接合结构体、半导体装置及其制造方法与流程

文档序号:25542957发布日期:2021-06-18 20:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种接合结构体,是在半导体元件与基板之间存在的接合结构体,其中,所述接合结构体包含:sn相、含有1质量%以上且不到7质量%的p的cu合金粒子、和ag粒子,

所述cu合金粒子用cu6sn5被覆层被覆,所述ag粒子用ag3sn被覆层被覆,

所述cu合金粒子与所述ag粒子经由cu10sn3相至少部分地结合,

相对于所述接合结构体,所述cu合金粒子和所述ag粒子的添加量的合计为25质量%以上且不到65质量%,

所述ag粒子的添加量相对于所述cu合金粒子的添加量的质量比为0.2以上且不到1.2。

2.根据权利要求1所述的接合结构体,其中,cu-p化合物粒子在所述接合结构体内点状分布。

3.一种半导体装置,其中,半导体元件与基板经由根据权利要求1或2所述的接合结构体而接合。

4.根据权利要求3所述的半导体装置,其中,在所述半导体元件与所述接合结构体之间,从所述半导体元件侧依次形成有ag层和ag3sn界面层,在所述基板与所述接合结构体之间,从所述基板侧依次形成有cu层和cu6sn5界面层。

5.一种半导体装置的制造方法,其具有:

调制糊剂的工序,其将sn粒子、含有1质量%以上且不到7质量%的p的cu合金粒子、ag粒子和溶剂混合以调制糊剂,其中,相对于所述sn粒子、所述cu合金粒子和所述ag粒子的合计量,使所述cu合金粒子和所述ag粒子的合计量为25质量%以上且不到65质量%,并且使所述ag粒子相对于所述cu合金粒子的质量比为0.2以上且不到1.2;

将所述糊剂涂布在基板上的工序;

在所述糊剂上载置半导体元件的工序;

加热到120℃以上且200℃以下的温度以使所述糊剂中的溶剂挥发的工序;和

加热到340℃以上且不到450℃的温度以使所述半导体元件与所述基板接合的工序。


技术总结
接合结构体,是在半导体元件与基板之间存在的接合结构体,其中,所述接合结构体包含:Sn相、含有1质量%以上且不到7质量%的P的Cu合金粒子、和Ag粒子,所述Cu合金粒子用Cu6Sn5层被覆,所述Ag粒子用Ag3Sn层被覆,所述Cu合金粒子与所述Ag粒子经由Cu10Sn3相至少部分地结合,相对于所述接合结构体,所述Cu合金粒子和所述Ag粒子的添加量的合计为25质量%以上且不到65质量%,所述Ag粒子的添加量与所述Cu合金粒子的添加量的质量比为0.2以上且不到1.2。

技术研发人员:山崎浩次;田村嘉男
受保护的技术使用者:三菱电机株式会社
技术研发日:2018.11.08
技术公布日:2021.06.18
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