中，操作控制部475在拨盘dl1顺时针转动的情况下计算该操作值作为正的值，在拨盘dl1逆时针转动的情况下，计算该操作值作为负的值。另外，操作控制部475也可以采用在拨盘dl1逆时针转动的情况下计算该操作值作为正的值，在拨盘dl1顺时针转动的情况下计算该操作值作为负的值的结构。操作控制部475生成分别表示、表示计算出的操作值的信息和表示分配给拨盘dl1的第一操作项目(即第一对比度)的信息的操作信息。操作控制部475将生成的操作信息经由控制装置30输出给射束照射装置10。由此，便携式信息终端40能够根据该情况下的对拨盘dl1进行了的来自用户的操作对第一对比度进行操作。另外，操作控制部475在用户在保持触摸拨盘dl1的状态下未使拨盘dl1转动的情况下，不计算该操作值。所谓用户在保持触摸拨盘dl1的状态下未使拨盘dl1转动的情况是用户触摸上述的触摸面板中显示了的拨盘dl1的区域，且用户未使所触摸的触摸位置移动的情况。
另外，在由用户对拨盘dl1进行操作的情况下，输出控制部476将与分配给拨盘dl1的第一对比度(在该一例中是分配给拨盘dl1的第一操作项目)对应的种类的声音是输出部46输出。也可以采用与第一对比度对应的种类(声音的种类)即与第一操作项目对应的种类(声音的种类)能够由用户进行选择的结构，也可以采用预先确定的结构。在采用该种类能够由用户进行选择的结构的情况下，输出控制部476例如在步骤s130中经由信息接受图像从用户接受该种类。另外，输出控制部476在由用户对拨盘dl1进行操作的情况下，使输出部46输出与操作控制部475所计算出的操作值(拨盘dl1的操作值)对应的程度的声音。该程度例如是长度。另外，该程度也可以代替长度而是声音的高低等。即，该操作值是表示用户对拨盘dl1进行了的操作的程度的值。另外，输出控制部476在用户在保持触摸拨盘dl1的状态下未使拨盘dl1转动的情况下，不使声音从输出部46输出。
拨盘dl2是作为对象第一操作项目而分配给显示控制部473所接受的第一亮度的操作对象。由于与拨盘dl2相关的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作与由用户操作拨盘dl1的情况下的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作相同，因此省略说明。
滑杆sb是作为对象第一操作项目而分配给显示控制部473所接受的第二ol值的操作对象。滑杆sb例如具有分配给滑杆sb的显示当前设定为第二ol值的设定值的未图示的显示栏。在显示控制部473生成操作画面图像时，信息获取部471经由控制装置30从射束照射装置10获取表示该设定值的设定值信息。显示控制部473根据信息获取部471所获取的该设定值信息所表示的设定值生成具有显示该设定值的该显示栏的滑杆sb。另外，信息获取部471在显示控制部473使操作画面图像显示在显示部45上的期间，在每次操作滑杆sb时，经由控制装置30从射束照射装置10获取表示该设定值的设定值信息。显示控制部473在每次信息获取部471获取该设定值信息时，使获取到的设定值信息所表示的设定值显示在该显示栏上。另外，滑杆sb也可以代替具有该显示栏的结构而采用沿滑杆sb绘制隔开规定的间隔的刻度和与各刻度对应的数值的结构。
在由用户对滑杆sb进行操作的情况下，操作控制部475计算与对滑杆sb进行了的来自用户的操作对应的操作值。例如，操作控制部475计算将与滑杆sb的单位滑动宽度对应的规定值和用户使滑杆sb滑动时的滑动宽度相乘后的值作为该操作值。该单位滑动宽度是在使滑杆sb滑动时能够滑动的最小滑动宽度，例如为1毫米。另外，该单位滑动宽度可以是比1毫米小的滑动宽度，也可以是比1毫米大的滑动宽度。该规定值是在变更设定为第二ol值的设定值时可变更的最小值。另外，该规定值也可以是在变更设定为第二ol值的设定值时可变更的其他值。这里，在该一例中，操作控制部475在使滑杆sb向能够使滑杆sb滑动的两个方向中的第一方向滑动的情况下，计算该操作值作为正的值，在使滑杆sb向作为与该第一方向相反的方向的第二方向滑动的情况下，计算该操作值作为负的值。另外，操作控制部475也可以采用在使滑杆sb向第二方向滑动的情况下计算该操作值作为正的值，在使滑杆sb向第一方向滑动的情况下，计算该操作值作为负的值的结构。