用于保持基板和/或解除对基板的保持的装置及镀敷装置的制作方法

本发明涉及一种用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持的装置、及具有该装置的镀敷装置。

背景技术：

以往，已知有用于镀敷基板的镀敷装置。专利文献1中公开了一种镀敷装置，包括用于在基板保持器上保持基板和解除基板保持器对基板的保持的基板装卸装置(专利文献1中为“基板保持器开闭机构102”)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2012-107311号公报

技术实现要素：

[发明所要解决的问题]

专利文献1中，使用了用于仅对基板的单面进行镀敷的基板保持器(单面保持器)。另一方面，专利文献1中，并未考虑使用用于镀敷基板的两面的基板保持器(两面保持器)。因此，本申请的一个目的是提供一种能够适合两面保持器的基板装卸装置。

[解决问题的技术机构]

作为一实施方式，本申请公开了一种装置，所述装置用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持，基板保持器包括用于夹持基板的第一框架及第二框架，第一框架及第二框架分别具有用于使基板露出的开口，装置包括用于在第一框架及第二框架之间夹持基板的基板支持单元，基板支持单元包括：下部基板支持件，自下部支持基板；以及上部基板支持件，自上部支持基板；下部基板支持件构成为通过在第一框架及第二框架中位于下方的框架的开口而与基板接触，上部基板支持件构成为通过在第一框架及第二框架中位于上方的框架的开口而与基板接触。

附图说明

图1a是一实施方式的镀敷装置的俯视图。

图1b是一实施方式的镀敷装置的正面图。

图2a是在一实施方式的镀敷装置中使用的基板保持器的正面图。

图2b是在一实施方式的镀敷装置中使用的基板保持器的剖面图。

图2c是图2b中标注“a”的部位的放大分解图。

图3是基板保持器中的保持基板的部分的剖面图。

图4a是一实施方式的基板装卸装置的俯视图。

图4b是一实施方式的基板装卸装置的正面图。

图5a是接收基板保持器之前的保持器倾动部的正面图。

图5b是接收到基板保持器后的保持器倾动部的正面图。

图6a是接收基板保持器之前的保持器搬运部的正面图。

图6b是将基板保持器向按压部搬运的保持器搬运部的正面图。

图7a是接收基板保持器之前的按压部的正面图。

图7b是接收到基板保持器后的按压部的正面图。

图7c是向下部按压基板保持器的按压部的正面图。

图8a是从上方观察按压部的立体图。

图8b是从上方观察按压部的立体图，图8b的按压部在比光源稍高的位置被切割。

图8c是从下方观察按压部的立体图，图8c的按压部在比按压单元低且比载物台(stage)高的位置被切割。

图9a是解除由基板保持器对基板的保持的运作的第一时间点(以下简称为“第n时间点”)的按压部的示意图。

图9b是第二时间点的按压部的示意图。

图9c是第三时间点的按压部的示意图。

图9d是第四时间点的按压部的示意图。

图9e是第五时间点的按压部的示意图。

图9f是第六时间点的按压部的示意图。

图9g是第七时间点的按压部的示意图。

图9h是第八时间点的按压部的示意图。

图9i是第九时间点的按压部的示意图。

图9j是第十时间点的按压部的示意图。

图9k是第十一时间点的按压部的示意图。

图9l是第十二时间点的按压部的示意图。

图9m是第十三时间点的按压部的示意图。

图10a是光源及照相机两者都在待机位置时的按压部的示意图。

图10b是光源位于照射位置而照相机位于拍摄位置时的按压部的示意图。

图11是具有半锁定功能的夹持器的板的立体图。

图12是与图11的板成对的钩部的立体图。

图13是包括图11的板与图12的钩部的夹持器的剖面图。

图14是一实施方式的按压部的示意图。

图15是表示将基板以垂直姿势进行对基板保持器的装卸的实施例的图。

[符号的说明]

100：镀敷装置

110：装载端口

120：基板搬运机器人

130：干燥器

140：基板装卸装置

150：处理部

151：前水洗槽

152：前处理槽

153：第一淋洗槽

154：第一镀敷槽

155：第二淋洗槽

156：第二镀敷槽

157：第三淋洗槽

158：吹气槽

160：运输机

161：运输机臂

162：臂上下移动机构

163：水平移动机构

170：暂存盒

180：控制部

200：基板保持器

200a、200a-1：前框架(第一框架)

200b、200b-1：后框架(第二框架)

210a、210b：保持器臂

220：肩部电极

230a、230b：布线收纳部

240a、240b：框架主体

241a、241b：端口

250、250sl：钩部

251：钩基座

252：钩主体

253：轴

254：杆

260a、260b：开口

270、270sl：板

271：卡爪

271a：锁定用卡爪

271b：半锁用卡爪

290：夹持器

300：外密封件

310：内密封件

320：基板用电极

400：保持器承受部

401：保持器承受主体

402：直动机构

410：保持器倾动部

411：保持器倾动部臂

420：保持器搬运部

421：保持器载体

422：载体上下移动机构

423：搬运部直动机构

430：按压部(基板装卸部、固定部)

431、431-1：载物台(第一基座)

432、432-1：按压单元(第二基座)

432op：按压单元开口

500：销

800：机架

810：按压单元上下移动机构

811：直动引导件

812：制动器

820、820-1：载置部(抵接部)

830：定位机构

831：固定夹具

840：框架推杆

850：基板支持单元

851、851-1：下部基板支持件(第一基板支持件)

852、852-1：下部基板支持件上下移动机构(第一基板支持件移动机构)

853、853-1：上部基板支持件(第二基板支持件)

854、854-1：上部基板支持件上下移动机构(第二基板支持件移动机构)

860：夹持器开启器

870：按压机构

880、880-1：框架提升卡爪(卡爪)

890：光源

891：照相机

892：通电传感器

893：光源用致动器

894：照相机用致动器

w：基板

s1：基板的其中一面

s2：基板的另一面

具体实施方式

＜关于镀敷装置＞

图1a与图1b是一实施方式的镀敷装置100的示意图。图1a是镀敷装置100的俯视图。图1b是镀敷装置100的正面图。一实施方式的镀敷装置100包括：装载端口110、基板搬运机器人120、干燥器130、基板装卸装置140、镀敷处理部150、运输机(transporter)160及暂存盒(stocker)170。进而，镀敷装置100也可包括用于控制镀敷装置100的各部的控制部180。

装载端口110被设置用于将基板装载到镀敷装置100上并且从镀敷装置100拆卸基板。装载端口110可构成为能够放置正面开口标准箱(frontopeningunifiedpod，foup)等机构，或者可在与foup等机构之间搬运基板。

