一体发光区大功率垂直腔面发射激光器的制作方法

文档序号:16845486发布日期:2019-02-12 22:09阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种一体发光区大功率垂直腔面发射激光器,包含:发射孔,发射孔内形成有隔离槽,将发射孔部分隔离以形成相连通的狭长发射区,隔离层中有绝缘层;导电层,填充于隔离槽中,且朝两侧延伸并与狭长发射区形成欧姆接触。本发明将大氧化孔径的垂直腔面发射激光器的发射孔隔离成狭长发射区,该狭长发射区与导电层接触,一方面增加了发射孔内的电流路径,可有效增加大氧化孔径的垂直腔面发射激光器的中部区域的电流密度,另一方面,电流可从导电层进行横向传播,大大提高了发光孔内的电流密度分布的均匀性,提高了转化效率。同时,大范围的保持了出射光的相干性。该发明可以应用在激光雷达、红外摄像头和深度识别探测器等领域。

技术研发人员:梁栋;霍铁杰;刘嵩
受保护的技术使用者:常州纵慧芯光半导体科技有限公司
技术研发日:2019.01.02
技术公布日:2019.02.12
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