一种桨的调节装置的制作方法

本发明涉及进/出料技术领域，尤其涉及一种半导体或光伏材料加工领域的桨调节装置。

背景技术：

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，cvd技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中cvd即化学气相沉积，cvd技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有pecvd、lpcvd、apcvd等，除了cvd之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等，半导体或光伏材料的热扩散工艺是非常重要的工艺，它直接影响着半导体或光伏材料的加工质量，在半导体或光伏材料进炉加工时，由于炉内温度很高，通常都会采用支撑台(桨)支撑着半导体或光伏材料进行送料，而由于在支撑台(桨)加工、装配以及机台拼接的过程中都存在误差，可能会造成支撑台(桨)与炉管之间并不能完美的对准，出现撞机的情况，此外从提高产能的角度来讲，每次送炉的材料需要尽可能的多，这样才能够提高单次产能从而提高生产效率，但是炉体的内部空间是一定的，光伏材料本身也具有一定的体积大小，桨伸入炉体内越深，起始位置的偏差可能导致的桨末端的位移就越大，而且桨作为承托原材料的承重部件，原材料对其产生的压力也有可能引桨的高低位置变化，如果桨的初始位置不够准确，就有可能造成桨与炉管摩擦甚至碰撞。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种桨的调节装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的本发明所采用的技术方案是一种桨的调节装置，包括用于固定安装桨的桨固定装置、用于调节桨固定装置位置的位置调节装置以及用于调节桨固定装置角度的角度调节装置；

桨固定装置包括用于调节桨角度的弧形板、用于固定安装桨的压板组以及能够调节压板组内压应力的压紧件；

位置调节装置包括至少一个位置调节单元，一个所述位置调节单元用于调节桨至少一个方向上的位置；

角度调节装置包括至少一个角度调节单元，一个所述角度调节单元用于调节桨至少一个方向上的角度。

作为优选，桨固定装置能固定至少一根桨。

作为优选，位置调节装置包括第一位置调节单元和第二位置调节单元，第一位置调节单元和第二位置调节单元分别调节两个方向上的位置；

第一位置调节单元包括固定板和活动板，活动板能够在固定板内进行位置移动；

第二位置调节单元包括转接板和移动板，移动板能在转接板上移动。

作为优选，固定板与活动板之间、转接板与移动板之间设有调节装置，调节装置能调节固定板与活动板或是移动板与转接板之间的相对位置。

作为优选，调节装置包括可更换的连接轴和拉紧螺丝，连接轴内设有与拉紧螺丝螺纹配合连接的螺纹孔，可更换的连接轴和拉紧螺丝的设置有助于延长装置整体的使用寿命。

作为优选，角度调节装置包括第一角度调节单元和第二角度调节单元，第一角度调节单元和第二角度调节单元分别调节两个平面内的角度；

第一角度调节单元包括活动板和转接板，转接板与活动板转动配合连接，第二角度调节单元包括移动板和旋转板，旋转板与移动板转动配合连接。

作为优选，第一角度调节单元通过顶块装置进行角度调节；第二角度调节单元通过旋钮装置进行角度调节。

作为优选，顶块装置至少设有两组，两组顶块装置能够将活动板与转接板之间的相对位置进行牢牢固定，避免出现晃动。

作为优选，顶块装置包括固定块和角度调整螺钉，角度调节螺钉设于固定块内并与固定块螺纹配合连接。

作为优选，旋钮装置包括支撑座、螺纹连接块、旋钮螺纹杆和杆端关节轴承，支撑座上设有螺纹连接块，螺纹连接块内螺纹配合连接有旋钮螺纹杆，旋钮螺纹杆上通过滚珠轴承连接有杆端关节轴承。

综上所述，本发明的有益效果是：本发明设置有可更换的连接轴和拉紧螺丝，能够避免螺纹对固定板和活动板的磨损，在长时间使用导致螺纹失效后，只需进行简单的拉紧螺丝和连接轴更换，本装置又可以继续使用，大大延长了装置整体的使用寿命；金属薄片的设置增大了角度调整螺钉底部与转接板的接触面积，减小了角度调整螺钉底部对转接板的压强，避免了因压强过大导致的角度调整螺钉底部在转接板上留印；桨座通过弧形板可以做微量旋转运动，进行桨自身的角度微调；第一位置调节单元和第二位置调节单元能够调整桨整体的位置；第一角度调节单元和第二角度调节单元能够调节桨外端的角度；本装置通过调整桨的位置、外端角度、自身角度能够使桨与炉管之间进行完美的对接。

