技术特征：
技术总结
本发明的实施例提供了一种电子显微镜样品芯片及其相关应用，其中电子显微镜样品芯片，包括：第一基座，第一基座包括薄膜层、缓冲层以及主体层，缓冲层设置于薄膜层上且具有与薄膜层的一区域相对应的缓冲开口，主体层设置于缓冲层上且具有与缓冲层的缓冲开口相对应的主体开口，用于露出薄膜层与缓冲开口相对应的区域，薄膜层、缓冲层以及主体层的蚀刻特性不同；间隔层，设置于第一基座下并界定有样品容置空间，样品容置空间与薄膜层对应缓冲开口的区域相对应；第二基座，设置于间隔层远离第一基座的一侧。在本发明所提供的技术方案中，缓冲开口以及主体开口实质上垂直于薄膜层，减小了样品容置空间受到的视觉遮蔽障碍，扩大了可视区的范围。
技术研发人员：谢伯宗;钟崇仁;曾湜雯;黄秋华;陈子欣;蔡雅雯
受保护的技术使用者：谢伯宗
技术研发日：2018.11.21
技术公布日：2019.09.13