技术特征：
技术总结
本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片制造的前处理装置，其可以方便将处理后的晶圆一次性全部取出，提高其实用性；并且可以在处理过程中，方便对每个晶圆表面进行充分处理，提高其处理效果；包括处理箱和四组支撑柱；还包括两组左支撑弹簧、两组右支撑弹簧、两组支撑板、两组左支撑杆、两组右支撑杆和连接板，还包括两组限位板、两组固定弹簧、两组方形限位块和取放箱；还包括两组旋转杆、两组从动齿轮、两组主动齿轮、两组上连接杆、两组下连接杆、两组上定位轮、两组下定位轮、左固定板、右固定板和两组传动链条。
技术研发人员：王昌华
受保护的技术使用者：江苏英锐半导体有限公司
技术研发日：2018.10.17
技术公布日：2019.01.22