也可以采用用户能够任意变更操作画面图像内的第一方向和第二方向的结构，也可以采用预先确定的结构。在用户能够任意变更操作画面图像内的第一方向和第二方向的朝向的情况下，显示控制部473例如在步骤s140中接受滑杆作为对象操作对象的种类时，经由信息接受图像从用户接受该朝向。操作控制部475生成分别表示、表示计算出的操作值的信息和表示分配给滑杆sb的第一操作项目(即第二ol值)的信息的操作信息。操作控制部475将生成的操作信息经由控制装置30输出给射束照射装置10。由此，便携式信息终端40能够根据该情况下的对滑杆sb进行了的来自用户的操作对第二ol值进行操作。另外，操作控制部475在用户在保持触摸滑杆sb的状态下未使滑杆sb滑动的情况下，不计算该操作值。所谓用户在保持触摸滑杆sb的状态下未使滑杆sb滑动的情况是用户触摸上述的触摸面板中显示了的滑杆sb的区域，且用户未使所触摸的触摸位置移动的情况。
另外，在由用户对滑杆sb进行操作的情况下，输出控制部476使输出部46输出与分配给滑杆sb的第二ol值(在该一例中是分配给滑杆sb的第一操作项目)对应的种类的声音。也可以采用与第二ol值对应的(声音的)种类、即与第一操作项目对应的(声音的)种类与拨盘dl1和拨盘dl2的情况同样地能够由用户进行选择的结构，也可以采用预先确定的结构。另外，输出控制部476在由用户对滑杆sb进行操作的情况下，与拨盘dl1和拨盘dl2的情况同样地使输出部46输出与操作控制部475所计算出的(滑杆sb的)操作值对应的程度的声音。
六个按钮bts分别是作为对象第一操作项目分配给显示控制部473所接受的第二镜头模式的操作对象。在该一例中，设定为第二镜头模式的设定值是分别表示六个镜头模式的值中的任意一个。即，按钮bts所包含的按钮分别与这六个镜头模式中的任意一个对应，而不重复。即，用户通过选择按钮bts中的某个按钮的操作(例如该按钮的抽头)，能够选择与该按钮对应的值作为设定为第二镜头模式的操作值，从而操作第二镜头模式。在显示控制部473生成操作画面图像时，信息获取部471经由控制装置30从射束照射装置10获取表示当前设定为第二镜头模式的设定值的设定值信息。显示控制部473使按钮bts所包含的按钮中的与信息获取部471所获取的该设定值信息所表示的设定值对应的按钮的显示状态变化。显示状态例如是该按钮的颜色、明亮度、大小等。另外，信息获取部471在显示控制部473使操作画面图像显示在显示部45上的期间，在每次按钮bts所包含的按钮中的任意一个被操作(抽头)时经由控制装置30从射束照射装置10获取表示该设定值的设定值信息。显示控制部473在每次信息获取部471获取该设定值信息时，使按钮bts所包含的按钮中的与信息获取部471所获取的该设定值信息所表示的设定值对应的按钮的显示状态变化。另外，按钮bts所包含的按钮的数量既也可以是比六个少的数量，也可以是比六个多的数量而代替六个。
在由用户对按钮bts所包含的六个按钮中的某个按钮进行操作的情况下，操作控制部475确定与该按钮对应的操作值。操作控制部475生成分别表示、表示确定的操作值的信息和表示分配给按钮bts的第一操作项目(即第二镜头模式)的信息的操作信息。操作控制部475将生成的操作信息经由控制装置30输出给射束照射装置10。由此，便携式信息终端40能够根据该情况下的对按钮bts进行了的来自用户的操作对第二镜头模式进行操作。另外，操作控制部475在用户在保持触摸按钮bts所包含的某个按钮的状态下未放开该按钮的情况下，不计算该操作值。
另外，在由用户对按钮bts所包含的六个按钮中的某个按钮进行操作的情况下，输出控制部476将与分配给按钮bts的第二镜头模式(在该一例中是分配给按钮bts的第一操作项目)对应的六个种类的声音中的与该按钮对应的种类的声音使输出部46输出。也可以采用与该按钮对应的(声音的)种类能够由用户进行选择的结构，也可以采用预先确定的结构。在采用该种类能够由用户进行选择的结构的情况下，输出控制部476例如在步骤s140中经由信息接受图像从用户接受该种类。另外，输出控制部476在由用户对该按钮进行操作的情况下，使输出部46输出与操作控制部475所计算出的(该按钮的)操作值对应的程度的声音。另外，输出控制部476在用户在保持触摸按钮bts所包含的某个按钮的状态下未放开该按钮的情况下，不使声音从输出部46输出。