由装载端口110装载的基板由基板搬运机器人120搬运。具体而言，基板搬运机器人120构成为能够在装载端口110、干燥器130以及基板装卸装置140之间搬运基板。但是，也可以使用基板搬运机器人120以外的搬运机构。再者，本说明书中的“向装载端口110搬运基板”包括“向放置在装载端口110上的foup等机构搬运基板”。干燥器130被设置用于使由镀敷处理部150处理后的基板干燥。

基板装卸装置140是用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持的装置。图1a与图1b的基板装卸装置140能够实现将基板保持在基板保持器上，且解除基板保持器对基板的保持两者。另一方面，也可以分别设置用于在基板保持器上保持基板的基板装卸装置140及用于解除基板保持器对基板的保持的基板装卸装置140，也可以仅设置任一者。需要将基板及基板保持器两者搬入基板装卸装置140。因此，基板装卸装置140被定位在基板搬运机器人120及运输机160两者能够接入的位置。基板装卸装置140的详细情况在后面叙述。

镀敷处理部150是为了对基板进行镀敷处理(镀敷加工)而设置。镀敷处理部150包括一个或多个处理槽。一个或多个处理槽中至少一个是镀敷槽。作为一例，图1a与图1b的处理部150包括8个处理槽，即前水洗槽151、前处理槽152、第一淋洗(rinse)槽153、第一镀敷槽154、第二淋洗槽155、第二镀敷槽156、第三淋洗槽157及吹气(blow)槽158。镀敷装置100能够在各处理槽中依次进行规定的处理。

运输机160构成为在基板装卸装置140、镀敷处理部150以及暂存盒170之间搬运基板保持器。进而，运输机160构成为在各处理槽(前水洗槽151～吹气槽158)之间搬运基板保持器。运输机160包括：用于悬挂基板保持器的运输机臂161、用于使运输机臂161上下移动的臂上下移动机构162、以及用于使臂上下移动机构162沿着处理槽的排列而水平移动的水平移动机构163。水平移动机构163可以表现为用于使运输机臂161水平移动的机构。应注意运输机160的配置仅是示例。

暂存盒170构成为能够保管至少一枚、优选为多枚基板保持器。一实施方式的控制部180控制运输机160，以使得从暂存盒170中保管的基板保持器中取出未保持基板的基板保持器。之后，控制部180控制基板装卸装置140及运输机160，以使得所取出的基板保持器被搬运到基板装卸装置140。之后，控制部180控制基板装卸装置140，以使得基板由基板保持器保持。将应由基板保持器保持的基板由基板搬运机器人120从载入端口110搬运至基板装卸装置140。通过以上顺序，未保持基板的基板保持器变为“保持基板的基板保持器”。之后，控制部180控制基板装卸装置140及运输机160，以使得从基板装卸装置140取出保持基板的基板保持器。进而，之后控制部180控制运输机160，以使得该基板保持器被搬运到镀敷处理部150。

在镀敷处理结束的情况下等需要解除基板保持器对基板的保持的情况下，控制部180在与所述顺序大致相反的顺序中，控制镀敷装置100的各元素。即，控制部180控制基板装卸装置140及运输机160，以使得保持基板的基板保持器被搬运到基板装卸装置140。之后，控制部180控制基板装卸装置140，以解除基板保持器对基板的保持。通过以上顺序，保持基板的基板保持器变为“未保持基板的基板保持器”。也可以在解除基板保持器对基板的保持后，将其他基板保持在该基板保持器上而再次搬运至镀敷处理部150。作为代替，也可以在解除基板保持器对基板的保持后，将该基板保持器收容在暂存盒170中。从基板保持器卸载的基板可由基板搬运机器人120搬运到装载端口110或干燥器130。

＜关于基板保持器＞

接着，对在镀敷装置100中使用的基板保持器(以下标注符号“200”)进行说明。图2a～图2c是基板保持器200的示意图。图2a是基板保持器200的正面图。图2b是基板保持器200的剖面图。图2c是图2b中标注“a”的部位的放大分解图。再者，应注意“镀敷装置100或基板装卸装置140的正面”与“基板保持器200的正面”未必一致。

基板保持器200是用于通过在框架之间夹持基板来保持基板的构件。基板保持器200包括用于夹持基板的前框架200a及后框架200b。前框架200a与后框架200b由至少一个、优选为多个夹持器290(夹持器290的详细情况将在后面叙述)夹持。基板(以下标注符号“w”)在图2b中用假想线表示。

前框架200a及后框架200b除了后述的钩部250及板270以外，具有对称的构造。因此，“前”及“后”这一名称仅为了方便。前框架200a所处的一侧及后框架200b所处的一侧中的任一者都可以被视为正面。前框架200a及后框架200b也可以不是对称的构造。

在前框架200a的上部设置有保持器臂210a。在保持器臂210a的肩部可以设置肩部电极220。在图2a～图2c的例子中，在保持器臂210a的两肩部设置有两个肩部电极220。肩部电极220通过未图示的导电路径(布线或母线等)与后述的基板用电极320电连接。后述的基板用电极320与基板w电连接，因此肩部电极220与基板w电连接。后框架200b上设置有保持器臂210b。保持器臂210b的构成与保持器臂210a相同。前框架200a可包括布线容纳部230a。后框架200b可包括布线容纳部230b。

前框架200a还包括框架主体240a。后框架200b还包括框架主体240b。框架主体240a及框架主体240b是大致板状的构件。在框架主体240a及框架主体240b各自的中央部分，分别形成有用于使基板w露出的开口260a及开口260b。在图2a～图2c的例子中，开口260a及开口260b是方形。开口260a及开口260b的形状可以根据需要适宜变更。基板w被夹在框架主体240a与框架主体240b之间。

基板w的其中一面经由开口260a露出到外部。基板w的另一面经由开口260b露出到外部。因此，若使用图2a～图2c的基板保持器200进行镀敷处理，则基板w的两面与镀敷液接触。即，图2a～图2c的基板保持器200是“两面保持器”。但是，通过覆盖任一开口或者控制电气条件等，也能够将基板保持器200用于单面镀敷。

基板保持器200包括一个或多个夹持器290。夹持器290具有安装在框架主体240a上的钩部250及安装在框架主体240b上的板270。在图2a～图2c的例子中设置了合计4个夹持器290。

钩部250包括：安装在框架主体240a上的钩基座251、钩主体252、以及相对于钩基座251可枢转地支持钩主体252的轴253。钩部250还可以具有用于使钩主体252以轴253为中心枢转的杆254。钩主体252向后框架200b的方向延伸。轴253在与要保持的基板w的面平行的面内延伸。钩部250还包括按压构件(未图示)，该按压构件以轴253为中心对钩主体252向图2b或图2c的逆时针方向施力，用于维持钩主体252与卡爪(claw)271(后述)之间的钩挂。按压构件例如也可以是扭簧。

