技术特征：
技术总结
本发明涉及一种大孔径高光束质量微型激光器，包括P面电极、电流引导层、P面分布布拉格反射镜、N面分布布拉格反射镜和N面电极，所述P面电极、电流引导层和P面分布布拉格反射镜的上表面刻蚀有环状凹槽，中心位置为圆形凸起，凹槽的厚度为2~6个周期的高低折射率材料，圆形凸起横向尺寸直径为0.5~2μm。本发明激光器的种子源是通过工艺在芯片上直接制作而成的，因此保持了垂直腔面发射激光器体积紧凑的特点，本发明的激光器结构简单、设计合理，投入成本较低，加工制作方便，且体积微小，可以高度集成在激光设备中。
技术研发人员：张祥伟;马群;陈玉娇;陶禹
受保护的技术使用者：西安工业大学
技术研发日：2018.11.29
技术公布日：2019.04.02