另外，在图像p1中包含有端部de、区域ra1。
端部de是分别沿为长方形的图像p1所具有的四个边的端部中的一个。在图5所示的例子中，端部de是从拨盘dl1和拨盘dl2朝向滑杆sb的方向侧的端部。在用户从端部de朝向图像p1的内侧进行滑动操作的情况下，显示控制部473使图6所示的区域ra2重叠显示在其他图像或gui上。图6是示出显示有区域ra2的情况下的图像p1的一例的图。另外，在用户在区域ra2内朝向端部de进行滑动操作的情况下，显示控制部473将区域ra2的显示从显示部45删除。
在图6所示的例子中，在区域ra2中包含有拨盘dl3～拨盘dl7这五个拨盘作为操作对象。另外，也可以采用在区域ra2中包含有其他种类的操作对象的结构而代替该五个拨盘的一部分或全部，也可以采用包含有其他gui的结构而代替该五个拨盘的一部分或全部，也可以采用除了该五个拨盘之外还包含有其他种类的操作对象的结构，也可以采用除了该五个拨盘之外还包含有其他gui的结构。
如上所述，显示控制部473能够通过用户的滑动操作来切换图像p1中的区域ra2的显示/非显示。由此，便携式信息终端40能够增加可以显示在图像p1上的信息。
拨盘dl3是作为对象第一操作项目分配给显示控制部473所接受的第二加速电压的操作对象。由于与拨盘dl3相关的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作与由用户对拨盘dl1进行操作的情况下的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作相同，因此省略说明。
拨盘dl4是作为对象第一操作项目而分配给显示控制部473所接受的第二射束电流的操作对象。由于与拨盘dl4相关的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作与由用户对拨盘dl1进行操作的情况下的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作相同，因此省略说明。
拨盘dl5是作为对象第一操作项目而分配给显示控制部473所接受的第二偏转电压值的操作对象。由于与拨盘dl5相关的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作与由用户对拨盘dl1进行操作的情况下的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作相同，因此省略说明。
拨盘dl6是作为对象第一操作项目而分配给显示控制部473所接受的第二射束移位的操作对象。由于与拨盘dl6相关的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作与由用户对拨盘dl1进行操作的情况下的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作相同，因此省略说明。
拨盘dl7是作为对象第一操作项目而分配给显示控制部473所接受的第二像散校正值的操作对象。由于与拨盘dl7相关的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作与由用户对拨盘dl1进行操作的情况下的显示控制部473、操作控制部475、输出控制部476各自的动作相同，因此省略说明。
返回到图5。区域ra1是操作画面图像内不可以配置操作对象的区域，是显示有控制装置30所生成的观察像的区域。即，操作画面图像内的区域ra1的位置被预先确定。另外，也可以采用操作画面图像内的区域ra1的位置能够由用户进行变更的结构。在图像p1显示在显示部45上的期间，像生成部472从控制装置30获取控制装置30从射束照射装置10获取的上述的观察像信息，生成基于获取到的观察像信息的观察像。然后，显示控制部473将像生成部472所生成的观察像显示在区域ra1中。另外，显示控制部473也可以采用如下结构：在显示有上述的区域ra2的情况下，使区域ra1的形状根据操作画面图像内显示有区域ra2的区域而变形。由此，便携式信息终端40能够抑制区域ra1的一部分被区域ra2覆盖。