在框架主体240a上设置有端口241a(参照图2c)。钩部250通过螺栓等安装在端口241a上。在框架主体240b上设置有端口241b(参照图2c)。端口241b的位置及个数对应于端口241a的位置及个数。板270通过螺栓等安装在端口241b上。在板270上设置有钩主体252所钩挂的卡爪271。卡爪271向前框架200a的方向延伸。

在图2a～图2c所示的实施方式中，通过向框架主体240b按压杆254，解除钩主体252与卡爪271的钩挂。取而代之，也可以将杆254等构成为通过将杆254向正面侧牵拉而解除钩挂。

在图2a～图2c中，在前框架200a上安装有钩部250，在后框架200b上安装有板270。作为代替，钩部250可以安装于后框架200b，板270可以安装于前框架200a。

接着，使用图3说明基板保持器200中保持基板w的部分的详细情况。图3是基板保持器200中保持基板w的部分的剖面图。为了对基板w的两面进行镀敷处理，需要向基板w的两面供给电力。因此，在图3的框架主体240a及框架主体240b分别设置有基板用电极320。基板用电极320分别与基板w的各个面电连接。基板用电极320与肩部电极220电连接。因此，向肩部电极220供给的电力经由基板用电极320向基板w供给。

基板保持器200包括外密封件300及内密封件310，所述外密封件300及内密封件310用于将基板用电极320所存在的空间密封而免受镀敷液的影响。外密封件300构成为在基板w的外侧密封框架主体240a与框架主体240b的之间的缝隙。外密封件300可以设置在框架主体240a上，也可以设置在框架主体240b上。内密封件310分别设置在框架主体240a与框架主体240b上。内密封件310在保持基板w的情况下与基板w接触。外密封件300与内密封件310能够在基板w的厚度方向上弹性变形。基板w通过内密封件310与基板w之间的接触压而被保持在框架主体240a与框架主体240b之间。再者，图3仅仅是示意图，应注意可能与实际构成不同。例如，基板保持器200可具有用于保持外密封件300与内密封件310的密封件保持器。

＜关于基板装卸装置＞

为了将基板w夹在框架主体240a与框架主体240b之间，需要将钩主体252钩挂在卡爪271上。若钩主体252钩挂在卡爪271上，则框架主体240a与框架主体240b相互分离的情况被限制，外密封件300及内密封件310在基板w的厚度方向上弹性变形，产生密封压力。为了将钩主体252钩挂在卡爪271上，需要使钩主体252暂时位于比卡爪271更靠背面侧(图2c的右方向)。因此，为了由基板保持器200保持基板w，需要将框架主体240a朝向框架主体240b推压，或者将框架主体240b朝向框架主体240a推压。

如上所述，在框架主体240a与框架主体240b之间存在外密封件300及内密封件310。因此，若推压框架主体240a和/或框架主体240b，则产生来自外密封件300及内密封件310的反作用力。一实施方式的基板装卸装置140构成为能够抵抗来自外密封件300及内密封件310的反作用力而推压框架主体240a和/或框架主体240b。基板装卸装置140还构成为，能够在推压框架主体240a和/或框架主体240b的状态下将钩主体252钩挂于卡爪271(使钩主体252枢转)。基板装卸装置140能够通过这些运作使基板保持器200保持基板w。以下，对基板装卸装置140的详细情况进行说明。

图4a与图4b是一实施方式的基板装卸装置140的示意图。图4a是基板装卸装置140的俯视图。图4b是基板装卸装置140的正面图。还在图4a中一起示出了基板搬运机器人120及运输机160。

基板装卸装置140包括保持器承受部400、保持器倾动部410、保持器搬运部420及按压部430。按压部430也可以称为“固定(fixing)部”或“基板装卸部”等。运输机160构成为可以接入保持器承受部400。基板w由基板搬运机器人120装载于基板装卸装置140，更具体而言装载于按压部430，且由基板搬运机器人120从基板装卸装置140、更具体而言从按压部430拆卸。

保持器承受部400包括保持器承受主体401及用于使保持器承受主体401移动的保持器承受直动机构402。保持器承受主体401从运输机160接收基板保持器200。之后，保持器承受主体401通过保持器承受直动机构402移动到保持器倾动部410的附近。

保持器倾动部410包括保持器倾动部臂411。如图5a所示，首先保持器倾动部臂411朝向正下方。如图5b所示，通过使保持器倾动部臂411倾动至水平，保持器倾动部臂411从保持器承受主体401接收基板保持器200。通过保持器倾动部臂411的倾动，基板保持器200倾动至水平(使纵向的基板保持器200变为横向)。保持器倾动部臂411可以具有用于支持基板保持器200并且防止基板保持器200的掉落的销500。销500可以是可容纳的。销500的具体构造、配置、个数等可以适宜决定。基板保持器200可具有与销500对应的销孔(未图示)。

保持器搬运部420包括保持器载体421、用于使保持器载体421上下移动的载体上下移动机构422、用于使载体上下移动机构422朝向按压部430移动的搬运部直动机构423。如图6a及图6b所示，载体保持器421从保持器倾动部臂411的下部接收基板保持器200，朝向按压部430搬运基板保持器200。

按压部430包括将基板保持器200水平放置的载物台431及按压单元432。载物台431构成为从保持器搬运部420接收基板保持器200。载物台431还构成为将基板保持器200交接给保持器搬运部420。按压单元432配置在载物台431的上方。按压单元432构成为能够上下移动。按压单元432能够朝向下方按压载物台431上的基板保持器200。

使用图7a～图7c说明保持器搬运部420及按压部430的操作。首先，通过载体上下移动机构422，将保持器载体421的高度调整为适合的高度，以便将基板保持器200交接到载物台431。之后，通过搬运部直动机构423将保持器载体421向按压部430的内部装载(图7a)。接着，通过载体上下移动机构422使保持器载体421下降(图7b)。通过保持器载体421下降，将基板保持器200放置在载物台431上。

接着，使按压单元432朝向载物台431上的基板保持器200下降(图7c)。通过由按压单元432按压基板保持器200，钩主体252及卡爪271被定位在能够将钩主体252钩挂于卡爪271或者解除钩主体252与卡爪271的钩挂的位置(关于钩主体252及卡爪271，参照图2a～图2c)。

