一种机台手臂前端部件的制作方法

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其是一种机台手臂前端部件。

背景技术：

机台的手臂进入缓冲区送取晶圆时，由于机台力臂过长且刚性不强所以会产生抖动，从而手臂进出缓冲区时也会被带动而上下抖动，因此，会碰到晶圆的晶面和晶背，使晶圆刮伤受损。

现有技术中，机台手臂前端部件的高度为4mm，固定螺丝锁紧状态下与前端高度差为0.5mm的机台手臂，进入缓冲区会被带动而上下抖动，会出现刮伤晶圆情况。

为解决上述问题，需要对现有机台手臂前端部件进行改进，在不对机台造成结构性影响的前提下，确保机台手臂前端进出缓冲区时不存在碰到晶圆的风险。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于对现有机台手臂前端部件进行改进，在不对机台造成结构性影响的前提下，确保机台手臂前端进出缓冲区时不存在刮碰晶圆的风险。

基于上述目的，本实用新型提供一种机台手臂前端部件，包括固定装置和保护装置，保护装置通过固定装置固定在机台手臂前端，固定后的保护装置的上表面与固定装置的上表面齐平。

进一步地，保护装置端部表面为斜阶梯形状，与机台手臂前端端部表面齐平。

进一步地，保护装置的高度是3.5mm。

进一步地，保护装置中间有螺旋状槽。

进一步地，固定装置是固定螺丝。

进一步地，固定螺丝与所述保护装置中间的螺旋状槽匹配。

进一步地，固定螺丝锁紧状态高度与保护装置齐平。

进一步地，前端部件安置在机台手臂前端上。

本实用新型的另一方面，提供了一种机台手臂，包括上述的机台手臂前端部件。

进一步地，机台手臂末端与机台相连。

本实用新型具有以下有益技术效果：本实用新型提供的机台手臂前端部件，以及具有该前端部件的机台手臂，使得机台手臂前端高度减少0.5mm使之与固定螺丝锁紧状态时的高度齐平，增加了机台手臂进出缓冲区时前端与晶圆的距离，从而防止刮伤晶圆。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施例。

图1为现有技术中手臂前端部件的结构图；

图2为根据本实用新型的实施例提供的手臂前端部件的结构图。

其中：1-固定装置；2-保护装置；3-手臂前端。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型实施例进一步详细说明。

本实用新型的目的在于对现有机台手臂前端部件进行改进，在不对机台造成结构性影响的前提下，确保机台手臂前端进出缓冲区时不存在刮碰晶圆的风险。图2示出的是本实用新型一实施例提供的机台手臂前端部件的结构图。

基于上述目的，本实用新型提供一种机台手臂前端部件，包括固定装置1和保护装置2，保护装置2通过固定装置——在本实施例中为螺栓1——固定在手臂前端3，固定后的保护装置2的上表面与固定装置1的上表面齐平。可以理解的是，固定装置也可以为其他能够实现紧固功能的部件，包括但不限于螺栓、螺钉、膨胀销。

保护装置2端部表面为斜阶梯形状，与手臂前端3端部表面齐平。

在本实施例中，保护装置2的高度是3.5mm。可以理解的是，保护装置2的高度可以根据实际需求进行调整。

保护装置2中间有螺旋状槽，螺栓1穿过该螺旋状槽与保护装置2实现固定连接。连接后，在紧固状态下，该螺栓1的顶部表面与保护装置2的上表面齐平。

在一个实施例中，还提供了一种机台手臂，其中机台手臂的末端与机台连接，与末端相对的另一端安装有上述机台手臂前端部件。

以上是本实用新型公开的示例性实施例，但是应当注意，在不背离权利要求限定的本实用新型实施例公开的范围的前提下，可以进行多种改变和修改。尽管本实用新型实施例公开的元素可以以个体形式描述或要求，但除非明确限制为单数，也可以理解为多个。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本实用新型实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型实施例的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上所述的本实用新型实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本实用新型实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型实施例的保护范围之内。

技术特征：

1.一种机台手臂前端部件，其特征在于，包括固定装置和保护装置，所述保护装置通过所述固定装置固定在机台手臂前端，固定后的所述保护装置的上表面与所述固定装置的上表面齐平。

2.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件，其特征在于，所述保护装置端部表面为斜阶梯形状，与所述机台手臂前端端部表面齐平。

3.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件，其特征在于，所述保护装置的高度是3.5mm。

4.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件，其特征在于，所述保护装置中间有螺旋状槽。

5.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件，其特征在于，所述固定装置是固定螺丝。

6.根据权利要求5所述的一种机台手臂前端部件，其特征在于，所述固定螺丝与所述保护装置中间的螺旋状槽匹配。

7.根据权利要求5所述的一种机台手臂前端部件，其特征在于，所述固定螺丝锁紧状态高度与所述保护装置齐平。

8.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件，其特征在于，所述前端部件安置在手臂前端上。

9.一种机台手臂，其特征在于，包括根据权利要求1-7任意一项所述的机台手臂前端部件。

10.根据权利要求9所述的一种机台手臂，其特征在于，所述机台手臂的末端与机台相连。

技术总结
本实用新型公开了一种机台手臂前端部件，包括固定装置和保护装置，保护装置通过固定装置固定在机台手臂前端，固定后的保护装置的上表面与固定装置的上表面齐平。本实用新型还公开了一种机台手臂，包括上述的手臂前端部件。本实用新型提供的技术方案，使得机台手臂前端高度减少0.5mm使之与固定螺丝锁紧状态时的高度齐平，增加了机台手臂进出缓冲区时前端与晶圆的距离，从而防止刮伤晶圆。

技术研发人员：谭龙滨;吴丽华;陶言龙
受保护的技术使用者：和舰芯片制造(苏州)股份有限公司
技术研发日：2019.08.19
技术公布日：2020.08.28