一种双转动组合式曲柄的制作方法

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种双转动组合式曲柄。

背景技术：

在半导体工艺设备中，以湿法设备为例，在晶圆装载区和晶圆卸载区之间需要进行晶圆托篮的交换。在交换晶圆托篮的过程中，需要利用晶圆导片机构将一个晶圆托篮内的晶圆片取出放置到另一晶圆托篮内。然而，目前的晶圆导片机构在交换晶圆时运动不稳定，容易对晶圆产生撞击、磨损、挤压等情况，从而使晶圆破损。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明提供了一种双转动组合式曲柄，用以解决上述背景技术中存在的问题。

一种双转动组合式曲柄，包括上部曲柄和下部曲柄，所述上部曲柄上设有凹槽和用以嵌装转动轴承的第一转动槽，凹槽的槽底上沿其长度方向设有止动槽；

所述下部曲柄的一端端面上设有止动孔、另一端端面上设有凸起部，凸起部上设有用以嵌装转动轴承的第二转动槽，下部曲柄扣合在凹槽内并使其凸起部抵接在上部曲柄的端面上，下部曲柄和上部曲柄通过穿过止动槽和止动孔的紧固件锁紧固定。

优选地，所述第一转动槽和第二转动槽的槽壁上均设有两道用以安装扣环的沟槽，转动轴承卡在上、下两个扣环之间。

优选地，所述扣环包括圆环状本体，所述圆环状本体的两端部分别延伸有限位部，两个限位部之间形成有间隙，所述限位部沿圆环状本体的径向向内设置，所述圆环状本体卡在沟槽内且其端部的限位部从沟槽内伸出。

优选地，所述限位部为梯形块状结构。

优选地，所述第一转动槽或第二转动槽上的两道沟槽之间的间距与转动轴承的厚度相匹配。

优选地，所述凹槽为矩形槽；

所述下部曲柄由矩形板段、连接在矩形板段端部的凸起部构成，凸起部的厚度大于矩形板段的厚度，所述下部曲柄的矩形板段扣合在凹槽内。

优选地，所述止动槽为腰形槽孔。

优选地，所述紧固件为止动螺栓。

优选地，所述上部曲柄和下部曲柄均采用不锈钢或阳极氧化铝合金制作而成。

本发明的有益效果是：

本发明结构简单、使用方便，上部曲柄和下部曲柄扣合固定为一个组合式曲柄，可以降低曲柄在转动时下部曲柄与上部曲柄之间产生的同步转动力矩对曲柄偏转造成的影响，使曲柄转动更加稳定，从而可以稳定、安全的运送晶圆片；且上部曲柄和下部曲柄的沟槽内均安装有扣环，可有效避免转动轴承转动时出现前、后滑动的潜在性风险。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的爆炸图。

图3是下部曲柄的结构示意图。

图4是扣环的结构示意图。

图5是本发明的使用状态图。

图中标号的含义为：

1为上部曲柄，2为下部曲柄，3为凹槽，4为第一转动槽，5为止动槽,6为转动轴承，7为止动孔，8为凸起部，9为第二转动槽，10为矩形板段,11为沟槽，12为扣环,13为圆环状本体，14为限位部。

具体实施方式

为了更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。

应当明确，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。

在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

本发明给出一种双转动组合式曲柄，包括上部曲柄1和下部曲柄2，上部曲柄1与下部曲柄2相扣合。

所述上部曲柄1的端面上设有凹槽3和用以嵌装转动轴承6的第一转动槽4，凹槽3的槽底上沿其长度方向设有止动槽5。

所述下部曲柄2的一端端面上设有止动孔7、另一端端面上设有凸起部8，凸起部8上设有用以嵌装转动轴承6的第二转动槽9，下部曲柄2扣合在凹槽3内并使其凸起部8抵接在上部曲柄1的端面上。下部曲柄2和上部曲柄1通过穿过止动槽5和止动孔7的紧固件(如止动螺栓)锁紧固定，从而可以防止转动轴承6在转动时产生轴向运动。

本实施例中，凹槽3为矩形槽，第一转动槽4为圆形槽，第一转动槽4设置于凹槽3的上方，凹槽3槽底的止动槽5为腰形槽。下部曲柄2由矩形板段10、连接在矩形板段10端部的凸起部8构成，凸起部8的厚度大于矩形板段10的厚度，将下部曲柄2设计为阶梯状结构，可以降低曲柄在转动时下部曲柄2与上部曲柄1之间产生的同步转动力矩对曲柄偏转造成的影响。所述下部曲柄的矩形板段10扣合在凹槽3内，下部曲柄的矩形板段10上的止动孔7为圆形孔。

所述第一转动槽4和第二转动槽9的槽壁上均设有两道用以安装扣环12的沟槽11，转动轴承6卡在上、下两个扣环12之间，第一转动槽4和第二转动槽9上的两道沟槽11之间的间距与转动轴承6的厚度相匹配，作为优选地，第一转动槽4和第二转动槽9上的两道沟槽11之间的间距均设为8.4mm。

所述扣环12包括圆环状本体13，所述圆环状本体13的两端部分别延伸出有限位部14，限位部14沿圆环状本体13的径向向内设置，两个限位部14之间形成有间隙，本实施例中，限位部14为梯形块状结构。所述圆环状本体13卡在沟槽11内且其端部的限位部14从沟槽11内伸出。第一转动槽4和第二转动槽9内的转动轴承6均卡在上、下两个扣环12之间，这样可避免转动轴承6转动时出现前、后滑动的潜在性风险。

优选地，所述上部曲柄1和下部曲柄2均采用不锈钢或阳极氧化铝合金制作而成，不锈钢具体可采用ss304不锈钢。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明保护的范围之内。