本发明涉及一种沟槽mosfet组件及其制造方法,具体地,涉及一种具有可调变起始电压的mosfet组件及其制造方法。
背景技术:
在trenchmosfet(沟槽金属氧化物半导体场效应晶体管)的组件设计上一般是通过调整n型漂移区和p阱区的浓度和深度来获得组件的耐压,通过降低通道长度(channellength)来达到降低组件的导通电阻的目的(channellength),在这个前提下必须相对提高p阱区的浓度来避免空乏区过度延伸造成崩溃电压下降的问题;另外为了降低连接层电阻以及增加组件抗雪崩电流的能力,人们需要对p阱区和连接层之间做p型的重离子植入。
以上两种方式都会增加mosfet(金氧半场效晶体管)的阀值电压,由于组件结构的关系,人们只能针对通道表面做浓度的调整。
技术实现要素:
针对现有技术中的缺陷,本发明的目的是提供一种具有可调变起始电压的mosfet组件及其制造方法,其可以调整闸极沟槽的表面参杂浓度,在不改变p陷区浓度的前提下调整组件的起始电压,解决了传统沟槽式mosfet为了组件耐压需要提高p阱区浓度造成起始电压升高的问题。
根据本发明的一个方面,提供一种具有可调变起始电压的槽沟mosfet组件,其特征在于,包括保护层、金属层、连接层、p型离子层、ild电介层、n型源极区、多晶闸区、闸极氧化层、轻参杂p型区、p阱区、n型碳化硅外延区、n型漏极区,n型漏极区位于n型碳化硅外延区的底端,轻参杂p型区和p阱区都位于n型碳化硅外延区的顶端,p型离子层和n型源极区都位于p阱区的上方,n型源极区和p阱区都位于轻参杂p型区的侧面,闸极氧化层位于轻参杂p型区内,多晶闸区位于闸极氧化层内,n型源极区、多晶闸区、闸极氧化层、轻参杂p型区都位于ild电介层的下方,连接层位于ild电介层的外侧,连接层和ild电介层都位于金属层的底端,金属层位于保护层的底端。
优选地,所述金属层为alsicu金属层。
本发明还提供一种具有可调变起始电压的mosfet组件的制造方法,其特征在于,其包括以下步骤:
步骤一,在n型硅基板或在n型碳化硅基板上进行p阱区离子植入及高温回火,形成p阱区;
步骤二,闸极沟槽曝光显影及蚀刻;
步骤三,在蚀刻及光阻去除后沉积薄层重参杂n型硅或涂布n型扩散剂,形成轻参杂p型区;
步骤四,对轻参杂p型区进行高温扩散处理及清洗;
步骤五,闸极氧化物成长与闸区晶硅沉积,形成闸极氧化层;
步骤六,多晶硅回蚀刻,形成多晶闸区;
步骤七,源极曝光显影及n型重参杂离子植入,形成n型源极区;
步骤八,介电物质沉积及连接层都进行曝光显影和蚀刻,分别形成ild介电层和连接层;
步骤九,连接层植入p型离子,形成p型离子层;
步骤十,金属物质沉积、曝光显影及蚀刻,形成金属层;
步骤十一,保护物质沉积、曝光显影及蚀刻,形成保护层。
优选地,所述n型硅或涂布n型扩散剂的浓度都小于p型参杂离子的浓度。
与现有技术相比,本发明具有如下的有益效果:本发明可以调整闸极沟槽的表面参杂浓度,在不改变p陷区浓度的前提下调整组件的起始电压,解决了传统沟槽式mosfet为了组件耐压需要提高p阱区浓度造成起始电压升高的问题。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本发明具有可调变起始电压的mosfet组件的结构示意图。
图2为本发明步骤二中组件的结构示意图。
图3为本发明步骤四中组件的结构示意图。
图4为本发明步骤七中组件的结构示意图。