附图说明

图1是本装置的整体结构示意图；

图2是图1中“a”区域的局部放大示意图；

图3是图2中第一位置调节单元“b”方向的视图；

图4是图3中“c-c”方向的剖视图；

图5是图2中桨固定装置“d”方向的视图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的实施方式做进一步详细描述，应当指出的是，实施例只是对本发明的详细阐述，不应视为对本发明的限定，本发明的实施例中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均能够以任何方式组合。

本实施例提供一种桨的调节装置，用于调整桨的位置使其能够与高温炉管完美对接，包括位置调节装置、角度调节装置、桨固定装置，位置调节装置用于调整桨整体的位置，角度调节装置用于调节桨外端的角度，桨固定装置用于调节桨自身的转动角度。

位置调节装置包括至少一个位置调节单元，一个所述位置调节单元用于调节桨至少一个方向上的位置，本实施例中，位置调节装置包括第一位置调节单元和第二位置调节单元，第一位置调节单元和第二位置调节单元分别调节两个相互垂直方向上的位置，且第一位置调节单元和第二位置调节单元内设有调节装置。

角度调节装置包括至少一个角度调节单元，一个所述角度调节单元用于调节桨至少一个方向上的角度，在本实施例中，角度调节装置包括第一角度调节单元和第二角度调节单元，第一角度调节单元和第二角度调节单元分别调节两个互相垂直平面内的角度，第一角度调节单元通过顶块装置进行内部角度调节，第二角度调节单元通过旋钮装置进行内部角度调节。

参照附图2-附图4，第一位置调节单元包括固定板10和活动板11，固定板10内设有两条上下贯穿的第一凹槽13，第一凹槽13内设有连接固定板10与活动板11的第一滑轨组12，活动板11能够在固定板10内进行上下的位置移动，固定板10内设有连通两条第一凹槽13的第二凹槽14，活动板11延伸进入第二凹槽14内，且在上下部分皆留出调整空间15，第二凹槽14和调整空间15给活动板11提供了足够的上下调整距离，并对活动板11进行限位，防止11运动过度从固定板10内脱落，固定板10与活动板11之间设有调节装置，在本实施例中，调节装置设有两组，调节装置包括设置于固定板10内上下分布的两个第一通孔16和设置于活动板11内的第二通孔17，当活动板11安装于固定板10内时，两个第一通孔16与第二通孔17连通，调节装置还包括设于活动板11内与第二通孔17连通的两个第三通孔18，第三通孔18内安装有可更换的第一连接轴19，第一连接轴19内设有螺纹孔20，上下侧的第一通孔16内安装有第一拉紧螺丝21，上下侧的第一拉紧螺丝21分别与上下侧的第一连接轴19螺纹配合连接，通过旋转上侧的第一拉紧螺丝21可以带动活动板11沿第一滑轨组12向上或是向下调整，当调整到指定位置后，通过旋转下侧的第一拉紧螺丝21拧紧，将活动板11牢牢地固定于固定板10内，从而避免出现活动板11晃动的情况，在具体操作时，操作人员也可以根据情况先对下侧的第一拉紧螺丝21进行拧紧，再进行上侧的第一拉紧螺丝21的拧紧，也一样可以达到牢牢固定的效果。需要注意的是，只设置上侧的第一拉紧螺丝21或是只设置下侧的第一拉紧螺丝21时，即调节装置仅设有一组时，单组调节装置依然能对活动板11与固定板10之间的位置进行调整，可以完成一般的加工需求，但是单组调节装置无法对调整后的活动板11的位置进行锁定，在装置运行过程中由于机器自身的震动，活动板11会发生抖动，因此该技术方案一般不采用，或是应用于精度较低的加工场合。螺纹配合连接有着造价低、固定简单、固定稳固的优点，但是也有着螺纹磨损大、使用寿命不长的缺点，本发明将第一通孔16、第二通孔17设计为通孔，并设置可更换的第一连接轴19，并在其内设置螺纹孔20，能够避免螺纹对固定板10和活动板11的磨损，在螺纹失效后，只需对第一拉紧螺丝21和第一连接轴19进行简单的更换，本装置又可以继续使用，大大延长了装置整体的使用寿命。

