柔性显示面板及制造方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板及制造方法。

背景技术

目前，窄边框甚至无边框屏成为小尺寸手机的主流方向，为了尽可能的增大屏占比，实现手机屏的窄边框甚至无边框化，需要将左右边框以及上下边框区域尽可能缩小，将柔性背板向后弯折的技术就是减小下边框的一种有效方法。缩小边框范围，伴随而来的是减小漏极电源电压信号线以及源极电源电压信号线的宽度，此措施对电学性能方面的主要的影响是增大，导致面板均匀性较差，为了降低压降增大的影响，现有技术的采用双层源漏极金属层结构。然而此结构中引入第二层源漏极金属层的材料与第一层源漏极金属层的材料一致，伴随着无机膜层以及钝化层的导入，需要引入更多的光罩，增加光罩成本的同时，制程时间与材料成本都有所增加，不利于将来的量产化。

综上所述，现有技术的采用双层源漏极金属层结构，由于引入第二层源漏极金属层的材料与第一层源漏极金属层的材料一致，伴随着无机膜层以及钝化层的导入，需要引入更多的光罩，增加光罩成本的同时，制程时间与材料成本都有所增加，不利于将来的量产化的技术性问题。

技术实现要素：

本发明提供一种柔性显示面板及制造方法，能够减少膜层结构，使源漏极金属层平坦化，以解决现有的柔性显示面板，由于由于引入第二层源漏极金属层的材料与第一层源漏极金属层的材料一致，伴随着无机膜层以及钝化层的导入，需要引入更多的光罩，增加光罩成本的同时，制程时间与材料成本都有所增加，不利于将来的量产化的技术性问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种柔性显示面板，包括：

柔性衬底；

阻挡层，位于所述柔性衬底的表面；

缓冲层，位于所述阻挡层的表面；

有源层，位于所述缓冲层的表面；

第一栅极绝缘层，位于所述缓冲层的表面并覆盖所述有源层；

栅极金属层，位于所述第一栅极绝缘层的表面；

第二栅极绝缘层，位于所述第一栅极绝缘层的表面并覆盖所述栅极金属层；

第一源漏极金属层，位于所述第二栅极绝缘层的表面，并且所述第一源漏极金属层的位置与所述栅极金属层的位置对应；

层间绝缘层，位于所述第二栅极绝缘层的表面并覆盖所述第一源漏极金属层；

第一钝化层，位于所述层间绝缘层的表面；

第二源漏极金属层，位于所述第一钝化层的表面；

第二钝化层，位于所述第一钝化层的表面并覆盖所述第二源漏极金属层；

阳极金属层，位于所述第二钝化层的表面；

像素隔离层，位于所述第二钝化层的表面并覆盖所述阳极金属层的边缘两端；

像素支撑层，位于所述像素隔离层的表面；

其中，所述第一钝化层上形成有第一通孔以及第二通孔，所述第二源漏极金属层通过所述第一通孔与所述有源层连通，所述第二源漏金属层通过所述第二通孔与所述第一源漏金属层连通。

根据本发明一优选实施例，所述第二通孔的深度小于所述第一通孔的深度。

根据本发明一优选实施例，所述第一通孔贯穿所述第一钝化层、所述层间绝缘层、所述第二栅极绝缘层以及所述第一栅极绝缘层并止于所述有源层。

根据本发明一优选实施例，所述第二通孔贯穿所述第一钝化层以及所述层间绝缘层并止于所述第一源漏极金属层。

根据本发明一优选实施例，所述柔性衬底包括显示区域和设置在所述显示区域外的非显示区域，所述非显示区域设置有一沟槽，所述第一钝化层完全覆盖所述沟槽。

根据本发明一优选实施例，所述沟槽贯穿所述层间绝缘层、所述第二栅极绝缘层、所述第一栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述阻挡层并止于所述柔性衬底。

根据本发明一优选实施例，所述柔性衬底的材料为聚酰亚胺或聚对苯二甲酸乙二醇酯，所述缓冲层的材料为氮化硅或氧化硅其中的一种或两种，所述第一栅极缓冲层的材料为氮化硅或氧化硅，所述第二栅极缓冲层的材料与所述第一栅极缓冲层的材料相同。