图5为本发明步骤十一中组件的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明,但不以任何形式限制本发明。应当指出的是,对本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。
如图1所示,本发明具有可调变起始电压的mosfet组件包括保护层1、金属层2、连接层3、p型离子层4、ild(注入型激光二级管)电介层5、n型源极区6、多晶闸区7、闸极氧化层8、轻参杂p型区9、p阱区10、n型碳化硅外延区11、n型漏极区12,n型漏极区12位于n型碳化硅外延区11的底端,闸极氧化层8、轻参杂p型区9、p阱区10都位于n型碳化硅外延区11的顶端,p型离子层4和n型源极区6都位于p阱区10的上方,n型源极区6和p阱区10都位于轻参杂p型区9的侧面,轻参杂p型区9位于闸极氧化层8的外侧,多晶闸区7位于闸极氧化层8内,n型源极区6、多晶闸区7、闸极氧化层8、轻参杂p型区9都位于ild电介层5的下方,连接层3位于ild电介层5的外侧,连接层3和ild电介层5都位于金属层2的底端,金属层2位于保护层1的底端。
所述金属层为alsicu金属层,这样成本低廉,导电性好。
本发明具有可调变起始电压的mosfet组件的制造方法包括以下步骤:
步骤一,在n型硅基板或在n型碳化硅基板上进行p阱区离子植入及高温回火,形成p阱区;
步骤二,闸极沟槽13曝光显影及蚀刻;
如图2所示,n型漏极区12位于n型碳化硅外延区11的底端,p阱区10和闸极沟槽13都位于n型碳化硅外延区11的顶端,p阱区10位于闸极沟槽13的外侧,对闸极沟槽13曝光显影及蚀刻;
步骤三,在蚀刻及光阻去除后沉积薄层重参杂n型硅或涂布n型扩散剂,形成轻参杂p型区;
步骤四,对轻参杂p型区进行高温扩散处理及清洗;
如图3所示,n型漏极区12位于n型碳化硅外延区11的底端,轻参杂p型区9、p阱区10、闸极沟槽13都位于n型碳化硅外延区11的顶端,p阱区10位于轻参杂p型区9的外侧,轻参杂p型区9位于闸极沟槽13的外侧,对轻参杂p型区9进行高温扩散处理及清洗;
步骤五,闸极氧化物成长与闸区晶硅沉积,形成闸极氧化层;
步骤六,多晶硅回蚀刻,形成多晶闸区;
步骤七,源极曝光显影及n型重参杂离子植入,形成n型源极区;
如图4所示,n型漏极区12位于n型碳化硅外延区11的底端,闸极氧化层8、轻参杂p型区9、p阱区10都位于n型碳化硅外延区11的顶端,p阱区10位于轻参杂p型区9的侧面,轻参杂p型区9位于闸极氧化层8的外侧,多晶闸区7位于闸极氧化层8内,源极曝光显影及n型重参杂离子植入,形成n型源极区;
步骤八,介电物质沉积及连接层都进行曝光显影和蚀刻,分别形成ild介电层和连接层;
步骤九,连接层植入p型离子,形成p型离子层;
步骤十,金属物质沉积曝光显影及蚀刻,形成金属层;
步骤十一,保护物质沉积、曝光显影及蚀刻,形成保护层;
如图5所示,金属物质在连接层3的上方和ild电介层5的上方沉积、曝光显影及蚀刻,形成金属层2;保护物质在金属层2的上方沉积、曝光显影及蚀刻,形成保护层1。
所述n型硅或涂布n型扩散剂的浓度都小于p型参杂离子的浓度,这样能够形成轻参杂p型区。
本发明通过调整闸极沟槽的表面参杂浓度,在不改变p陷区浓度的前提下调整组件的起始电压,解决了传统沟槽式mosfet为了组件耐压需要提高p阱区浓度造成起始电压升高的问题。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是,本发明并不局限于上述特定实施方式,本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改,这并不影响本发明的实质内容。