管路结构的制作方法

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种管路结构。

背景技术：

在半导体工艺中，于晶圆上加工制作各种电路元件结构，而使晶圆成为有特定电性功能之IC产品。对于计算机产品而言，晶圆的品质影响着整个计算机的性能。

随着集成电路芯片特征尺寸的缩小，芯片制造业对晶圆表面洁净度的要求越来越高，这使得湿法工艺，即湿法刻蚀和湿法清洗工艺在集成电路生产中扮演着越来越重要的角色，是影响芯片成品率的重要环节。在利用湿法工艺对晶圆进行处理时，需要使用到过滤单元对湿法工艺中的化学药液进行过滤洁净处理，随着时间的延续，需要对过滤单元进行更换，但是与过滤单元中连接的管路中通常会存有化学药液，这样在更换过滤单元时管路中存留的化学药液就会流出从而对工作人员造成伤害。

如何保证在更换过滤单元的过程中，不会有化学药液对工作人员造成伤害，这是目前急需解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型解决的问题是提供一种管路结构，保证在更换过滤单元时，不会有化学药液对工作人员造成伤害，提高管路结构的安全使用系数。

为解决上述问题，本实用新型提供一种管路结构，包括：输入单元，包括第一输入单元和第二输入单元；储存单元，与所述输入单元连接；第一通路，连接所述第一输入单元与所述储存单元；过滤单元，位于所述第一通路上；第二通路，连接所述第二输入单元与所述储存单元；调节单元，连接所述第一通路和所述第二通路，位于所述输入单元与所述过滤单元之间。

可选的，所述调节单元包括三通阀或引流管和控制阀组合。

可选的，所述调节单元为三通阀时，所述第二通路包括第二通路主管和第二通路支管，所述第二通路主管与所述第二通路支管一体成型。

可选的，所述三通阀的任意两个流道口位于所述第一输入单元与所述过滤单元之间，所述三通阀的第三流道口与所述第二通路支管连接。

可选的，所述调节单元采用引流管和控制阀组合时，所述引流管的两端部分别与所述第一通路和所述第二通路连接。

可选的，所述控制阀的数量至少为两个，所述引流管的两端部之间至少设置一个所述控制阀，所述引流管与所述第一通路连接的端部和所述第一输入单元之间至少设置一个所述控制阀。

可选的，所述过滤单元包括袋式过滤器、间歇式加压过滤机、膜过滤器、管式过滤机中的一种或者多种。

可选的，所述过滤单元与所述第一通路之间采用法兰连接、卡套连接、螺纹连接、金属面密封接头连接中的一种或者多种。

可选的，所述输入单元包括动力式泵、容积式泵、流动作用泵中的一种或者多种。

可选的，所述储存单元包括储液罐或贮水池或储液槽。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：

管路结构中包括有输入单元、储存单元、第一通路、过滤单元、第二通路以及调节单元；其中，输入单元包括第一输入单元和第二输入单元，该输入单元与储存单元连接，第一输入单元输入的液体经过第一通路上的过滤单元后，过滤后的液体输入到储存单元中，第二输入单元输入的液体经过第二通路输入到储存单元中，一方面可以实现不同种类的液体的混合，另一方面还能同时输入相同种类的液体，从而提高液体输入的效率；在第一通路和第二通路之间设置有调节单元，同时该调节单元位于输入单元和过滤单元之间，调节单元将第二输入单元输入的液体汇入到第一通路上，由于调节单元设在过滤单元前面，第二输入单元中的液体是先经过过滤单元，再沿着第一通路到达储存单元中的，这样利用第二输入单元中输入的液体对过滤单元以及过滤单元与储存单元之间的第一通路管道进行清洗，保证过滤单元以及过滤单元与储存单元之间的管道不会有第一输入单元输入的液体的残留，这样更换过滤单元时，就不会有比如化学药液对工作人员造成伤害，使得管路结构的安全使用性得到提高。

