微通道板和电子倍增体的制作方法

技术特征：

技术总结
一种微通道板，其具备：具有正面、背面和侧面的基体；从基体的正面贯通至背面的多个通道；至少在通道的内壁面上设置的第一膜；在第一膜上的至少一部分设置的第二膜；和在基体的正面上和背面上分别设置的电极层。第一膜由MgO形成，第二膜由SiO2形成，第二膜的厚度比第一膜的厚度薄。

技术研发人员：永田贵章;浜名康全;西村一;增子太地
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：2018.01.23
技术公布日：2019.10.22