应注意图示的基板装卸装置140的配置仅为例示。例如，若通过运输机160能够使基板保持器200水平，则不需要保持器倾动部410。例如，若运输机160能够将基板保持器200直接搬运到按压部430，则不需要按压部430以外的元素。基板装卸装置140的具体构成可以适宜决定。另外，当放置在载物台431上的基板保持器200被搬运给运输机160时，执行与利用图5a与图5b到图7a～图7c说明的顺序相反的顺序。

＜关于按压部的构成＞

利用图8a～图8c说明按压部430的详细情况。图8a是从上方观察按压部430的立体图。图8b是从上方观察按压部430的立体图。图8b的按压部430在稍高于光源890的位置被切割。图8c是从下方观察按压部430的立体图。图8c的按压部430在低于按压单元432且高于载物台431的位置被切割。

按压部430包括机架(housing)800。在图8a～图8c的例子中，机架800由金属条构成。载物台431安装在机架800上。载物台431与水平面实质上平行。在载物台431上设置有按压单元上下移动机构810。按压单元432通过按压单元上下移动机构810来上下移动。按压单元上下移动机构810例如可以具有气缸，例如也可以具有滚珠丝杠与马达的组合。在载物台431上还设置有直动引导件811及制动器812。制动器812也可以称为“线性夹持器”、“线性引导件夹持器”等。直动引导件811从载物台431向上方向延伸，引导按压单元432的上下移动。制动器812可使按压单元432在任意的部位静止。只要能够承受按压单元432等的重量，按压单元上下移动机构810、直动引导件811及制动器812的构成可为任意的构成。

在载物台431的大致中央设置有框状(窗框状)的载置部820。载置部820的具体形状可以由基板w以及基板保持器200的形状来确定。基板保持器200被放置在载置部820上。载置部820构成为与基板保持器200(具体而言，例如前框架200a)接触，但不与基板w接触。

载物台431可包括定位机构830及夹持器具831。定位机构830通过在水平方向上按压基板保持器200，将应放置在载置部820上或放置在载置部820上的基板保持器200二维地或一维地定位。定位机构830的具体配置、形状及其他特性由基板保持器200的形状、大小等决定。夹持器具831通过夹持位于下方的框架(在图9a～图9m的例子中为前框架200a)来固定位于下方的框架。

载物台431还包括框架推杆840。框架推杆840提升基板保持器200的框架中位于上方的框架(在图9a～图9m的例子中为后框架200b)。框架推杆840的具体配置、形状及其他特性由基板保持器200的形状、大小等决定。后面将描述框架推杆840的运作。

按压部430还具有用于在前框架200a与后框架200b之间夹持基板w的基板支持单元850。基板支持单元850可以包括下部基板支持件851、下部基板支持件上下移动机构852、上部基板支持件853及上部基板支持件上下移动机构854。

下部基板支持件851设置在载物台431上。下部基板支持件851是从下部支持基板w的构件。具体而言，下部基板支持件851配置在由载置部820划定的框的内部。下部基板支持件851通过位于下方的框架的开口(例如开口260a)与基板w接触。基板w的可接触区域是预先设定的区域，例如基板w中未形成布线的区域。因此，下部基板支持件851形成为仅与基板w的可接触区域接触。例如，在图8a～图8c的例子中，下部基板支持件851的形状是十字。下部基板支持件851构成为能够通过下部基板支持件上下移动机构852上下移动。优选为下部基板支持件上下移动机构852是空压式机构。但是，也可以使用空压式以外的下部基板支持件上下移动机构852。下部基板支持件上下移动机构852例如可以是马达。

上部基板支持件853配置在载物台431的上部。在图8a～图8c的例子中，上部基板支持件853安装在机架800。更具体而言，图8a～图8c的按压单元432具有按压单元开口432op，且上部基板支持件853构成为能够经由按压单元开口432op接入基板w。上部基板支持件853是从上部支持基板w的构件。上部基板支持件853与下部基板支持件851协作夹持基板w。进而，上部基板支持件853通过位于上方的框架的开口(例如开口260b)与基板w直接接触。因此，上部基板支持件853另外也形成为仅与基板w的可接触区域接触。再者，应注意基板w的可接触区域可根据基板的面而不同。因此，上部基板支持件853的形状可以与下部基板支持件851的形状不同。图8a～图8c的上部基板支持件853例如为倒u字状，并与基板w两点接触。上部基板支持件853构成为能够通过上部基板支持件上下移动机构854上下移动。优选为上部基板支持件上下移动机构854另外也为空压式机构。但是，也可以使用空压式以外的上部基板支持件上下移动机构854。

当位于上方的框架被提升时，基板支持单元850能够使基板w移动。以下，假定前框架200a位于下方，后框架200b位于上方的情况进行说明。具体而言，基板支持单元850使基板w在第一位置(参照图9c)与第二位置(参照图9j)之间移动，所述第一位置能够利用前框架200a及后框架200b夹持基板，所述第二位置是能够从基板装卸装置140拆卸基板w的位置。第二位置是比第一位置高的位置。第一位置典型地是基板w的下表面及前框架200a的上表面(与后框架200b相对的一侧的面)成为大致同一平面的位置。

按压单元432大致为板状构件。在按压单元432的下表面设置有按压机构870。按压机构870是为了压缩基板保持器200的外密封件300及内密封件310而按压基板保持器200的机构。更准确地说，按压机构870将后框架200b朝向载物台431的方向、即、下方向按压。按压机构870例如可以由可上下移动的气缸及活塞构成。按压机构870也可以包括马达等。利用按压机构870压缩外密封件300以及内密封件310的结果，能够将夹持器290的钩主体252钩挂在卡爪271上。为了均匀地压缩外密封件300及内密封件310，按压单元432可具有多个(在图8a～图8c中为16个)按压机构870。为了压缩外密封件300以及内密封件310，按压机构870优选为配置在这些密封件的大致正上方。在图示的例子中，基板w是矩形。因此，密封件另外也呈矩形状。因此，在图8a～图8c的例子中，按压机构870排列成矩形。按压机构870的具体个数、位置及大小以及按压机构870按压基板保持器200的框架的强度等可以根据基板保持器200的特性来决定。

在载物台431中还设置有夹持器开启器860。基板保持器200的夹持器290构成为“常闭”。夹持器开启器860通过按压夹持器290来打开夹持器290。更准确地说，夹持器开启器860按压杆254使钩主体252绕轴253的周围枢转(也参照图2a～图2c)。当夹持器290打开时，可将钩主体252钩挂在卡爪271上，并且可解除钩主体252与卡爪271的钩挂。夹持器开启器860的个数、配置及其他特性根据夹持器290的个数、大小等来决定。再者，图8a～图8c的夹持器开启器860由一个致动器操作两个夹持器290。

