一种裸芯片粘片装置的制作方法

文档序号:19436173发布日期:2019-12-17 21:07阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种裸芯片粘片装置,其特征在于,其包括吸嘴机构和粘片台,所述吸嘴机构连接垂直升降气缸,所述粘片台连接前后水平移动气缸,所述粘片台一侧设置有滑板,所述滑板连接左右水平移动气缸,所述滑板上安装有顶针机构,所述顶针机构包括底座,所述底座上安装固定安装有顶针套,所述顶针套内安装有可升降的顶针,所述顶针套中间开有与所述顶针配合的顶针孔,所述顶针孔周围开设有吸气通孔,所述顶针固定于顶针座上,所述顶针座与顶针套内壁形成腔体,所述顶针座上开有连通所述腔体的抽气孔,所述抽气孔上设置有抽真空气管。

2.根据权利要求1所述的一种裸芯片粘片装置,其特征在于,所述顶针上套装有复位弹簧,所述复位弹簧一端连接所述顶针座、另一端连接所述顶针套内壁。

3.根据权利要求2所述的一种裸芯片粘片装置,其特征在于,所述顶针座侧面开有限位槽,所述顶针套内侧壁上设置有与所述限位槽配合的限位销。

4.根据权利要求3所述的一种裸芯片粘片装置,其特征在于,所述吸嘴机构包括上滑块,所述上滑块上安装有吸嘴,所述上滑块连接所述垂直升降气缸的活塞杆,所述上滑块两侧设置有配合的导向轨道。

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