液体槽的制作方法

文档序号:17503503发布日期:2019-04-23 23:52阅读:来源:国知局
技术总结
该实用新型涉及一种液体槽,其中,所述液体槽包括:槽体,用于盛放液体,所述槽体的底部设有若干进水口;设有若干通孔的流量均匀板,所述流量均匀板用于放置在所述槽体内,并将所述槽体所围成的空间沿所述槽体的深度方向分隔为上腔和下腔,待处理物体用于放置在所述上腔,所述进水口位于所述下腔。本实用新型的液体槽具有流量均匀板,通过设置在所述流量均匀板上的孔对穿过所述流量均匀板的液体进行分流,使得通过所述孔进入到上腔的液体被分流成更多股,更多股的液体对上腔内存放的液体进行推动、搅拌,因此具有更好的推动效果,能够使液体槽中的液体中各种离子均匀分布。

技术研发人员:宋冬门;李君;夏余平;刘开源;王二伟
受保护的技术使用者:长江存储科技有限责任公司
技术研发日:2018.09.28
技术公布日:2019.04.23

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