一种滤波器芯片封装结构和封装方法与流程

文档序号:15149246发布日期:2018-08-10 20:49阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种滤波器芯片封装结构和封装方法。该芯片封装结构包括对位贴合的滤波晶圆和基板;滤波晶圆上的滤波叉指处于由滤波晶圆、金属焊盘以及基板围成的空间中;基板上设有多个贯穿基板的第一凹槽,第一凹槽露出与其对应的滤波晶圆的金属焊盘;基板远离滤波晶圆一侧的表面上设有金属层,通过第一凹槽与金属焊盘电连接;金属层远离滤波晶圆一侧的表面上设有防焊层,防焊层上设置有贯穿防焊层的第二凹槽,第二凹槽内设置有焊锡球,焊锡球与金属图案电连接。本发明提供的滤波器芯片封装结构实现了滤波晶圆的有效封装,在封装前期能够将滤波晶圆上的滤波叉指区域进行保护,使其减少损伤和污染的几率,保证了封装的滤波晶圆的产品良率。

技术研发人员:吕军;沙长青;赖芳奇;李永智
受保护的技术使用者:苏州科阳光电科技有限公司
技术研发日:2018.05.08
技术公布日:2018.08.10
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