半导体器件的制作方法

文档序号:21626496发布日期:2020-07-29 02:33阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体器件,具备:

半导体基板;

第1图案,其在所述半导体基板上,在第1方向上延伸,在与所述第1方向相交的第2方向上具有周期性;

第2图案,其在所述半导体基板上,在所述第1方向上延伸,在所述第2方向上具有周期性,配置在所述第1图案之间;

第3图案,其在所述第1图案以及所述第2图案上的第1区域和所述第1图案以及所述第2图案上的第2区域,在沿着所述第1方向的第3方向上延伸,在沿着所述第2方向的第4方向上以与所述第1图案相等的间距具有周期性,在所述第1区域和所述第2区域中在所述第4方向上相互偏移半间距地配置;

第1接触部,其配置在所述第1区域的所述第3图案之间,与所述第1图案连接;以及

第2接触部,其配置在所述第2区域的所述第3图案之间,与所述第2图案连接。

2.根据权利要求1所述的半导体器件,

所述第3图案包括由自组装光刻引起的不规则图案。

3.根据权利要求1或者2所述的半导体器件,

所述第3图案由对于所述第3图案之间的层间绝缘层具有蚀刻选择比的材质形成。

4.根据权利要求1所述的半导体器件,

所述第3图案以sin为主成分。

5.一种半导体器件,具备:

第1图案,其在半导体基板上,在第1方向上延伸,在与所述第1方向相交的第2方向上具有周期性;

第2图案,其在所述第1方向上延伸,在所述第2方向上具有周期性,配置在所述第1图案之间;

第1接触部,其配置在所述第1图案以及所述第2图案上的第1区域,与所述第1图案连接;以及

第2接触部,其配置在所述第1图案以及所述第2图案上的第2区域,与所述第2图案连接,

在所述第1区域中在预定与所述第1接触部连接的所述第1图案的两侧的所述第1图案上形成第4图案,在所述第2区域中在预定与所述第2接触部连接的所述第2图案的两侧的所述第2图案上形成所述第4图案,将所述第4图案作为引导图案来通过自组装光刻进行嵌段共聚物的自组装,在所述第1区域中除去预定与所述第1接触部连接的所述第1图案的两旁的所述第2图案上的嵌段,在所述第2区域中除去预定与所述第2接触部连接的所述第2图案的两旁的所述第1图案上的嵌段,将在所述嵌段被除去后的痕迹内埋入的第3图案作为阻挡层,所述第1接触部与所述第1图案连接,所述第2接触部与所述第2图案连接。

6.一种半导体器件,具备:

半导体基板;

第1布线以及第2布线,其在所述半导体基板上,在第1方向上延伸,在与所述第1方向相交的第2方向上分别交替地分离配置;

第1阻挡层,其在所述第1布线上,在沿着所述第1方向的第3方向上延伸,在沿着所述第2方向的第4方向上以第1间距分离配置;

第2阻挡层,其在所述第2布线上,在所述第3方向上延伸,在所述第4方向上以所述第1间距分离配置;

第1接触部,其配置在所述第1布线以及所述第2阻挡层上,与所述第1布线电连接;以及

第2接触部,其配置在所述第2布线以及所述第1阻挡层上,与所述第2布线电连接。


技术总结
实施方式的半导体器件具备:半导体基板;第1图案,其在半导体基板上,在第1方向上延伸,在与第1方向相交的第2方向上具有周期性;第2图案,其在半导体基板上,在第1方向上延伸,在第2方向上具有周期性,配置在第1图案之间;第3图案,其在第1图案以及第2图案上的第1区域和第1图案以及第2图案上的第2区域,在沿着第1方向的第3方向上延伸,在沿着第2方向的第4方向上以与第1图案相等的间距具有周期性,在第1区域和第2区域中在第4方向上相互偏移半间距来配置;第1接触部,其配置在第1区域的第3图案之间,与第1图案连接;第2接触部,其配置在第2区域的第3图案之间,与第2图案连接。

技术研发人员:笠原佑介
受保护的技术使用者:东芝存储器株式会社
技术研发日:2019.07.18
技术公布日:2020.07.28
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