另外，显示控制部473也可以采用如下结构：能够根据从用户接受的操作将区域ra1的位置变更为与用户对应的位置。例如，显示控制部473接受表示用户为左撇子或右撇子的信息，根据接受到的信息而变更区域ra1的位置。例如，在图5所示的图像p1中的区域ra1的配置为右撇子用的情况下，显示控制部473将图像p1中的区域ra1与其他操作对象在图5中的相对的左右的位置关系颠倒。
另外，显示控制部473也可以根据从用户接受的1个以上的输入信息而像图7所示那样生成能够显示拨盘dl1～拨盘dl7、滑杆sb、按钮bts、区域ra1的全部而不显示区域ra2的操作画面图像。图7所示的图像p2是这样的操作画面图像的一例。即，图7是示出在步骤s180中生成的操作画面图像的另外一例的图。
返回到图4。在进行了步骤s180的处理之后，显示控制部473使在步骤s180中生成的操作画面图像显示在显示部45上(步骤s190)，结束处理。
＜实施方式的变形例＞
在上述中进行了说明的便携式信息终端40也可以采用如下结构：存储表示显示在显示部45上的操作画面图像的历史的历史信息。例如，显示控制部473也可以采用如下结构：将表示在图4所示的步骤s180中生成的操作画面图像的信息存储到存储部42中作为历史信息。在这种情况下，显示控制部473根据从用户接受的操作，使存储在存储部42中的1个以上的历史信息中的用户所选择的历史信息所表示的操作画面图像显示在显示部45上。由此，便携式信息终端40能够根据历史信息使与用户所进行的作业对应的优选操作画面图像显示在显示部45上。
另外，在上述中进行了说明的便携式信息终端40也可以采用如下结构：将表示显示在显示部45上的操作画面图像的信息预先存储在存储部42中。在这种情况下，便携式信息终端40不经由信息接受图像从用户接受各种信息，而根据从用户接受的操作从存储部42读出表示操作画面图像的信息，并使读出的该信息所表示的操作画面图像显示在显示部45上。由此，便携式信息终端40能够使用户使用制作便携式信息终端40的制造商所推荐的操作画面图像。
另外，也可以是，在上述中进行了说明的便携式信息终端40所具有的功能能够从与互联网、移动体通信网等网络连接的服务器获取作为应用程序。在这种情况下，平板pc、多功能手机终端(智能手机)等便携式信息终端经由该网络从该服务器下载该应用程序，并安装下载的该应用程序，由此具有与便携式信息终端40所具有的功能相同的功能。由此，用户能够将用户所期望的便携式信息终端用作便携式信息终端40。
另外，在上述中，控制装置30也可以与多个便携式信息终端40以能够进行通信的方式连接。在这种情况下，在该多个便携式信息终端40中的某个便携式信息终端40即第一便携式信息终端经由控制装置30操作射束照射装置10的第一操作项目的过程中，该多个便携式信息终端40中的第一便携式信息终端以外的其他便携式信息终端40无法操作该第一操作项目。该其他便携式信息终端40能够在第一便携式信息终端对该第一操作项目的操作结束之后，进行该第一操作项目的操作。
如上所述，上述实施方式的便携式信息终端40是与通过向试样照射带电粒子束(在该一例中是会聚离子束b1、电子束b2)来对试样进行处理的带电粒子束照射装置(在该一例中是射束照射装置10)分体的便携式信息终端，使包含能够根据来自用户的操作来操作能够在带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的一部分操作项目即第一操作项目的gui(在该一例中是操作对象)在内的图像(在该一例中是操作画面图像)显示在显示部(在该一例中是显示部45)上。由此，便携式信息终端40能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。
另外，在便携式信息终端40中，在第一操作项目中包含有与带电粒子束的状态相关的操作项目。由此，便携式信息终端40能够在期望的位置进行包含有与带电粒子束的状态相关的操作项目的第一操作项目的操作。
