技术特征：
技术总结
本发明涉及光子探测技术领域，特别是涉及一种光电探测器、光电探测器的制备方法、光电探测器阵列和光电探测终端。本申请实施例中提供了一种光电探测器，包括衬底和形成于该衬底之上的光学谐振腔：所述光学谐振腔可包括：光吸收层，具有相对的光线入射外表面和底部外部表面，以及位于所述光线入射表面与所述底部表面之间的外侧壁；陷光结构层，覆盖于所述光线入射表面；以及光反射结构层，覆盖于所述光吸收层的所述底部外表面和/或所述外侧壁上；其中，所述光反射结构层用于反射透过所述陷光结构层射入所述光学谐振腔中的外部光线，以增加该外部光线在所述光吸收层中的传播光程，进而有效提升光电探测器的光子吸收效率。
技术研发人员：臧凯;李爽;贾捷阳
受保护的技术使用者：深圳市灵明光子科技有限公司
技术研发日：2018.11.12
技术公布日：2019.04.19