在按压单元432中设置有框架提升卡爪880。框架提升卡爪880构成为能够在与基板w平行的面内伸缩。框架提升卡爪880是为了钩挂后框架200b，提升该框架而设置。为了三点支持基板保持器200，优选为按压单元432具有三个或更多个框架提升卡爪880。图8c示出了六个框架提升卡爪880，两个框架提升卡爪880是一组。按压单元432可构成为能够通过除了卡爪之外的机构提起框架。卡爪以外的机构中，包含电磁铁及吸附元素作为例子。

基板装卸装置140可以进一步包括至少一组光源890及照相机891。光源890及照相机891在将基板w由基板搬运机器人120搬运至基板装卸装置140时使用。具体而言，光源890及照相机891用于调整基板w的位置和/或角度。光源890安装在载物台431上。具体而言，光源890设置在载置部820的外侧。光源890构成为能够通过光源用致动器893枢转(可旋转移动)。光源890的枢转的轴沿着铅直方向。通过枢转，光源890在光源待机位置及照射位置之间移动，所述光源待机位置是不妨碍基板w的装卸的位置，所述照射位置是光可照射到由基板搬运机器人120抓握的基板w的角部的位置。其中，光源890可以通过除枢转以外的其他机构、例如直动而移动。

照相机891安装在机架800或上部基板支持件上下移动机构854等上。在图8a～图8c的例子中，照相机891安装在机架800。照相机891构成为可通过照相机用致动器894水平移动。具体而言，照相机用致动器894在照相机待机位置与拍摄位置之间移动照相机891。照相机待机位置是不妨碍基板w的装卸的位置，是位于开口260b的内侧的位置，以便不干涉后框架200b的上升下降。拍摄位置是与所述照射位置相对的位置。进而，拍摄位置是可对被光源照射的基板w的角部进行拍摄的位置。照相机891可以通过除了水平移动之外的其他方法、例如枢转而移动。在后面将描述光源890及照相机891的具体运作。

按压部430还可以包括通电传感器892。通电传感器892是用于确认基板保持器200与基板w之间的通电的传感器。通电传感器892构成为能够与肩部电极220接触。通电传感器892可以由未图示的马达或空压机构等收纳。

再者，在图8a～图8c中，安装到载物台431的零件可以是独立于载物台431的零件(但是除了载置部820之外)。即，“载物台431包括零件a”这一说明可以换种说法为“按压部430包括零件a”。基板装卸装置140的具体的构成可以适宜决定。到目前为止，以具有钩部250的框架主体240a位于下方的情况为例进行了说明，但例如若钩部250安装在框架主体240b上，则夹持器开启器860可以设置在按压单元432上而不是设置在载物台431上。

＜关于按压部的运行＞

接着，使用图9a～图9m说明按压部430的运行。在图9a～图9m中，以用于解除由基板保持器200对基板w的保持的按压部430的运作为例进行说明。应注意图9a～图9m仅表示按压部430的运作的基本原理，图9a～图9m中表示的元素的尺寸、形状、配置等并不准确。图9a～图9m是按照时间序列顺序记载。在图9a中，对图示的所有的零件标注符号。另一方面，在图9b～图9m中，只对在该时间点运作的零件标注符号。关于图9a～图9m的说明，前框架200a视为可与框架主体240a相同，后框架200b视为可与框架主体240b相同。

在图9a～图9m中，基板w通过基板支持单元850在第一位置及第二位置之间移动。第一位置是能够在前框架200a及后框架200b之间夹持基板的位置(图9c～图9i)。第二位置是能够从基板装卸装置140拆卸基板w的位置(图9j、图9k)。第二位置比第一位置高。

图9a是解除基板保持器200对基板w的保持的运作的第一时间点(以下简称为“第n时间点”)的按压部430的示意图。在第一时间点，将基板保持器200放置于载置部820，并且按压单元432被提升。即，图9a相当于图7b。在第一时间点，可运作定位机构830(图9a～图9m中未图示)及夹持器具831。

图9b是第二时间点的按压部430的示意图。在第二时间点，由按压单元上下移动机构810(图9a～图9m中未图示)使按压单元432下降。按压单元432下降至按压机构870能够按压后框架200b的位置。在使按压单元432下降至适当位置后，制动器812(图9a～图9m中未图示)运作，而使按压单元432的位置被固定。

图9c是第三时间点的按压部430的示意图。在第三时间点，基板支持单元850运作。即，在第三时间点，下部基板支持件851通过下部基板支持件上下移动机构852而上升。进而，在第三时间点，上部基板支持件853通过上部基板支持件上下移动机构854而下降。结果，在第三时间点，基板w被下部基板支持件851及上部基板支持件853夹持。基板w在图9c所示的位置安装到基板保持器200上或者从基板保持器200卸载。即，用前框架200a及后框架200b夹持基板，或者前框架200a及后框架200b相互分离而解除基板的夹持。因此，图9c所示的基板w的位置为“第一位置”。下部基板支持件851的上升及上部基板支持件上下移动机构854的下降可以同时执行，也可以依次执行。

图9d是第四时间点的按压部430的示意图。在第四时间点，按压机构870运作，将后框架200b向下部按压。通过按压，外密封件300及内密封件310被压缩，后框架200b接近前框架200a。结果，夹持器开启器860能够打开夹持器290。由于按压单元432通过制动器812固定，因此按压机构870能够将后框架200b充分强力地按压。

图9e是第五时间点的按压部430的示意图。在第五时间点，夹持器开启器860运作，夹持器开启器860使钩主体252枢转。利用夹持器开启器860解除钩主体252与卡爪271的钩挂，打开夹持器290。再者，若通过固定夹具831固定前框架200a，则能够防止前框架200a被夹持器开启器860提升。

图9f是第六时间点的按压部430的示意图。在第六时间点，按压机构870的按压被解除。由于在第五时间点打开了夹持器290，因此当在第六时间点解除按压时，由于外密封件300及内密封件310的反作用力，后框架200b稍微上升。

图9g是第七时间点的按压部430的示意图。在第七时间点，后框架200b进一步由框架推杆840向上推动。框架推杆840在后框架200b与前框架200a之间产生足够大的间隙以插入框架提升卡爪880。

图9h是第八时间点的按压部430的示意图。在第八时间点，进行用于提升后框架200b的准备。即，在第八时间点，框架提升卡爪880朝向后框架200b与前框架200a的间隙伸长。