另外，在便携式信息终端40中，在与带电粒子束的状态相关的操作项目中包含有加速电压、射束电流、镜头模式、偏转电压值、射束移位、ol值、像散校正值中的至少一部分。由此，便携式信息终端40能够在期望的位置进行包含有加速电压、射束电流、镜头模式、偏转电压值、射束移位、ol值、像散校正值中的至少一部分的第一操作项目的操作。
另外，在便携式信息终端40中，在第一操作项目中包含有与检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子(在该一例中是电子、x射线等)的检测灵敏度相关的操作项目。由此，便携式信息终端40能够在期望的位置进行包含有与检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子的检测灵敏度相关的操作项目的第一操作项目的操作。
另外，在便携式信息终端40中，在第一操作项目中，在与检测从被带电粒子束照射的试样放射的二次粒子(在该一例中是电子、x射线等)的检测灵敏度相关的操作项目中包含有对比度、亮度中的至少一方。由此，便携式信息终端40能够在期望的位置进行包含有对比度、亮度中的至少一方的第一操作项目的操作。
另外，便携式信息终端40在包含能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目的gui在内的图像内预先确定的位置将像生成部(在该一例中是像生成部472)所生成的观察像显示在显示部上。由此，便携式信息终端40能够一边确认显示在显示部上的观察像一边在期望的位置进行第一操作项目的操作。
另外，便携式信息终端40在包含能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目的gui在内的图像内将该gui配置在与从用户接受的操作对应的位置。由此，便携式信息终端40能够将该gui配置在该图像内用户所期望的位置。
另外，便携式信息终端40将与分配给用户所操作的gui的第一操作项目对应的种类的输出使输出部输出。由此，在便携式信息终端40中，用户能够根据该输出来操作期望的第一操作项目，而不必看到显示部。
另外，在便携式信息终端40中，作为与分配给用户所操作的gui的第一操作项目对应的种类的输出，使输出部输出该种类的声音。由此，在便携式信息终端40中，用户能够根据该声音来操作期望的第一操作项目，而不必看到显示部。
另外，便携式信息终端40将与用户对用户所操作的gui进行了的操作的程度对应的程度的声音输出给输出部。由此，在便携式信息终端40中，用户能够根据该操作的程度来操作第一操作项目，而不必看到显示部。
另外，便携式信息终端40在用户触摸触摸面板中显示了的gui的区域，且用户未使所触摸的触摸位置移动的情况，不使与分配给用户所操作的gui的第一操作项目对应的种类的声音从输出部输出。由此，在便携式信息终端40中，用户能够明确地区分操作第一操作项目时和不操作第一操作项目时，而不必看到显示部。其结果是，便携式信息终端40能够抑制用户对第一操作项目的误操作。
以上，参照附图对本发明的实施方式进行了详细说明，但具体的结构并不限于该实施方式，只要不脱离本发明的主旨也可以进行变更、置换、删除等。
另外，也可以将用于实现以上说明的装置(例如控制装置30、便携式信息终端40)中的任意结构部的功能的程序记录于计算机能够读取的存储介质中，使计算机系统读出该程序并进行执行。另外，这里所说的“计算机系统”包含os(operatingsystem：操作系统)和周边设备等硬件。另外，所谓“计算机能够读取的记录介质”是指软盘、磁光盘、rom、cd(compactdisk：光盘)-rom等可移动介质、内置于计算机系统中的硬盘等存储装置。并且，所谓“计算机能够读取的记录介质”也可以包含像作为经由互联网等网络或电话线路等通信线路发送程序的情况下的服务器或客户端的计算机系统内部的易失性存储器(ram)那样将程序保持一定时间的存储介质。
另外，上述程序也可以从将该程序保存在存储装置等中的计算机系统经由传送介质或者通过传送介质中的传送波而传送到其他计算机系统。这里，传送程序的“传送介质”是指具有像互联网等网络(通信网)或电话线路等通信线路(通信线)那样传送信息的功能的介质。
另外，上述程序也可以是用于实现上述功能的一部分的程序。并且，上述程序也可以是能够通过与已经记录在计算机系统中的程序的组合来实现上述功能的所谓的差分文件(差分程序)。