硅片检测装置的制作方法

文档序号:16012149发布日期:2018-11-20 20:54阅读:154来源:国知局

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种硅片检测装置。



背景技术:

晶硅太阳能电池所采用单晶、多晶硅片在切割制备过程中不可避免会产生部分不良品。因此,电池厂商需对硅片进行检测,避免存有缺陷的硅片流入产线,导致机台碎片宕机,影响产能,且需耗费人力清理机台内部碎片。特别地,硅片的隐裂指的是硅片表面未穿透且不可见的裂纹,前述隐裂的硅片后续制程中会产生碎裂,影响正常生产。目前,针对硅片的隐裂,业内大多通过ATM/EL(电致发光,Electroluminescent)方法对硅片进行抽检,设备投入成本较高,难以实现全面检测,未能抽检到的隐裂的硅片仍会流入产线。

鉴于此,有必要提供一种新的硅片检测装置。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种硅片检测装置,能够有效检出不良硅片,降低后续电池片制程的碎片率;结构简洁,易于实现。

为实现上述实用新型目的,本实用新型提供了一种硅片检测装置,包括用以传送硅片的传送带、位于所述传送带上方的抵压杆及用以驱使所述抵压杆上下移动的驱动源,所述驱动源驱使所述抵压杆向下移动并抵压传送至所述抵压杆下方的硅片,实现对该硅片的检测。

作为本实用新型的进一步改进,所述抵压杆的数量n≥2,所述抵压杆具有用以与硅片接触的触头,且n个抵压杆的触头高度相等。

作为本实用新型的进一步改进,所述触头为柔性触头。

作为本实用新型的进一步改进,所述抵压杆之间的间距可调。

作为本实用新型的进一步改进,所述硅片检测装置还包括设置于所述驱动源与抵压杆之间的传动架,所述传动架开设有用以安装所述抵压杆的安装孔。

作为本实用新型的进一步改进,所述抵压杆穿设于所述安装孔且所述抵压杆的至少部分区域设有外螺纹,所述安装孔设有与所述外螺纹相适配的内螺纹。

作为本实用新型的进一步改进,所述硅片检测装置还包括固定设置于所述安装孔处并用以调节所述抵压杆的高度的调节螺母,所述调节螺母具有与所述外螺纹相适配的内螺纹。

作为本实用新型的进一步改进,所述传动架呈条状且所述传动架沿所述传送带的宽度方向设置。

作为本实用新型的进一步改进,在所述传送带的宽度方向上,所述抵压杆的下端与所述传送带错位设置。

作为本实用新型的进一步改进,所述硅片检测装置还包括用以感测硅片的传感器,当所述传感器感测到硅片传送至所述抵压杆下方时,所述驱动源驱使所述抵压杆对该硅片进行检测。

本实用新型实施例的有益效果包括:采用本实用新型硅片检测装置,硅片沿所述传送带传送至所述抵压杆的下方时,驱动源驱使抵压杆对硅片进行逐一检测,正常硅片会在抵压杆抬升后沿传送带继续传送,存有结构缺陷的硅片会在抵压杆的抵压作用下发生碎裂并自所述传送带掉落,有效避免不良硅片流入后续制程;且该硅片检测装置结构简洁,易于实现。

附图说明

图1是本实用新型硅片检测装置的部分结构示意图;

图2是图1中硅片检测装置的工作状态示意图;

图3是本实用新型硅片检测装置传动架的结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的实施方式对本实用新型进行详细描述。但该实施方式并不限制本实用新型,本领域的普通技术人员根据该实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

参图1至图2所示,本实用新型提供的硅片检测装置100包括用以传送硅片200的传送带1、用以感测硅片的传感器(未图示)、抵压杆2及驱使所述抵压杆2上下移动的驱动源3。此处,所述硅片检测装置100通过现有装片机或其它硅片传输设备改造得到,所述传感器设置在所述传送带1的旁侧。

所述抵压杆2位于所述传送带1的上方,当所述传感器感测到硅片200 传送至所述抵压杆2的正下方时,所述驱动源3驱使抵压杆2向下移动至与所述硅片200相接触,并抵压前述硅片200产生变形。具体地,若前述硅片 200为良品,其在抵压杆2的作用下发生弹性形变,且当抵压杆2抬升后,该硅片200恢复原状并沿所述传送带1继续传送;若前述硅片200存有结构缺陷,如隐裂等,其在抵压杆2的作用下会发生破碎,碎片自所述传送带1 向下掉落。其中,所述抵压杆2的移动行程可根据硅片200的厚度并结合多次实验确定。

在本实施例中,所述抵压杆2包括竖直延伸的杆体21及连接在所述杆体21下端的柔性触头22。所述柔性触头22可选用橡胶等材料制得且其表面设置较为平滑,避免对硅片200表面造成损伤。在所述传送带1的宽度方向上,所述抵压杆2的下端与所述传送带1错位设置,即使得所述抵压杆2沿竖直方向偏离所述传送带1,避免传送带1阻碍所述抵压杆2向下移动。优选地,所述抵压杆2设置为至少两根并用以分别抵压在待测的硅片200表面的不同位置,所述抵压杆2的柔性触头22在竖直方向高度相等,实现更好的检测效果。

所述硅片检测装置100还包括设置于所述驱动源3与抵压杆2之间的传动架4以及架设在所述传送带1上方的安装支架5。所述抵压杆2沿竖直方向安装在所述传动架4上。所述驱动源3设置为固定安装在所述安装支架5 上的微行程气缸,所述微行程气缸具有向下延伸的驱动杆31,所述驱动杆31 的下端设置有固定板32,所述固定板32固定在所述传动架4的中间位置,以避免传动架4可能出现的角度偏差。

参图3,为便于组装维护,所述传动架4设置呈条形板状且所述传动架 4沿所述传送带1的宽度方向设置,所述传动架4的长度方向与所述传送带1 的延伸方向相互垂直。所述传动架4具有配合所述固定板32的固定部41及位于所述固定部41两侧的安装部42,所述安装部42开设有用以安装所述抵压杆2的若干安装孔43。此处,若干所述安装孔43相对所述固定部41相互对称设置为两组。所述抵压杆2可对应安装在不同的安装孔43内,即根据待测的硅片200的规格尺寸不同,可实现所述抵压杆2之间的间距调节,以更好地实现相应硅片200的检测。

所述抵压杆2穿设于所述安装孔43中,为便于所述抵压杆2的安装高度调节与校准,所述抵压杆2的至少部分区域设有外螺纹;所述安装孔43 设置有与所述外螺纹相适配的内螺纹,以实现所述抵压杆2的高度可调节安装。除此,所述硅片检测装置100还包括固定设置于所述安装孔43处的调节螺母6,所述调节螺母6具有与所述外螺纹相适配的内螺纹。此处,每一所述安装孔43的旁侧均还开设有固定孔44,所述调节螺母6通过与所述固定孔44相配合的螺钉(未图示)稳定安装在传动架4上。

综上所述,采用本实用新型硅片检测装置100,当硅片200流经所述抵压杆2下方时,所述驱动源3驱使抵压杆2向下移动,以对硅片200进行检测,能够有效避免存有结构缺陷的前述硅片200流入后续制程。并且,该硅片检测装置100结构简洁,容易通过现有设备改造实现,利于推广应用。

应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施方式中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明,它们并非用以限制本实用新型的保护范围,凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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