图9i是第九时间点的按压部430的示意图。在第九时间点，按压单元432由按压单元上下移动机构810(图9a～图9m中未图示)提升。框架提升卡爪880被钩挂在后框架200b上，因此后框架200b另外也与按压单元432一起被提升。再者，在第九时间点，制动器812被解除。更准确地说，在按压单元432提升之前，解除制动器812。也可以在按压单元432被提升至规定高度后，使制动器812再次运作。

图9j是第十时间点的按压部430的示意图。在第十时间点，基板w通过基板支持单元850浮起。下部基板支持件851及上部基板支持件853上升，由此基板w从前框架200a分离，从前框架200a浮起。基板w浮起，由此基板搬运机器人120容易抓握基板w。即，基板w的下表面与前框架200a分离，因此基板搬运机器人120能够支持并搬运基板的下表面。因此，图9j所示的基板w的位置为“第二位置”。

图9k是第十一时间点的按压部430的示意图。与之前的图不同，在图9k中示出了基板搬运机器人120。在十一时间点，基板搬运机器人120抓握基板w。为了简化图示，图9k的基板搬运机器人120抓握基板w的仅一边，但基板搬运机器人120理想的是在基板w的整个面上支持基板w。因此，理想的是下部基板支持件851及上部基板支持件853中的至少一个成为不干涉基板搬运机器人120的形状。

图9l是第十二时间点的按压部430的示意图。在第十二时间点，使上部基板支持件上下移动机构854上升。由此，解除了由基板支持单元850对基板的夹持。再者，由于基板w由基板搬运机器人120抓握，因此基板w不会从下部基板支持件851掉落。

图9m是第十三时间点的按压部430的示意图。在第十三时间点，基板搬运机器人120从按压部430搬运基板w。基板搬运机器人120可以稍微向上方移动，以使基板w与下部基板支持件851在搬运基板w时不相互摩擦，也可以使下部基板支持件上下移动机构852向下方移动。

通过以上所示的按压部430的运作，基板保持器200对基板w的保持被解除，基板w从基板装卸装置140被拆卸。为了在基板保持器200上保持基板w，只要执行具有以上所示的运作(以下称为“顺运作”)的相反顺序的运作、即图9m至图9a的顺序的运作(以下称为“逆运作”)即可。在逆运作中基板保持器200对基板w的保持完成后(即，图9b至图9a的任意时间点)，可以通过通电传感器892确认基板保持器200与基板w之间的通电。在无法确认通电的情况下，也可以通过顺运作将基板w从按压部430搬出。在无法确认通电的情况下，例如也可以在执行顺运作至图9j后，执行逆运作再次确认基板保持器200与基板w之间的通电。

在逆运作中，在基板支持单元850夹持基板w之前，即，在图9l至图9k之间的任意时间点，可执行使用光源890及照相机891的基板w的定位。使用图10a与图10b对该定位进行说明。图10a与图10b所示的时间点相当于图9l所示的时间点(第十二时间点)。在图10a与图10b中使用的基板的形状为矩形进行说明。

图10a是光源890及照相机891两者都处于待机位置时的按压部430的示意图。光源890位于载置部820的外侧，照相机891位于按压单元开口432op的内侧且于开口260b的内侧。此处，即使零件a与开口的高度不同，若从正上方或正下方观察且能够从开口观察零件a的全部(即，在使零件a上下移动的情况下零件a能够通过开口)，则设为“零件a位于开口的内侧”。位于待机位置的光源890及照相机891不妨碍按压部430对基板w的装卸。除了执行基板w的定位的情况以外，光源890及照相机891在待机位置待机。

图10b是当光源890处于照射位置并且照相机891处于拍摄位置时的按压部430的示意图。如上所述，光源890例如可枢转，照相机891例如可水平移动。拍摄位置在照射位置的实质上正上方。位于照射位置的光源890向由基板搬运机器人120抓握的基板w的角部照射光。位于拍摄位置的照相机891拍摄由基板搬运机器人120抓握的基板w的角部。通过光源890，照相机891可以获得足够的光量。

由于拍摄位置固定，因此可以根据由照相机891获得的图像来计算基板w的位置和/或角度。基板搬运机器人120基于所计算出的基板w的位置和/或角度来调整基板w的位置和/或角度。为了防止基板w及下部基板支持件851的相互摩擦，可以在位置调整时使基板搬运机器人120上升和/或可以使下部基板支持件851下降。一旦基板w的位置和/或角度的调整结束后，光源890及照相机891再次返回到待机位置。

图10a与图10b中示出了一组光源890及照相机891。因此，图10a与图10b中拍摄的基板w的角部的个数为一个。为了高精度地调整基板w的位置和/或角度，优选为拍摄多个角部。具体而言，优选为拍摄至少一组对角。因此，按压部430可包括多组光源890及照相机891。例如图8a～图8c的按压部430包括用于拍摄一组对角的两组光源890及照相机891。

若为了检测基板的角部的位置而获得充分的对比度，则按压部430可不包括光源890。另外，代替光源890及照相机891的组，可以利用激光传感器、线性传感器、接触传感器等传感器来计算基板w的位置和/或角度。另外，照相机891、基板w及光源890的高度方向上的位置关系没有特别限定，照相机891及光源890都可以位于基板w的上部。光源890的位置可以设置在规定的角度的位置处，而不是严格地设置在照相机891的正上方。为了检测基板w的位置和/或角度而参照的基板的部位不限于角部，例如也可以是预先设置在基板w上的基准标记。在本说明书中，将基板角部及基准标记等部位总称为“作为基板的位置和/或角度的检测基准的部位”。在本说明书中，将在基板支持单元850夹持基板之前计算基板w的位置和/或角度的机构总称为“基板位置检测部”。根据基板位置检测部的构成，基板也可以不是矩形。

＜关于与“半锁定”可对应的按压部＞

基板保持器可以包括具有“半锁定功能”的夹持器。所谓半锁定功能是指“在前框架200a及后框架200b分离的状态下保持前框架200a及后框架200b的功能”。基本上，半锁定功能是预先组合未保持基板的基板保持器的前框架200a与后框架200b的功能。在半锁定状态下，前框架200a与后框架200b的密封件(外密封件300、内密封件310)以及接点(基板用电极320)不与另一者接触。对基板保持器进行半锁定在零件的寿命、基板保持器的搬运的容易度、基板保持器的清洗的容易度等方面有利。

图11是具有半锁定功能的夹持器290的板的立体图。以下，将图11所示的板称为“板270sl”。再者，“sl”是“semi-lock”的首字母。图12是与板270sl成对的钩部的立体图。以下，将图12所示的钩部称为“钩部250sl”。图13是具有图11的板270sl与图12的钩部250sl的夹持器290的剖面图。

