静电卡盘及反应腔室的制作方法

技术总结
本实用新型提供的一种静电卡盘及反应腔室，通过电荷释放单元将基座和加热层均与地断开或者电导通，当工艺结束之后，通过电荷释放单元可以释放静电卡盘内部的残余电荷，可以避免因残余电荷不断积累而导致的晶圆在被顶起时发生偏移的问题。

技术研发人员：刘建
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2018.07.26
技术公布日：2019.02.05