一种可排序型夹持不规则小样品的扫描电镜样品台的制作方法

文档序号:11211012阅读:676来源:国知局
一种可排序型夹持不规则小样品的扫描电镜样品台的制造方法与工艺

本实用新型涉及扫描电镜用样品台,特别是一种可排序型夹持不规则小样品的扫描电镜样品台。



背景技术:

扫描电镜是一种新型的电子仪器,是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜,它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。扫描电镜的一个重要特点是景深大,图像富立体感,扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大10倍,比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大,故所得扫描电子图像富有立体感,具有三维形态,能够提供比其他显微镜多得多的信息,这个特点对使用者很有价值。扫描电镜所显示的断口形貌从深层次,高景深的角度呈现材料断裂的本质,在教学、科研和生产中,有不可替代的作用,在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

样品台是扫描电子显微镜的必备附属部件,它用以承载样品。然而,目前扫描电镜的放大倍数一般至少都是10倍以上,这样对于样品台上的细小样品在观测时难以准确定位,而且目前所用样品台样品摆放较混乱,更加大了寻找样品的难度,此外对于不规则小样品不易安放牢固,严重影响后期观察,大大降低了扫描电子显微镜的工作效率。因此,扫描电镜用样品台的创新和改进是亟待解决的问题。



技术实现要素:

针对上述情况,为解决现有技术之缺陷,本实用新型之目的就是提供一种可排序型夹持不规则小样品的扫描电镜样品台,可有效解决样品排列混乱,小样品不易寻找观察和不规则小样品安放不牢固的问题。

本实用新型解决的技术方案是,包括基台体、载物台和螺杆,基台体上面设置有圆柱形第一盲孔,第一盲孔内部设有螺纹,基台体上靠近边缘处设置有印记,载物台底部设置有圆柱形第二盲孔,第二盲孔内部设有螺纹,载物台经螺杆旋装在基台体的第一盲孔内,载物台四周中部装有相同且具有一定倾斜度的薄片。

本实用新型用以将样品进行分区整齐排列以快速准确地找到所要观察的样品,并对不规则的小样品进行夹持固定,且对于金属样品的观察不需要导电胶,一定程度上简化了操作过程,大大提高了扫描电镜的工作效率,是扫描电镜样品台上的创新。

附图说明

图1为本实用新型的结构主视图(全剖)。

图2为本实用新型的基台体结构俯视图。

图3为本实用新型的载物台结构俯视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。

由图1-3给出,本实用新型包括基台体、载物台和螺杆,基台体1上面设置有圆柱形第一盲孔2,第一盲孔2内部设有螺纹,基台体1上靠近边缘处设置有印记7,载物台4底部设置有圆柱形第二盲孔5,第二盲孔5内部设有螺纹,载物台4经螺杆3旋装在基台体1的第一盲孔2内,载物台4四周中部装有相同且具有一定倾斜度的薄片6。

为了保证使用效果,所述的第一盲孔2有相同的9个,基台体1中心设置有1个,沿基台体1圆周均匀设置有8个,载物台4共有相同的9个,与第一盲孔2一一对应。

所述的基台体1是由黄铜制成的圆形。

所述的第一盲孔2、第二盲孔5大小、直径相同。

所述的印记7为三角形,通过模具印出,用以指示样品摆放方向。

所述的螺杆3为黄铜制成的圆柱形,且两端分别设置有外螺纹,分别与第一盲孔2、第二盲孔5内螺纹相匹配。

所述的载物台4为不锈钢制成的方形体,四角呈圆弧状过渡。

所述的薄片6为弹性不锈钢材质,倾斜度为30-60度(与载物台4夹角),且顶部有小凸起,通过电阻点焊在载物台4上,用以夹持不规则的小样品。

申请人要指出的是,本申请上述给出的仅仅是一种实施例,并不是用于限制本申请的保护范围,凡是用等同或等效替代手段所做出与本申请本质上相同的技术方案均属于本申请的保护范围。

本实用新型的使用情况是,将样品放置在载物台4上,对于不规则的小样品用不锈钢薄片固定,同时根据三角印记的指向确定每一个载物台所放样品类型,然后检测样品的形貌,在检测过程中,根据三角形印记的指示即可快速寻找要观察的样品。

由上述结构及工作情况可以看出,本实用新型通过基台体的九个盲孔及载物台可将基台体分成九个区域以安放样品,并根据三角形印记的指示方向,便可快捷准确地找到所要观察样品,避免了样品混乱不易查找所耗费的时间,同时对于不规则的小样品,不锈钢薄片起到一定的夹持固定作用,而且对于金属样品的观察不需要导电胶,安装方便简单,一定程度上简化了操作过程,大大提高了扫描电镜的工作效率。

本实用新型新颖独特,结构简单,易生产,使用方便快捷,用以将样品进行分区整齐排列以快速准确地找到所要观察的样品,并对不规则的小样品进行夹持固定,适用于各种场发射扫描电镜,大大提高了扫描电镜的工作效率,是扫描电镜样品台上的创新, 具有良好的经济和社会效益。

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