1.一种接合结构体,是在半导体元件与基板之间存在的接合结构体,其中,所述接合结构体包含:sn相、含有1质量%以上且不到7质量%的p的cu合金粒子、和ag粒子,
所述cu合金粒子用cu6sn5被覆层被覆,所述ag粒子用ag3sn被覆层被覆,
所述cu合金粒子与所述ag粒子经由cu10sn3相至少部分地结合,
相对于所述接合结构体,所述cu合金粒子和所述ag粒子的添加量的合计为25质量%以上且不到65质量%,
所述ag粒子的添加量相对于所述cu合金粒子的添加量的质量比为0.2以上且不到1.2。
2.根据权利要求1所述的接合结构体,其中,cu-p化合物粒子在所述接合结构体内点状分布。
3.一种半导体装置,其中,半导体元件与基板经由根据权利要求1或2所述的接合结构体而接合。
4.根据权利要求3所述的半导体装置,其中,在所述半导体元件与所述接合结构体之间,从所述半导体元件侧依次形成有ag层和ag3sn界面层,在所述基板与所述接合结构体之间,从所述基板侧依次形成有cu层和cu6sn5界面层。
5.一种半导体装置的制造方法,其具有:
调制糊剂的工序,其将sn粒子、含有1质量%以上且不到7质量%的p的cu合金粒子、ag粒子和溶剂混合以调制糊剂,其中,相对于所述sn粒子、所述cu合金粒子和所述ag粒子的合计量,使所述cu合金粒子和所述ag粒子的合计量为25质量%以上且不到65质量%,并且使所述ag粒子相对于所述cu合金粒子的质量比为0.2以上且不到1.2;
将所述糊剂涂布在基板上的工序;
在所述糊剂上载置半导体元件的工序;
加热到120℃以上且200℃以下的温度以使所述糊剂中的溶剂挥发的工序;和
加热到340℃以上且不到450℃的温度以使所述半导体元件与所述基板接合的工序。