根据本发明一优选实施例，所述栅极金属层的材料为钼，所述第一源漏极金属层的材料为钛或钛铝合金，所述第二源漏极金属层的材料与所述第一源漏极金属层的材料相同。

本发明还提供一种柔性显示面板的制造方法，包括：

s10，提供一基板，在所述基板表面制备柔性衬底，之后在所述柔性衬底表面依次制备阻挡层以及缓冲层，然后在所述缓冲层的表面制备有源层，之后在所述缓冲层的表面制备第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层完全覆盖所述有源层，然后在所述第一栅极绝缘层的表面制备栅极金属层，第二栅极绝缘层形成于所述第一栅极绝缘层并完全覆盖所述栅极金属层，在所述第二栅极绝缘层上制备第一源漏极金属层；

s20，在所述第二栅极绝缘层的表面上制备层间绝缘层，所述层间绝缘层完全覆盖所述第一源漏极金属层，通过掩膜对所述层间绝缘层、所述第二栅极绝缘层、所述第一栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述阻挡层进行刻蚀，形成第一通孔和位于非显示区域的沟槽，所述第一通孔暴露出所述有源层，所述沟槽暴露出所述柔性衬底；

s30，在所述层间绝缘层的表面依次制备第一钝化层、第二源漏极金属层、第二钝化层、阳极金属层、像素隔离层以及像素支撑层，所述第一钝化层完全覆盖所述沟槽，所述第二源漏极金属层通过所述第一通孔与所述有源层连通，通过掩膜对所述第一钝化层进行刻蚀，形成第二通孔，所述第二源漏金属层通过所述第二通孔与所述第一源漏金属层连通，最后去除所述基板。

根据本发明一优选实施例，所述栅极金属层的材料为钼，所述第一源漏极金属层的材料为钛或钛铝合金，所述第二源漏极金属层的材料与所述第一源漏极金属层的材料相同。

本发明的有益效果为：本发明所提供的柔性显示面板及制造方法，采用了双层源漏极金属层结构，减少了一层栅极金属层，通过一钝化层使源漏极金属层平坦化，进一步防止层间绝缘层断线，更进一步降低光罩成本以及原料成本。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明柔性显示面板结构示意图。

图2为本发明柔性显示面板的制造方法流程图。

图2a-2c为图2柔性显示面板的制造方法示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

本发明针对现有的柔性显示面板，由于引入第二层源漏极金属层的材料与第一层源漏极金属层的材料一致，伴随着无机膜层以及钝化层的导入，需要引入更多的光罩，增加光罩成本的同时，制程时间与材料成本都有所增加，不利于将来的量产化的技术性问题，本实施例能够解决该缺陷。

如图1所示，本发明的柔性显示面板，包括：

柔性衬底101；

阻挡层102，位于所述柔性衬底101的表面；

缓冲层103，位于所述阻挡层102的表面；

有源层104，位于所述缓冲层103的表面；

第一栅极绝缘层105，位于所述缓冲层103的表面并覆盖所述有源层104；

栅极金属层106，位于所述第一栅极绝缘层105的表面；

第二栅极绝缘层107，位于所述第一栅极绝缘层105的表面并覆盖所述栅极金属层106；

第一源漏极金属层108，位于所述第二栅极绝缘层107的表面，并且所述第一源漏极金属层108的位置与所述栅极金属层106的位置对应；

层间绝缘层109，位于所述第二栅极绝缘层107的表面并覆盖所述第一源漏极金属层108；

第一钝化层110，位于所述层间绝缘层109的表面；

第二源漏极金属层111，位于所述第一钝化层110的表面；

第二钝化层112，位于所述第一钝化层110的表面并覆盖所述第二源漏极金属层111；

阳极金属层113，位于所述第二钝化层112的表面；

像素隔离层114，位于所述第二钝化层112的表面并覆盖所述阳极金属层113的边缘两端；

像素支撑层115，位于所述像素隔离层114的表面；

其中，所述第一钝化层110上形成有第一通孔以及第二通孔，所述第二源漏极金属层111通过所述第一通孔与所述有源层104连通，所述第二源漏金属层111通过所述第二通孔与所述第一源漏金属层108连通。

