1.一种半导体器件,具备:
半导体基板;
第1图案,其在所述半导体基板上,在第1方向上延伸,在与所述第1方向相交的第2方向上具有周期性;
第2图案,其在所述半导体基板上,在所述第1方向上延伸,在所述第2方向上具有周期性,配置在所述第1图案之间;
第3图案,其在所述第1图案以及所述第2图案上的第1区域和所述第1图案以及所述第2图案上的第2区域,在沿着所述第1方向的第3方向上延伸,在沿着所述第2方向的第4方向上以与所述第1图案相等的间距具有周期性,在所述第1区域和所述第2区域中在所述第4方向上相互偏移半间距地配置;
第1接触部,其配置在所述第1区域的所述第3图案之间,与所述第1图案连接;以及
第2接触部,其配置在所述第2区域的所述第3图案之间,与所述第2图案连接。
2.根据权利要求1所述的半导体器件,
所述第3图案包括由自组装光刻引起的不规则图案。
3.根据权利要求1或者2所述的半导体器件,
所述第3图案由对于所述第3图案之间的层间绝缘层具有蚀刻选择比的材质形成。
4.根据权利要求1所述的半导体器件,
所述第3图案以sin为主成分。
5.一种半导体器件,具备:
第1图案,其在半导体基板上,在第1方向上延伸,在与所述第1方向相交的第2方向上具有周期性;
第2图案,其在所述第1方向上延伸,在所述第2方向上具有周期性,配置在所述第1图案之间;
第1接触部,其配置在所述第1图案以及所述第2图案上的第1区域,与所述第1图案连接;以及
第2接触部,其配置在所述第1图案以及所述第2图案上的第2区域,与所述第2图案连接,
在所述第1区域中在预定与所述第1接触部连接的所述第1图案的两侧的所述第1图案上形成第4图案,在所述第2区域中在预定与所述第2接触部连接的所述第2图案的两侧的所述第2图案上形成所述第4图案,将所述第4图案作为引导图案来通过自组装光刻进行嵌段共聚物的自组装,在所述第1区域中除去预定与所述第1接触部连接的所述第1图案的两旁的所述第2图案上的嵌段,在所述第2区域中除去预定与所述第2接触部连接的所述第2图案的两旁的所述第1图案上的嵌段,将在所述嵌段被除去后的痕迹内埋入的第3图案作为阻挡层,所述第1接触部与所述第1图案连接,所述第2接触部与所述第2图案连接。
6.一种半导体器件,具备:
半导体基板;
第1布线以及第2布线,其在所述半导体基板上,在第1方向上延伸,在与所述第1方向相交的第2方向上分别交替地分离配置;
第1阻挡层,其在所述第1布线上,在沿着所述第1方向的第3方向上延伸,在沿着所述第2方向的第4方向上以第1间距分离配置;
第2阻挡层,其在所述第2布线上,在所述第3方向上延伸,在所述第4方向上以所述第1间距分离配置;
第1接触部,其配置在所述第1布线以及所述第2阻挡层上,与所述第1布线电连接;以及
第2接触部,其配置在所述第2布线以及所述第1阻挡层上,与所述第2布线电连接。