一种具有多个绕组线圈通过微纳加工制作的集成变压器的制作方法

文档序号:17544923发布日期:2019-04-29 15:15阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种具有多个绕组线圈通过微纳加工制作的集成变压器,绕组线圈和磁芯通过绝缘材料与磁芯分隔,绕组线圈部分相互交错排列,其中缠绕磁芯的绕组线圈至少一匝线圈的顶部导线层与相邻磁芯相对应的绕组线圈底部导线层通过通孔互换,缠绕磁芯的绕组线圈至少一匝线圈的底部导线层与相邻磁芯相对应的绕组线圈顶部导线层通过通孔互换;所述的通孔为导电通孔,为顶层导线连接到底层导线提供连接点,通孔宽度小于或者等于绕组线圈的导线宽度;所述的集成变压器采用分层沉积微纳加工制备。本发明在实现高耦合性的同时具有低寄生电容的特性。

技术研发人员:启荣·安东尼·菲尼;王宁宁
受保护的技术使用者:杭州矽磁微电子有限公司
技术研发日:2019.01.11
技术公布日:2019.04.26
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