附图说明

图1为一实施例中的管路结构图；

图2为本实用新型的第一实施例中的管路结构图；

图3为本实用新型的第二实施例中的管路结构图。

具体实施方式

目前使用的湿法工艺的设备中通常采用的管路结构中包括输入单元、储存单元、第一通路、过滤单元以及第二通路，输入单元包括第一输入单元和第二输入单元，在湿法工艺设备中第一输入单元用于化学药液的输入，第二输入单元用于蒸馏水的输入；第一输入单元将化学药液通过第一通路经过过滤单元过滤后，进入到储存单元中；第二输入单元将蒸馏水通过第二通路，输入到储存单元中，具体参考图1。

参考图1，管路结构1，包括输入单元2，输入单元包括第一输入单元21、第二输入单元22；储存单元3，第一通路4、过滤单元5和第二通路6。

图中箭头表示液体的流动路径。

湿法工艺设备向第一输入单元21供应化学药液，第一输入单元21通过第一通路4将化学药液输入到储存单元3中，化学药液经过第一通路4上的过滤单元5后，过滤单元5对化学药液进行过滤，过滤后的化学药液沿着第一通路4流进储存单元3中；

湿法工艺设备向第二输入单元22供应蒸馏水，第二输入单元22通过第二通路6向储存单元3中输入蒸馏水。

发明人经过分析发现，这种管路结构在更换过滤单元5时，容易对工作人员造成伤害，危害性高；从管路结构中可以发现，过滤单元5内以及储存单元3与过滤单元5连接的部分第一通路4里面都会有残留的化学药液，那么在更换过滤单元5时，过滤单元5内以及过滤单元5与所述储存单元3之间的管路内的化学药液是排不干净的，这样在拆除过滤单元5进行更换时，残留的化学药液就会流出来，对工作人员造成极大危害，使得这种管路结构具有较低的安全使用系数。

发明人通过研究发现，在输入单元与过滤单元之间设置一个调节单元，这个调节单元连接第一通路和第二通路，利用调节单元将第二输入单元中的蒸馏水引入过滤单元后，再经过过滤单元与储存单元之间的管路之后，流进储存单元，重复多次将过滤单元内的化学药液以及储存单元与过滤单元连接的部分第一通路里面的化学药液都排到储存单元中，这样在拆卸过滤单元进行更换的时候，过滤单元内以及过滤单元与储存单元之间的管路内就不会有化学药液的残留，提高了更换过滤单元时操作的安全性，降低危险系数。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细地说明。

第一实施例

图2为本实用新型的第一实施例中的管路结构图。

首先参考图2，管路结构100，包括输入单元200、储存单元300、第一通路400、过滤单元500、第二通路600以及调节单元700。

图中箭头表示液体可流动的路径。

输入单元200包括第一输入单元210和第二输入单元220；

储存单元300，与输入单元200连接；

第一通路400，连接第一输入单元210与储存单元300；

过滤单元500，连接在第一通路400；

第二通路600，连接第二输入单元220与储存单元300；

调节单元700，连接第一通路400和第二通路600，在输入单元200与过滤单元500之间。

本实施例中，所述输入单元200为动力式泵；其他实施例中，所述输入单元200还可为容积式泵、流动作用泵中的一种或者多种。

本实施例中，所述储存单元300为贮水池；其他实施例中，所述储存单元300还可为储液罐或者储液槽等。

本实施例中，所述第一通路400和所述第二通路600为管路，用于液体的流通。

本实施例中，所述第二通路600包括第二通路主管610和第二通路支管620，所述第二通路主管610与所述第二通路支管620一体成型。

本实施例中，所述第一输入单元210与所述第一通路400之间采用vcr接头连接；其他实施例中，所述第一输入单元210与所述第一通路400之间还可采用卡接或者螺纹连接等。

本实施例中，所述第二输入单元220与所述第二通路600之间采用vcr接头连接；其他实施例中，所述第二输入单元220与所述第二通路600之间还可采用卡接或者螺纹连接等。

本实施例中，所述过滤单元500为袋式过滤器；其他实施例中，所述过滤单元500还可为间歇式加压过滤机、膜过滤器、管式过滤机中的一种或者多种。

本实施例中，所述过滤单元500与所述第一通路400之间采用螺纹连接；其他实施例中，所述过滤单元500和所述第一通路400之间还可采用法兰连接、卡套连接、金属面密封接头连接中的一种或者多种。

