一种单片晶圆盒的制作方法

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种单片晶圆盒。

背景技术：

晶圆片作为半导体领域相关产品制作的原材料，在实际生产过程中，晶圆片盒起到承载保护的作用。

但本申请发明人在实现本申请实施例中技术方案的过程中，发现上述现有技术至少存在如下技术问题：

现有技术中的晶圆盒容易导致晶圆片取放困难，容易造成对晶圆片的损伤。

技术实现要素：

本实用新型实施例提供了一种单片晶圆盒，解决了现有技术中的晶圆盒容易导致晶圆片取放困难，容易造成对晶圆片的损伤的技术问题。

鉴于上述问题，本实用新型实施例提供了一种单片晶圆盒，所述晶圆盒包括：本体，所述本体具有一容置空间；盒盖，所述盒盖与所述本体铰接；盛片架，所述盛片架设置在所述容置空间内；第一固定件，所述第一固定件设置在所述盛片架面向所述本体方向的一面；第二固定件，所述第二固定件设置在所述本体面向所述盛片架方向的一面，且与所述第一固定件相适配。

进一步的，所述盛片架面向所述盒盖方向的一面的四周具有多个凸起，且所述凸起两两之间具有空隙。

进一步的，所述晶圆盒还包括：活动铰链，所述活动铰链设置在所述本体外侧边缘处，将所述本体与所述盒盖铰接。

进一步的，所述本体还包括：第一搭扣，所述第一搭扣设置在所述本体外侧与所述活动铰链相对处.

进一步的，所述盒盖还包括：第二搭扣，所述第二搭扣设置在所述盒盖外侧与所述活动铰链相对处，且与所述第一搭扣相适配。

进一步的，所述盒盖为蓬盖。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

在本实用新型实施例提供的一种单片晶圆盒，包括：本体，所述本体具有一容置空间；盒盖，所述盒盖与所述本体铰接；盛片架，所述盛片架设置在所述容置空间内；第一固定件，所述第一固定件设置在所述盛片架面向所述本体方向的一面；第二固定件，所述第二固定件设置在所述本体面向所述盛片架方向的一面，且与所述第一固定件相适配。解决了现有技术中的晶圆盒容易导致晶圆片取放困难，容易造成对晶圆片的损伤的技术问题，改进了因盛片架随意流动而操作不便的问题，便捷人员作业；避免人员因开启、关闭片盒操作失当或蓬盖放置失当致而晶圆片受损的情况发生，提升产品的安全性和良率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本实用新型的具体实施方式。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的一种单片晶圆盒的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的盛片架结构示意图；

图3为本实用新型实施例的一种单片晶圆盒的侧视图。

附图标记说明：盒盖1，本体2，盛片架3，第一固定件4，第二固定件5活动铰链6，第二搭扣7，第一搭扣8。

具体实施方式

本实用新型实施例提供了一种单片晶圆盒，用于解决现有技术中的晶圆盒容易导致晶圆片取放困难，容易造成对晶圆片的损伤的技术问题，改进了因盛片架随意流动而操作不便的问题。

本实用新型提供的技术方案总体思路如下：所述晶圆盒包括：本体，所述本体具有一容置空间；盒盖，所述盒盖与所述本体铰接；盛片架，所述盛片架设置在所述容置空间内；第一固定件，所述第一固定件设置在所述盛片架面向所述本体方向的一面；第二固定件，所述第二固定件设置在所述本体面向所述盛片架方向的一面，且与所述第一固定件相适配。便捷人员作业；避免人员因开启、关闭片盒操作失当或蓬盖放置失当致而晶圆片受损的情况发生，提升产品的安全性和良率。

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

本实用新型实施例的一种单片晶圆盒，请参考图1-3，所述晶圆盒包括：

本体2，所述本体2具有一容置空间；

具体而言，所述本体2为具有一容置空间的收纳装置，其横截面形状可以是圆形，椭圆形、矩形等。

盒盖1，所述盒盖1与所述本体2铰接；且所述盒盖为蓬盖。

进一步的，所述晶圆盒还包括：活动铰链6，所述活动铰链6设置在所述本体2外侧边缘处，将所述本体2与所述盒盖1铰接。

具体而言，所述盒盖1横截面的形状与所述本体2横截面的形状相同，且相适配，并且所述盒盖1为蓬盖结构，即为拱形结构，并且所述盒盖1与所述本体2之间通过活动铰链6连接，使得所述盒盖1与所述本体2之间能够实现打开和关闭的效果。

进一步的，所述本体2还包括：第一搭扣7，所述第一搭扣7设置在所述本体2外侧与所述活动铰链6相对处.

