一种沉淀室的隔离设备的制作方法

本文涉及太阳能电池的制造设备，尤指一种沉淀室的隔离设备。

背景技术：

等离子增强化学气相沉积设备(PECVD设备)是制造HIT高效异质结电池的核心设备。而该设备中的PECVD沉积室是对硅片沉积P/I/N结的腔室。

目前，PECVD沉积室采取外腔和内腔的结构设计，在进行化学气相沉积时，需将外腔和内腔隔离开，现有的PECVD沉积室采用30mm厚的铝板制成的门板进行隔离，门板在垂直方向上进行移动，并利用门板上的O型密封圈来达到内外腔密封隔离的目的。

但是，在内腔高温时，密封圈易老化而失去弹性，使门板与内腔之间存在缝隙，并不能完全将内腔和外腔分隔开来。另外，由于该门板在垂直方向上上下移动来封闭或开启内腔，密封圈会频繁摩擦，损坏较快，需频繁的更换密封圈，给设备使用带来不便。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种沉淀室的隔离设备，其采用带有弹性装置的隔板机构将内腔和外腔密封隔离开，从而避免因密封圈失效而带来的不能完全隔离的问题，同时也可减少零件的损耗和频繁更换零件的麻烦。

为了达到发明目的，本实用新型提供了一种沉淀室的隔离设备，用以分隔沉积室的内腔和外腔，所述隔离设备包括用以封闭所述内腔的隔板机构，所述隔板机构包括相连接的主门板和弹性装置，所述主门板封盖所述内腔的敞口，所述弹性装置用以向内腔方向挤压所述主门板而使其紧贴密封所述内腔。

一种可能的设计，所述沉积室设置有可旋转的门轴，所述隔板机构固定在所述门轴上，所述隔离设备还包括驱动装置，所述驱动装置与门轴连接，用以驱动所述门轴旋转而带动所述隔板机构转动。

一种可能的设计，所述隔板机构还包括基板，所述弹性装置夹在所述主门板与基板之间，所述基板与门轴固定。

一种可能的设计，所述驱动装置为气缸，所述气缸固定在沉降室外壁侧，所述气缸通过连杆机构与所述门轴连接，所述连杆机构包括驱动杆和驱动连杆，所述驱动杆一端与气缸的输出端固定，另一端与所述驱动连杆铰接，所述驱动连杆与所述门轴固定。

一种可能的设计，所述隔板机构通过固定在所述基板上的连接座与所述门轴连接。

一种可能的设计，所述门轴通过设置在其两端的轴承座安装在所述沉积室壁上。

一种可能的设计，所述气缸通过铰接座与沉积室的外壁侧固定，所述气缸与铰接座铰接。

一种可能的设计，所述弹性装置包括多个弹片，所述弹片的一端与所述主门板相抵，用以抵顶所述主门板。

一种可能的设计，所述沉积室上固定有门轴，所述隔板机构旋转安装在所述门轴上，所述隔离设备还包括驱动装置，所述驱动装置与隔板机构连接，用以驱动所述隔板机构转动封闭或开启所述内腔。

与现有技术相比，本实用新型采用带有弹性装置的隔板机构将内腔和外腔密封隔离开，能够更好的吸收安装误差和沉积高温带来的形变，从而避免因密封圈失效而带来的不能完全隔离的问题，同时也可减少零件的损耗和频繁更换零件的麻烦。

进一步地，本实用新型的驱动装置用以转动隔板机构而使其封闭或开启内腔，改变原有竖直移动的切换方式，避免了频繁摩擦而对零部件造成的损坏。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本实用新型技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本实用新型的技术方案，并不构成对本实用新型技术方案的限制。

图1为实施例一的隔板机构截面示意图；

图2为实施例二的隔离设备第一示意图；

图3为实施例二的隔离设备第二示意图；

图4为实施例三的隔离设备示意图。

附图标记：1-隔板机构、2-主门板、3-弹性装置、4-基板、5-连接座、6-轴承座、7-门轴、8-驱动连杆、9-气缸、10-驱动杆、11-铰接座、12-铰链销轴、13-驱动销轴。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。

实施例一

请参阅图1的本实用新型的隔离设备的实施例一。如图1所示，该用于分隔内外腔的隔离设备包括用以封闭内腔的隔板机构1，其中，该隔板机构1包括相连接的主门板2和弹性装置3，主门板2可封盖内腔的敞口，而弹性装置3则向内腔方向挤压主门板2而使主门板2紧贴密封内腔，从而达到分隔内腔和外腔的目的，避免了现有分隔结构因密封圈失效而带来的不能完全隔离的问题，同时也可减少零件的损耗和频繁更换零件的麻烦。