在一些其他实施方式中，在一些只需要极小距离微调的情况下，活动板11内也可以不设置第二通孔17，即第一连接轴19直接设于活动板11嵌入第二凹槽14部分的上下表面上，第一拉紧螺钉21直接与第一连接轴19内的螺纹孔20进行螺纹配合连接。

参照附图2和附图3，第二位置调节单元包括活动板11上转动配合连接的转接板22，在本实施例中，转接板22呈“l”形，转接板22上设有移动板23，转接板22与移动板23通过第二滑轨组24进行滑动配合连接，转接板22远离活动板11一端上固设有挡板25，挡板25能对移动板23进行限位，挡板25内螺纹配合连接有两个第二拉紧螺丝26，移动板23内设有与第一连接轴19功能相同的第二连接轴，使用时，通过旋转其中的一个第二拉紧螺丝26能够增大挡板25与移动板23之间的距离，通过旋转另一个第二拉紧螺丝26能够减小挡板25与移动板23之间的距离，在一个第二拉紧螺丝26拉紧作用和另一个拉紧螺丝26顶紧作用的共同作用下，可以实现移动板23位置的牢牢固定，对于一些其他细节，本领域的技术人员可以通过前一段的内容轻松得到，这里不予赘述。在一些其他实施方式中，第一位置调节单元内的第一拉紧螺丝21可以像第二位置调节单元内的第二拉紧螺丝26一样，布置在同一侧。在一些其他实施方式中，第二位置调节单元内的第二拉紧螺丝26可以像第一位置调节单元内的第一拉紧螺丝21一样，布置在相反侧。

参照附图2和附图3，第一角度调节单元包括活动板11、转接板22以及顶块装置，顶块装置设有两组，皆设于活动板11上且位于转接板22旋转中心的两侧，顶块装置包括与活动板11固定连接的固定块27，固定块27内螺纹配合连接有角度调整螺钉28，转接板22上与角度调整螺钉28接触位置设有金属薄片50，金属薄片50的设置增大了角度调整螺钉28底部与转接板22的接触面积，减小了角度调整螺钉28底部对转接板22的压强，避免了因压强过大导致的角度调整螺钉28底部在转接板22上留印，角度调节时，只需旋转一侧的角度调整螺钉28，进行转接板22角度的调整，调整到位后，再旋转另一侧的角度调整螺钉28将转接板22的位置牢牢固定。

参照附图2，第二角度调节单元包括旋转板31和旋钮装置，旋转板31设于移动板23上并与移动板23转动配合连接，旋钮装置包括固设于移动板23上的支撑座29，支撑座29上设有螺纹连接块30，螺纹连接块30内螺纹配合连接有旋钮螺纹杆32，旋钮螺纹杆32上设有杆端关节轴承33，杆端关节轴承33的杆端连接于旋转板31，杆端关节轴承33与旋钮螺纹杆32之间通过滚珠轴承进行连接，使用时，通过旋转旋钮螺纹杆32带动杆端关节轴承33移动，杆端关节轴承33就能带动旋转板31在移动板23上进行旋转，完成角度调节。

参照附图1、附图2和附图5，桨固定装置包括弧形板37、压板组、压紧件，压板组包括至少两块压板，在本实施例中，压板组包括第一压板34和第二压板35，第一压板34固定连接于旋转板31，第二压板35位于第一压板34上侧位置，第一压板34和第二压板35之间通过压紧件进行连接，压紧件选用压紧螺丝36，第一压板34上放置有弧形板37，弧形板37整体呈长条状，且弧形板37一面为平面，另一面呈弧形，弧形板37的弧形面与第一压板34接触，第一压板34与第二压板35之间安装有桨座38，桨座38与弧形板37的平面一面接触，桨座38通过弧形板37可以做微量旋转运动，调节桨座38的角度时，如需将桨座38往左侧旋转少许，松开右侧压紧螺丝36，均匀锁紧左侧压紧螺丝36到指定旋转角度，然后再将右侧压紧螺丝36锁紧，就完成了桨座38自身的旋转调节，桨座38内设有一个固定孔，固定孔内能固定一根桨39，固定孔大小与桨39连接位置恰好配对，桨39能随着桨座38的运动而运动，在一些其他实施方式中，桨座38内设有两个以上的固定孔，桨座38内能固定两根以上的桨39，在一些其他实施方式中，桨固定装置包括至少两个弧形板37，弧形板37的平面与桨座38的平面贴合。

以上所述，仅为发明的具体实施方式，但发明的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在发明的保护范围之内，因此，发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。