板270sl具有两个卡爪271。具体而言，板270sl具有锁定用卡爪271a与半锁定用卡爪271b。锁定用卡爪271a构成为，在钩主体252钩挂在锁定用卡爪271a上的情况下，基板保持器200能够保持基板w。半锁定用卡爪271b构成为，钩主体252钩挂在半锁定用卡爪271b上时的前框架200a与后框架200b之间的距离大于钩主体252钩挂在锁定用卡爪271a上时的前框架200a与后框架200b之间的距离。

钩部250sl包括在轴253的长度方向上伸长的钩主体252。随着钩主体252伸长，钩主体252由两根轴253支持。轴253分别配置在同一轴上。也可以使用伸长的一根轴253来代替两根轴253。

伸长的钩主体252有选择性地钩挂在锁定用卡爪271a及半锁定用卡爪271b。在钩主体252钩挂在锁定用卡爪271a上的情况下，夹持器290被锁定。在钩主体252被半锁定用卡爪271b钩挂的情况下，夹持器290被半锁定(也称为“基板保持器200被半锁定”)。在基板保持器200被半锁定的情况下，外密封件300及内密封件310为完全未压缩、稍微压缩的状态或者相互分离的状态。

以下通过作为例示而示出的顺序，基板保持器200被半锁定。

(a)在图9m中，在由基板搬运机器人120拆卸基板w后，利用按压单元上下移动机构810使按压单元432下降至能够将钩主体252钩挂在半锁定用卡爪271b上的位置。

(b)解除夹持器开启器860对钩主体252的枢转，将钩主体252钩挂在半锁用卡爪271b上。

图14示出了一实施方式的按压部430的示意图。在图14中，对于未标注符号的零件的符号，参照图9a。在优选的实施方式中，位于上方的框架被框架推杆840向上推动至如下位置：可将框架提升卡爪880插入框架之间，且可将钩主体252钩挂在半锁定用卡爪271b。即，框架推杆840提升后框架200b的高度与钩主体252能够钩挂在半锁定用卡爪271b上(后框架200b的)高度相同，以便能够在框架间插入框架提升卡爪880。在图9m中，在通过基板搬运机器人120拆卸基板w后，按压单元上下移动机构810在框架推杆840向上方向伸长的状态下使后框架200b下降，并将后框架200b载置于框架推杆840的突出部上。优选的按压部430能够通过比较简单的控制对基板保持器200进行半锁定。

＜关于基板保持器夹持基板的位置＞

一实施方式的下部基板支持件上下移动机构852及上部基板支持件上下移动机构854分别是空压机构(气缸)。基板支持单元850可以在夹持基板w的状态下在至少两个位置之间移动。

在一实施方式中，基板支持单元850夹持基板w的位置能够通过调整分别供给到下部基板支持件上下移动机构852与上部基板支持件上下移动机构854的压力来选择。在第一位置夹持基板w的情况下，供给到下部基板支持件上下移动机构852的压力低于供给到上部基板支持件上下移动机构854的压力。在第二位置夹持基板w的情况下，供给到下部基板支持件上下移动机构852的压力高于供给到上部基板支持件上下移动机构854的压力。优选为在使基板w在第一位置与第二位置之间上升或下降时，也通过调整供给到下部基板支持件上下移动机构852与上部基板支持件上下移动机构854的压力，来使下部基板支持件851与上部基板支持件853始终维持将基板w按压的状态。

下部基板支持件上下移动机构852及上部基板支持件上下移动机构854分别为空压机构，因此各自相互按压引起故障的可能性较低。通过以上的控制，即使不具有高价且复杂的高度测定机构(高度调整机构)，也能够在防止基板w从基板支持单元850脱落的同时，选择基板w被夹持的位置。

在目前为止所述的实施例中，基板保持器具有夹持器，该夹持器用于在产生了密封压力的状态下利用两个框架夹持基板，为了能够紧固及解除夹持器，按压单元具有朝向前框架200a的方向按压后框架200b的功能。但是，例如在基板保持器自身能够产生密封压力的情况下，基板装卸装置140也可以不具有按压后框架200b的功能。在这种情况下，基板装卸装置140只要具有如下功能即可：使后框架200b位于(1)夹持基板的位置及(2)从基板保持器取出基板的位置中的至少两个位置。在这种情况下，可将载物台431换种说法为第一基座，将按压单元换种说法为第二基座。在这种情况下，按压部430换种说法为“基板装卸部”或“固定部”。

再者，到目前为止，以含有具有四边形状的开口的框架的基板保持器为例进行了说明，但开口的例子不限于此。例如，在用于对四边形状的基板进行电解镀敷的基板保持器的情况下，有时仅沿着相对的一组边配置供电电极。在这种情况下，用于沿着基板的外周配置供电电极的基板保持器的部位可能仅沿着相对的一组边存在。因此，基板的不供电的一组边有时会露出来。在仅沿着相对的一组边存在基板保持器的部位的基板保持器的情况下，该部位之间的区域成为用于使基板露出的开口。

在本发明中，在将保持基板的基板保持器搬运至按压部(基板装卸部)430的时间点，下部基板支持件851位于比前框架200a低的位置，上部基板支持件853位于比后框架200b高的位置。因此，基板支持单元850不妨碍基板保持器的搬运。进而，下部基板支持件851通过开口260a，上部基板支持件853通过开口260b，在第一位置夹持基板。进而，基板支持单元850可以将基板移动到第二位置。第二位置是适合于用于将基板交接到基板装卸装置或者从基板装卸装置接收基板的位置。如上所述，下部基板支持件851需要通过开口260a，上部基板支持件853需要通过开口260b。因此，例如下部基板支持件851构成为小于开口260a，上部基板支持件853构成为小于开口260b。

＜关于纵型的按压部(基板装卸部)＞

到目前为止，基板装卸装置以将基板以水平姿势装卸于基板保持器的形态进行了说明。但是，本领域技术人员应该理解，本发明也可应用于除水平姿势以外的基板。图15表示将基板以垂直姿势进行对基板保持器的装卸的实施例。

