1.一种纳米图形快速固化装置，其特征在于，包括腔体，在所述腔体内设有旋转夹持机构和微波耦合匹配器；
其中，所述旋转夹持机构包括载片台和旋转电机，所述载片台用于承载已显影置换后的晶圆，所述旋转电机与所述载片台采用机械方式相连接，使所述载片台围绕所述旋转电机的旋转轴转动；
其中，所述微波耦合匹配器通过微波传输导线与微波功率源相连接，所述微波耦合匹配器包括微波天线、阻抗匹配网络和微波检测器，所述微波检测器用于检测所述微波功率源输出至所述微波耦合匹配器的微波功率信号的入射功率和反射功率，并且根据所述入射功率和所述反射功率，自动调整所述阻抗匹配网络，直至所述微波天线将所述微波功率源的输出功率全部施加至所述腔体内；
所述腔体内还设有开口，所述开口通过导管与外部的真空泵组相连，将所述腔体内的水汽排出至所述腔体外。
2.根据权利要求1所述的纳米图形快速固化装置，其特征在于：所述腔体内还设有紫外固化灯。
3.根据权利要求1所述的纳米图形快速固化装置，其特征在于：所述载片台具有真空吸附装置，通过所述真空吸附装置将所述晶圆固定在所述载片台上。
4.根据权利要求1所述的纳米图形快速固化装置，其特征在于：所述微波功率源的频率范围为900mhz至13ghz。
5.根据权利要求1所述的纳米图形快速固化装置，其特征在于：所述微波功率源的额定输出功率范围为100w至5000w。
6.根据权利要求1所述的纳米图形快速固化装置，其特征在于：所述载片台围绕所述旋转电机的旋转轴转动的速度范围为每分钟100转至每分钟10000转。
7.根据权利要求1所述的纳米图形快速固化装置，其特征在于：所述阻抗匹配网络包括微带线和可调电容。
8.根据权利要求1所述的纳米图形快速固化装置，其特征在于：所述微波检测器还包括一幅值相位检测电路，且所述幅值相位检测电路用于检测所述微波功率信号的电压和电流之间的幅值相位关系。