阵列基板及其制造方法、显示装置与流程

文档序号:15392362发布日期:2018-09-08 01:22阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种阵列基板及其制造方法、显示装置,属于显示技术领域。方法包括:提供一衬底基板;在衬底基板上依次形成栅极金属图案、栅绝缘层和有源层,栅极金属图案包括信号线和栅极,信号线位于周边区域;通过构图工艺形成贯穿有源层和栅绝缘层的第一过孔,并通过构图工艺形成有源层图案,第一过孔在衬底基板上的正投影与信号线在衬底基板上的正投影存在重叠区域;在形成有有源层图案的衬底基板上形成源漏极金属图案,源漏极金属图案包括源漏极走线,源漏极走线通过第一过孔与信号线电连接;在形成有源漏极金属图案的衬底基板上形成钝化层。本发明解决了相关技术中阵列基板的可靠性较低的问题。本发明用于阵列基板的制造。

技术研发人员:张正东;苏磊;杨小飞;郭明周;刘旭
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
技术研发日:2018.03.27
技术公布日:2018.09.07
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