离子源及其工作方法、应用与流程

文档序号:18662039发布日期:2019-09-13 19:32阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种离子源及其工作方法、应用,所述离子源包括毛细管和放电电极;基体具有本体和延伸部;毛细管的一端固定在所述延伸部内,另一端伸出延伸部;放电电极的一端裸露在本体的第一凹槽内,另一端处于所述毛细管内;导向件包括上下设置的上部分和下部分;上部分的下侧具有第二凹槽,连接电极延伸到第二凹槽内;下部分具有与所述第二凹槽相对设置的第三凹槽;第三凹槽包括依次设置的第一部分、斜坡和第二部分,所述第二部分高于第一部分;第二部分的上壁和第三凹槽底壁间的距离不小于所述的厚度。本发明具有可靠性好、成本低、操作简便、检测平行性好等优点。

技术研发人员:闻路红;洪欢欢;余晓梅;邵科敏;李文;范国正
受保护的技术使用者:宁波大学;宁波华仪宁创智能科技有限公司
技术研发日:2019.07.11
技术公布日:2019.09.13
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