优选地，所述第二通孔的深度小于所述第一通孔的深度。

优选地，所述第一通孔贯穿所述第一钝化层110、所述层间绝缘层109、所述第二栅极绝缘层107以及所述第一栅极绝缘层105并止于所述有源层104。

优选地，所述第二通孔贯穿所述第一钝化层110以及所述层间绝缘层109并止于所述第一源漏极金属层108。

优选地，所述沟槽贯穿所述层间绝缘层109、所述第二栅极绝缘层107、所述第一栅极绝缘层105、所述缓冲层103以及所述阻挡层102并止于所述柔性衬底101。

所述柔性衬底101的材料为聚酰亚胺或聚对苯二甲酸乙二醇酯；所述阻挡层102的材料为氮化硅或氧化硅其中的一种或两种，所述阻挡层102的厚度为5000埃米；所述缓冲层103的材料为氮化硅或氧化硅其中的一种或两种，所述缓冲层103的材料为3000埃米；所述第一栅极缓冲层105的材料为氮化硅或氧化硅，所述第一栅极缓冲层105的厚度为1000埃米，所述第二栅极缓冲层107的材料与所述第一栅极缓冲层的材料相同，所述第二栅极缓冲层107的厚度为1200埃米；所述层间绝缘层109的厚度为3000埃米；所述第一源漏极金属层108和所述第二源漏极金属层111的材料均为钛或钛铝合金；所述栅极金属层106的材料为钼。

所述柔性衬底101包括显示区域和设置在所述显示区域外的非显示区域，所述非显示区域设置有一沟槽，所述第一钝化层110位于所述层间绝缘层109的表面，并完全覆盖所述沟槽。所述第一钝化层110的作用是为了使所述层间绝缘层109平坦化，防止所述层间绝缘层109断线风险，可以使得所述第一钝化层110上形成的第一通孔以及第二通孔，更顺利地制得。

本发明的柔性显示面板还包括有机发光层和封装层，其中，所述有机发光层包括平坦化层、像素隔离层以及oled像素层。

如图2所示，本发明还提供一种柔性显示面板的制造方法流程，所述方法包括：

s10，提供一基板，在所述基板表面制备柔性衬底，之后在所述柔性衬底表面依次制备阻挡层以及缓冲层，然后在所述缓冲层的表面制备有源层，之后在所述缓冲层的表面制备第一栅极绝缘层，所述第一栅极绝缘层完全覆盖所述有源层，然后在所述第一栅极绝缘层的表面制备栅极金属层，第二栅极绝缘层形成于所述第一栅极绝缘层并完全覆盖所述栅极金属层，在所述第二栅极绝缘层上制备第一源漏极金属层。

具体的，所述s10还包括：

首先，提供一个绝缘基板，在所述绝缘基板的表面沉积一层柔性衬底201，所述柔性衬底201的材料为聚酰亚胺或聚对苯二甲酸乙二醇酯；之后，在所述柔性衬底201的表面使用物理气象沉积法依次沉积出阻挡层202以及缓冲层203，所述阻挡层202的材料为氮化硅或氧化硅其中的一种或两种，所述阻挡层202的厚度为5000埃米；所述缓冲层203的材料为氮化硅或氧化硅其中的一种或两种，所述缓冲层203的材料为3000埃米；之后，在所述缓冲层203的表面形成一半导体层，以一道光罩微影蚀刻制程来定义出半导体层结构，形成有源层204；接着在所述缓冲层203表面沉积出第一栅极绝缘层205，所述第一栅极绝缘层205完全覆盖所述有源层204，所述第一栅极缓冲层205的材料为氮化硅或氧化硅，所述第一栅极缓冲层205的厚度为1000埃米；接着在所述第一栅极缓冲层205的表面以一道光罩微影蚀刻制程来定义出栅极导体结构，形成栅极金属层206，所述栅极金属层206的材料为金属钼；接着在所述第一栅极缓冲层205的表面沉积出第二栅极缓冲层207，所述第二栅极缓冲层207的材料与所述第一栅极缓冲层205的材料相同，所述第二栅极缓冲层207的厚度为1200埃米；最后在所述第二栅极缓冲层207的表面以一道光罩微影蚀刻制程来定义出源漏极导体结构，形成第一源漏极金属层208；所述第一源漏极金属层208的材料为钛或钛铝合金，所述第一源漏极金属层208的厚度为7600埃米，所述第一源漏极金属层208代替了现有技术的一层栅极金属层，与所述栅极金属层206的材料组成电容存储电荷，能够满足基本的7t1c电路结构，如图2a所示。