具体地，如图1所示，该隔板机构1包括主门板2、弹性装置3和基板4，弹性装置3夹在主门板2与基板4之间，且弹性装置3的一端与主门板2连接，另一端与基板4连接。其中，弹性装置3优选为多个弹片，各个弹片的一端与主门板2相抵，用以抵顶主门板3，另一端与基板4固定，而基板4则与移动该隔板机构1的驱动装置连接固定。

在分隔内腔和外腔时，隔板机构1竖直设置，基板4受驱动装置限定相对固定，弹片向内腔方向挤压主门板2而使其紧贴密封内腔，使隔板机构1将内腔和外腔密封隔离开，该隔板机构1能够更好的吸收安装误差和沉积高温带来的形变，从而避免因密封圈失效而带来的不能完全隔离的问题，同时也可减少密封圈的损耗，以及频繁更换密封圈的麻烦。

实施例二

请参阅图2和图3的本实用新型的隔离设备的实施例二。本实施相对于实施例一的主要区别在于：隔板机构转动设置。

具体地，沉积室外壁设置有门轴7，如图2和图3所示，呈水平的门轴7的两端又安装有轴承座6，两个轴承座6分别固定在沉积室的两侧，使门轴7可绕其自身的轴线转动。另外，门轴7在沿其长度方向上固定有多个连接座5，多个连接座5等间隔设置，门轴7则通过连接座5与固定在隔板机构1的基板4连接。

隔离设备还包括提供动力的驱动装置，如图2和图3所示，该驱动装置优先为气缸9，气缸9固定在沉降室外壁侧并与门轴7连接，用以驱动该门轴7旋转而带动隔板机构1转动盖封或脱离内腔的敞口。具体地，气缸9通过连杆机构与门轴7形成连接，其中，连杆机构又包括驱动杆10和驱动连杆8，而驱动杆10的一端与气缸9的输出端固定，且保证其与气缸9的输出端同向设置，其另一端与驱动连杆8通过驱动销轴13铰接，而驱动连杆8则与转轴机构4的门轴7固定，且驱动连杆8与连接座5的相对位置锁定。

另外，气缸9的底部通过铰接座11固定，该铰接座11固定在沉积室的外壁侧，且气缸9通过铰链销轴12与铰接座11铰接。

当隔离设备未分隔内腔和外腔时，连接座5保证隔板机构1水平设置；而当需要进行内腔和外腔分隔时，气缸9的活塞杆会向外伸出，驱动杆10通过驱动销轴13使驱动连杆8旋转，从而使门轴7与连接座5同时转动，当旋转到90度时，隔板机构1竖直设置，完成隔离，内腔开始进行工艺过程。而需要再次连通内腔和外腔时，只需气缸9继续活动，收回活塞杆使门轴7反向旋转即可。由此，本实施例的驱动装置通过转动隔板机构1而分隔或连通内腔与外腔，改变原有竖直移动的切换方式，避免了频繁各部件之间的摩擦而对零部件造成的损坏，可减少设备损耗。

实施例三

请参阅图4的本实用新型的隔离设备的实施例三。本实施相对于实施例二的主要区别在于：驱动装置与隔板机构连接。

具体地，沉积室壁上固定有门轴7，且该门轴7不可旋转，如图4所示，隔板机构1旋转安装在门轴7上，其中，隔板机构1的基板4通过连接座5与门轴连接，而连接座5的一端与基板4固定，另一端套设在门轴7上，使得隔板机构1可绕门轴7旋转。另外，隔离设备还包括气缸9，该气缸9通过驱动杆10和驱动连杆8形成与门轴7的连接，其中，驱动杆10的一端与气缸9的输出端固定，且保证其与气缸9的输出端同向设置，其另一端与驱动连杆8通过驱动销轴13铰接，而驱动连杆8则固定在连接座5上。另外，气缸9通过与其铰接的铰接座11固定在沉积室外壁侧。

当隔离设备未分隔内腔和外腔时，连接座5保证隔板机构1水平设置；而当需要进行内腔和外腔分隔时，气缸9的活塞杆会向外伸出，驱动杆10推动连接座5转动，从而使隔板机构1旋转，当旋转至其垂直时，完成隔离，内腔开始进行工艺过程。而需要再次连通内腔和外腔时，只需气缸9继续活动，收回活塞杆使连接座5反向旋转即可。

结合上述实施例一、实施例二和实施例三，本实用新型采用带有弹性装置的隔板机构将内腔和外腔密封隔离开，能够更好的吸收安装误差和沉积高温带来的形变，从而避免因密封圈失效而带来的不能完全隔离的问题，同时也可减少零件的损耗和频繁更换零件的麻烦。本实用新型的驱动装置用以转动隔板机构而使其封闭或开启内腔，改变原有竖直移动的切换方式，避免了频繁摩擦而对零部件造成的损坏。

在本申请的描述中，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

虽然本实用新型所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本实用新型而采用的实施方式，并非用以限定本实用新型。任何本实用新型所属领域内的技术人员，在不脱离本实用新型所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本实用新型的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。