一种RC-IGBT器件的制作方法

文档序号:17579036发布日期:2019-05-03 20:46阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种RC‑IGBT器件。所述RC‑IGBT器件的介质层与栅极层之间设有第一栅极氧化层;栅极层与所述P阱区之间设有第二栅极氧化层;P阱区的两侧设有P型重掺杂区;P阱区的底部设有载流子存储层;载流子存储层设于所述漂移区内;漂移区的底部,由下往上依次设有集电极、集电区以及截止区;第一截止区设于第一集电区的上部,第二截止区设于第二集电区的上部,由第一集电区的竖直端隔离第一截止区以及第二截止区;第一集电区与第二集电区相接触。采用本发明所提供的RC‑IGBT器件能够有效抑制负阻现象的发生。

技术研发人员:张海泉;张碧莹;黄丹丹;崔晓;李建国;朱大磊;赵高;滕达
受保护的技术使用者:郑州师范学院
技术研发日:2018.12.25
技术公布日:2019.05.03
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1