技术特征：
技术总结
本发明涉及一种应用于射频领域的大功率MEMS开关，包括有衬底，衬底上方分布有微波传输线，微波传输线的左右两侧设置有第一共面波导传输线地线与第二共面波导传输线地线，微波传输线的前端设置有功分结构，微波传输线的后端设置有合路结构，微波传输线的上方架设有悬浮结构，功分结构、合路结构之间设置有开关结构，开关结构之间设置有悬浮地结构，微波传输线、衬底之间设置有驱动结构。由此，采用了功分结构和合路结构，对射频MEMS的功率容量进行扩展，由功分结构和合路结构对射频信号功率进行分配与合路，避免了直接并联开关所带来的趋肤效应的影响，提高了开关的功率容量。设计简单方便，功分结构和合路结构可以叠加形成树形结构，易于扩展。
技术研发人员：刘泽文;龚著浩;张玉龙
受保护的技术使用者：苏州希美微纳系统有限公司
技术研发日：2018.03.28
技术公布日：2018.07.20