本实施例中，所述调节单元700为三通阀；其他实施例中，所述调节单元700还可为引流管和控制阀的组合。

本实施例中，所述调节单元700包括三个流道口，第一流道口710、第二流道口720以及第三流道口730，其中任意两个流道口连接在所述第一通路400上，比如第一流道口710和第二流道口720；所述第一流道口710和所述第二流道口720位于所述第一输入单元210与所述过滤单元500之间；所述第三流道口730与所述第二通路支管620连接。

本实施例中，所述第一流道口710与所述第一通路400之间采用螺纹连接；其他实施例中，所述第一流道口710与所述第一通路400之间采用卡接或者密封连接。

本实施例中，所述第二流道口720与所述第一通路400之间采用螺纹连接；其他实施例中，所述第二流道口720与所述第一通路400之间采用卡接或者密封连接。

本实施例中，所述第三流道口730与所述第二通路支管620之间采用螺纹连接；其他实施例中，所述第三流道口730与所述第二通路支管620之间采用卡接。

本实施例中，所述调节单元700为手动的三通阀；其他实施例中，所述调节单元700还可为自动控制的三通阀或者自动控制的三通阀和手动的三通阀的组合。

本实施例中，在需要更换所述过滤单元500时，此时关闭所述第一流道口710和第一输入单元210；开启所述第二流道口720以及所述第三流道口730，此时所述第二输入单元220输入的蒸馏水一部分沿着所述第二通路主管610进入到储存单元300中，一部分沿着所述第二通路支管620进入到所述第三流道口730和所述第二流道口720后，沿着所述第一通路400进入到所述过滤单元500后，再流进所述储存单元300中，利用蒸馏水对所述过滤单元500以及所述过滤单元500和所述储存单元300之间的部分所述第一通路400进行多次清洁之后，这样就可以将所述过滤单元500中残留的化学药液排到所述储存单元300中，同时所述过滤单元500与所述储存单元300之间的部分所述第一通路400内的化学药液也被清理干净，更换所述过滤单元500的时候，保持所述第一流道口710的关闭，直接拆除所述过滤单元500后更换就可以，由于此时不存在化学药液残留，就不会对工作人员造成伤害，提高了管路结构的安全使用系数。

第二实施例

本实施例与第一实施例的差别仅仅在于调节单元的不同和第二通路的结构不同。

本实施例中，所述调节单元采用引流管和控制阀的组合。

本实施例中，所述第二通路没有支管。

参考图3，管路结构100，包括输入单元200、储存单元300、第一通路400、过滤单元500、第二通路600以及调节单元700。

图中箭头表示液体可流动的路径。

本实施例中，所述调节单元700包括引流管740和控制阀750。

本实施例中，所述控制阀750的数量为两个；其他实施例中，所述控制阀750的数量还可为多个。

本实施例中，所述引流管740的两端部分别连接在所述第一通路400上和所述第二通路600上，在所述引流管740的两端部之间设置一个控制阀750，控制所述引流管740内液体的流动。

本实施例中，在所述第一通路400上还设有一个控制阀750，所述控制阀750位于所述第一输入单元210和所述引流管740与所述第一通路400连接的端部之间。

本实施例中，在所述第一通路400和所述第二通路600之间设置所述引流管740连接，利用所述引流管740将所述第二通路600中蒸馏水引流到所述第一通路400中；同时由于所述控制阀750的存在，当需要更换过滤单元时，打开所述引流管740上的所述控制阀750，关闭所述第一通路400上的所述控制阀750，此时从所述第二输入单元220出来的蒸馏水经过所述引流管740、所述过滤单元500后，沿着所述过滤单元500与所述储存单元300之间的所述第一通路400流到所述储存单元300中，经过多次的清洗，此时所述过滤单元500内的化学药液以及所述过滤单元500与所述储存单元300之间部分所述第一通路400残留的化学药液都被清洗干净，更换所述过滤单元500时，不会有残留的化学药液，提高了管路结构的安全使用系数。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。