s20，在所述第二栅极绝缘层的表面上制备层间绝缘层，所述层间绝缘层完全覆盖所述第一源漏极金属层，通过掩膜对所述层间绝缘层、所述第二栅极绝缘层、所述第一栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述阻挡层进行刻蚀，形成第一通孔和位于非显示区域的沟槽，所述第一通孔暴露出所述有源层，所述沟槽暴露出所述柔性衬底。

具体的，所述s20还包括：

首先，利用物理气象沉积法在所述第二栅极缓冲层207的表面沉积出层间绝缘层209，所述层间绝缘层209完全覆盖所述第一源漏极金属层208，所述层间绝缘层209的材料为氮化硅，所述层间绝缘层209的厚度为3000埃米，所述层间绝缘层209的作用为起到再次补氢；通过掩膜对层间绝缘层209进行刻蚀，形成第一通孔210以及沟槽211；所述第一通孔210贯穿所述层间绝缘层209、所述第二栅极绝缘层207以及所述第一栅极绝缘层205并止于所述有源层204；所述沟槽贯穿所述层间绝缘层209、所述第二栅极绝缘层207、所述第一栅极绝缘层205、所述缓冲层203以及所述阻挡层202并止于所述柔性衬底201，如图2b所示。

s30，在所述层间绝缘层的表面依次制备第一钝化层、第二源漏极金属层、第二钝化层、阳极金属层、像素隔离层以及像素支撑层，所述第一钝化层完全覆盖所述沟槽，所述第二源漏极金属层通过所述第一通孔与所述有源层连通，通过掩膜对所述第一钝化层进行刻蚀，形成第二通孔，所述第二源漏金属层通过所述第二通孔与所述第一源漏金属层连通，最后去除所述基板。

具体的，所述s30还包括：

首先，在所述层间绝缘层209的表面沉积出第一钝化层212，所述第一钝化层212位于显示区域并且完全延伸到非显示区域，所述第一钝化层212完全填充所述沟槽211，沉积所述第一钝化层212的主要用途为所述层间绝缘层209较薄为3000埃米，所述第一源漏极金属层208的厚度约为7600埃米，所述层间绝缘层209无法使所述第一源漏极金属层208平坦化，因此采用所述第一钝化层212使所述第一源漏极金属层208平坦化。接着通过掩膜对所述第一钝化层212进行刻蚀，形成第二通孔以及暴露出第一通孔；之后通过一道光罩微影蚀刻制程来定义出源漏极导体结构，形成第二源漏极金属层213，所述第二源漏极金属层213通过所述第一通孔与所述有源层204连通，所述第二源漏金属层213通过所述第二通孔与所述第一源漏金属层208连通。所述第二源漏金属层213与所述第一源漏极金属层208组成双层网状源漏极结构，有益于降低柔性显示面板的压降，提高面板的均匀性。最后，在所述第一钝化层212的表面212依次沉积出第二钝化层213、阳极金属层214、像素隔离层215以及像素支撑层216，并去除所述基板。其中，所述阳极金属层214的一部分直接与所述第二源漏金属层213相连，如图2c所示。

本发明的有益效果为：本发明所提供的柔性显示面板及制造方法，采用了双层源漏极金属层结构，减少了一层栅极金属层，通过一钝化层使源漏极金属层平坦化，进一步防止层间绝缘层断线，更进一步降低光罩成本以及原料成本。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。