进一步的，所述盒盖1还包括：第二搭扣8，所述第二搭扣8设置在所述盒盖1外侧与所述活动铰链6相对处，且与所述第一搭扣7相适配。

具体而言，所述本体2的外侧靠近与所述盒盖1相接触的地方设置有第一搭扣7，并且所述第一搭扣7所在的位置与所述活动铰链6相对，换言之，所述第一搭扣7所在的位置与所述活动铰链6所在的位置为所述本体2横截面的中轴线上，并且所述盒盖1与所述第一搭扣7相对应的位置设置有第二搭扣8，所述第二搭扣8能够与所述第一搭扣7相配合，当所述第一搭扣7与所述第二搭扣8扣合时，所述本体2和所述盒盖1闭合，当所述第一搭扣7和所述第二搭扣8解开时，所述本体2和所述本体2能够打开。

盛片架3，所述盛片架3设置在所述容置空间内；

进一步的，所述盛片架3面向所述盒盖1方向的一面的四周具有多个凸起，且所述凸起两两之间具有空隙。

具体而言，所述盛片架3用于盛放单片晶圆，所述盛片架3放置于所述本体2内部的容置空间中，并且所述盛片架3横截面的形状与本体2横截面形状相契合，能够刚好放入所述容置空间内，所述盛片架3直径上远离圆心处为条状凸起，所述凸起朝向盒盖1方向，并且条状凸起由圆心位置向四周发散设置，从而使得条状凸起两两之间具有一定间隙，便于工具夹起晶圆，当盒盖1盖上时，晶圆片因处在盒内中心位置而承受力均匀，确保了晶圆片在片盒开启/关闭过程中是无伤害性接触(晶圆片表面受力均匀)，继而晶圆片在取放、传递过程中受损情况能得到最大限度减轻，从而提升产品安全性、消除晶圆片破损的不利因素，提升产品良率。

第一固定件4，所述第一固定件4设置在所述盛片架3面向所述本体2方向的一面；

第二固定件5，所述第二固定5件设置在所述本体2面向所述盛片架3方向的一面，且与所述第一固定件4相适配。

具体而言，在所述盛片架3面向所述本体2方向的一面设置有第一固定件4，所述本体2面向所述盛片架3方向的一面设置有第二固定件5，且所述第二固定件5的位置与所述第一固定件1的位置相对应，并且所述第一固定件4与所述第二固定件5相适配，本申请实施例提供的一种优选的实施方式，所述第一固定件4和第二固定件5位于盛片架3的中心位置，盛片架3通过居中固定(也可活动取下)在本体2内部，以保证盛片架是居中放置、与盒体位置相对固定，同时晶圆片放在上面，晶圆片位置更易居中调整，此举措同时会保证盒盖搭扣合上后，晶圆片因在盒内位置居中，其在盒内受力均匀，如此提升产品的安全性。并且所述第一固定件4与第二固定件5一个为凸起结构，另一个为凹槽结构，凸起结构能够卡在所述凹槽结构中，从而起到固定作用，所述凹槽可以是第一固定件4，也可以是第二固定件5，即所述凹槽结构可以设置在盛片架3上，也可以设置在盒盖上，突起结构随所述凹槽结构做相应位置变化，由于片盒架位置相对嵌固在片盒内中心位置，该位置也是晶圆片放置在片盒内的最佳位置。晶圆片因处在盒内中心位置而承受力均匀，确保了晶圆片在片盒开启/关闭过程中是无伤害性接触(晶圆片表面受力均匀)，继而晶圆片在取放、传递过程中受损情况能得到最大限度减轻，从而提升产品安全性、消除晶圆片破损的不利因素，提升产品良率。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

在本实用新型实施例提供的一种单片晶圆盒，包括：所述晶圆盒包括：本体，所述本体具有一容置空间；盒盖，所述盒盖与所述本体铰接；盛片架，所述盛片架设置在所述容置空间内；第一固定件，所述第一固定件设置在所述盛片架面向所述本体方向的一面；第二固定件，所述第二固定件设置在所述本体面向所述盛片架方向的一面，且与所述第一固定件相适配。解决了现有技术中的晶圆盒容易导致晶圆片取放困难，容易造成对晶圆片的损伤的技术问题，改进了因盛片架随意流动而操作不便的问题，便捷人员作业；避免人员因开启、关闭片盒操作失当或蓬盖放置失当致而晶圆片受损的情况发生，提升产品的安全性和良率。

尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型实施例的精神和范围。这样，倘若本实用新型实施例的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。