第一框架200a-1相当于水平姿势的实施例的前框架200a，与基板的其中一面s1相对。第二框架200b-1相当于后框架200b，与基板的另一面s2相对。第一框架200a-1和/或第二框架200b-1可具有用于防止基板w掉落的构件。第一基座431-1相当于载物台431并且配置成与基板的其中一面s1相对。第二基座432-1相当于按压单元432并且被配置成与基板的另一面s2相对。第一基板支持件851-1相当于下部基板支持件851并且被配置成与基板的其中一面s1相对。第一基板支持件移动机构852-1相当于下部基板支持件上下移动机构852，以使第一基板支持件851-1以接近基板w的方式或远离基板w的方式移动。第二基板支持件853-1相当于上部基板支持件853并且被配置成与基板的另一面s2相对。第二基板支持件移动机构854-1相当于上部基板支持件上下移动机构854，以使第二基板支持件853-1以接近基板w的方式或离开基板w的方式移动。抵接部820-1相当于载置部820，设置在第一基座431-1上。抵接部820-1与第一框架200a-1抵接。卡爪880-1相当于框架提升卡爪880，被设置在第二基座432-1上。为了防止在解除夹持器290后第二框架200b-1掉落，卡爪880-1能够支持第二框架200b的下端部，进而使第二框架200b向远离基板的方向滑动。因此，优选为卡爪880-1构成为可沿图15的上下左右方向移动。第一基座431-1具有用于固定第一框架200a-1的固定夹具(未图示)等。图15所示的其它部位具有与水平姿势的实施例相同的功能。

在图15中，如“***-1”所示，附加了末尾编号的零件的名称成为图15以外的图中未附加末尾编号的零件的一般名称。因此，例如图15以外所示的“载物台431”可以称为“第一基座431”。

以上，对若干本发明的实施方式进行了说明，但所述发明的实施方式是为了使本发明的理解变得容易，并不限定本发明。本发明能够在不脱离其主旨的情况下进行变更、改良，并且在本发明中当然包含其等价物。另外，在能够解决所述课题的至少一部分的范围内、或在发挥效果的至少一部分的范围内，能够将权利要求及说明书中记载的各构成元素的任意组合或者省略。

到目前为止，以基板保持器200为两面保持器进行了说明。但是，基板保持器200不限于两面保持器，也可以是单面保持器。另外，如上所述，基板装卸装置140也可以不包括保持器承受部400、保持器倾动部410及保持器搬运部420。换句话说，基板装卸装置140有时仅包括按压部430。因此，只要不矛盾，按压部430则可视为与基板装卸装置140相同，按压部430也可以换种说法为基板装卸装置140。例如，“按压部430包括零件a”这样的记载可以换种说法为“基板装卸装置140包括零件a”。

作为一实施方式，本申请公开了一种装置，用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持，基板保持器包括用于夹持基板的第一框架及第二框架，第一框架及第二框架分别具有用于使基板露出的开口，装置包括用于在第一框架及第二框架之间夹持基板的基板支持单元，基板支持单元包括：下部基板支持件，自下部支持基板；以及上部基板支持件，自上部支持基板；下部基板支持件构成为通过在第一框架及第二框架中位于下方的框架的开口而与基板接触，上部基板支持件构成为通过在第一框架及第二框架中位于上方的框架的开口而与基板接触。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种装置，其中所述基板支持单元包括：下部基板支持件上下移动机构，用于使所述下部基板支持件上下移动；以及上部基板支持件上下移动机构，用于使所述上部基板支持件上下移动；所述基板支持单元构成为能够使基板在第一位置与第二位置之间移动，所述第一位置可利用所述第一框架与所述第二框架夹持基板，所述第二位置位于比所述第一位置高的位置，且是能够从所述装置拆卸基板的位置。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种装置，其中所述装置包括：第一基座，水平地放置所述基板保持器；以及第二基座，配置在所述第一基座上方，且构成为能够上下移动，所述第二基座位于第一框架及第二框架中位于上方的框架，以使得能够利用第一框架及第二框架夹持基板，所述第二基座构成为能够提升所述第一框架及所述第二框架中位于上方的框架。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种装置，其中所述第二基座构成为将放置在所述第一基座上的所述基板保持器朝向所述第一基座按压。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种装置，其中所述第二基座包括框架提升卡爪，所述框架提升卡爪用于提升所述第一框架及所述第二框架中位于上方的框架，所述第一基座包括框架推杆，所述框架推杆用于提升所述第一框架及所述第二框架中位于上方的框架，所述框架推杆使在所述第一框架与所述第二框架间产生用于插入所述框架提升卡爪的间隙。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种装置，其中所述框架推杆可将第一框架或第二框架提升到能够对所述基板保持器进行半锁定的位置为止。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种装置，其中所述基板保持器包括用于夹持所述第一框架与所述第二框架的夹持器，所述装置包括用于打开所述夹持器的夹持器开启器。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种装置，其中所述装置包括基板位置检测部，所述基板位置检测部用于在所述基板支持单元夹持基板之前计算基板的位置和/或角度。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种装置，其中所述基板位置检测部是至少一组光源及照相机，所述光源构成为能够在光源待机位置与照射位置之间移动，所述光源待机位置为不妨碍基板装卸的位置；所述照射位置能够向基板的角部照射光，所述照相机构成为能够在照相机待机位置与拍摄位置之间移动，所述照相机待机位置为不妨碍基板装卸的位置，且在所述第一框架及所述第二框架中位于上方的框架的所述开口的内侧，所述拍摄位置能够对基板的被所述光源照射且成为基板的位置和/或角度的检测基准的部位进行拍摄。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种装置，用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持，所述基板保持器包括：第一框架，与基板的第一面相对，用于夹持基板；以及第二框架，与基板的第二面相对，用于夹持基板，所述第一框架及所述第二框架分别具有用于使基板露出的开口，所述装置包括用于在所述第一框架及所述第二框架之间夹持基板的基板支持单元，所述基板支持单元包括：第一基板支持件，支持基板的第一面；以及第二基板支持件，支持基板的第二面；所述第一基板支持件构成为通过所述第一框架的所述开口而与基板接触，所述第二基板支持件构成为通过所述第二框架的所述开口而与基板接触。

这些装置发挥能够适合于两面保持器的效果作为一例。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种镀敷装置，包括：镀敷处理部，用于对保持在基板保持器上的基板进行镀敷；用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持的装置；运输机，在所述镀敷处理部与所述装置间搬运基板保持器；以及基板搬运机器人，从所述装置接收基板，且向所述装置交接基板。

进而，作为一实施方式，本申请公开了一种镀敷装置，包括：镀敷处理部，用于对保持在基板保持器上的基板进行镀敷；用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持、且包括基板位置检测部的装置；运输机，在所述镀敷处理部与所述装置间搬运基板保持器；以及基板搬运机器人，从所述装置接收基板，且向所述装置交接基板；所述基板搬运机器人能够根据由所述基板位置检测部计算出的基板的位置和/或角度，调整向所述装置交接基板时的基板的位置和/或角度。

根据这些公开内容，包括用于在基板保持器上保持基板和/或用于解除基板保持器对基板的保持的装置的镀敷装置的详细情况已经明确。