一种脚架及半导体晶圆传送机的制作方法

本实用新型涉及半导体晶圆传送机技术领域，尤其涉及一种脚架及半导体晶圆传送机。

背景技术：

脚架一般安装于设备的底座上，便于安装、固定、运输设备，现有的半导体晶圆传送机的机台上就设置有脚架。半导体晶圆传送机在安装时，为防止机台运行中产生振动、抖动，半导体晶圆传送机机台的脚架上通常会预留有孔位，将实现脚架与工作位置地面的连接。

随着客户对半导体晶圆传送机分拣晶圆种类的增加，需要增加机台承载台的数量，导致设备有大型化的需求；设备大型化后，半导体晶圆传送机的尺寸和重量增加，在发货时设备厂商使用叉车将机台搬运至包装木托盘上，当机台运至客户端，客户再移机至无尘车间进行安装。但是，由于叉车不可以进入无尘车间，同时液压车难以满足设备的安装搬运需求，造成机台搬运过程困难；同时在使用液压车转运过程中，不便于操作控制方向，有潜在的碰撞风险；另外搬运过程中需要大量的人力。

所以，亟需一种脚架以解决上述问题。

技术实现要素：

基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种脚架及半导体晶圆传送机，便于安装、转运，节约了大量的物力和人力。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种脚架，设置于设备的底座上，包括：

固定脚架，包括垂直设置的第一筋板和第二筋板，所述第一筋板与所述设备的底座连接，所述第二筋板上设置有固定孔，以将所述设备固定于固定位置；

脚轮，可拆卸连接于所述第二筋板的所述固定孔内，以移动所述设备的位置。

作为一种脚架的优选方案，还包括连接支架，所述脚轮与所述连接支架连接，所述连接支架上设置有与所述固定孔对应的安装孔，所述连接支架与所述第二筋板可拆卸连接。

作为一种脚架的优选方案，所述连接支架设置有安装平台，所述安装孔设置于所述安装平台上。

作为一种脚架的优选方案，所述第二筋板上设置有安装槽，所述连接支架置于所述安装槽内，所述安装平台与所述第二筋板的上表面抵接，且所述安装孔正对所述固定孔。

作为一种脚架的优选方案，所述固定孔为螺纹孔，所述连接支架还包括紧固螺钉，所述紧固螺钉穿设于所述安装孔内，并与所述固定孔螺纹连接。

作为一种脚架的优选方案，所述固定脚架上可拆卸设置有两个所述脚轮。

作为一种脚架的优选方案，所述第一筋板和所述第二筋板围成的内侧设置有加强筋。

作为一种脚架的优选方案，所述固定脚架可拆卸连接于所述设备。

作为一种脚架的优选方案，所述脚轮为万向脚轮。

一种半导体晶圆传送机，包括以上任一方案所述的脚架。

本实用新型的有益效果为：通过在固定脚架的第二筋板上设置可拆卸连接的脚轮，能无需借助其他转运措施的情况下更加轻松、省力、便捷地安装和转运设备，同时更加节省物力以及人力；具体地，脚轮可拆卸连接于固定孔内，实现固定孔的一孔多用，无需额外加工其他孔位用于脚轮的安装，减少了加工步骤，提高了脚架的经济性；总体上该脚架既能在设备正常运行存在振动、抖动时起到固定作用，又能在设备需要转运时起到方便移动位置的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型具体实施方式提供的脚架的示意图。

图中：

1-固定脚架；11-第一筋板；12-第二筋板；13-加强筋；

2-脚轮；

3-连接支架；31-安装孔；32-安装平台。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实施方式提供一种用于半导体晶圆传送机的脚架，该装置设置于设备的底座上，包括固定脚架1和脚轮2，其中固定脚架1包括垂直设置的第一筋板11和第二筋板12，第一筋板11与设备的底座连接，第二筋板12上设置有固定孔，以将设备固定于固定位置；脚轮2可拆卸连接于第二筋板12的固定孔内，以移动设备的位置。

通过在固定脚架1的第二筋板12上设置可拆卸连接的脚轮2，能无需借助其他转运措施的情况下更加轻松、省力、便捷地安装和转运设备，同时更加节省物力以及人力；具体地，脚轮2可拆卸连接于固定孔内，实现固定孔的一孔多用，无需额外加工其他孔位用于脚轮2的安装，减少了加工步骤，提高了脚架的经济性；总体上该脚架既能在设备正常运行存在振动、抖动时起到固定作用，又能在设备需要转运时起到方便移动位置的作用。

进一步地，脚架还包括连接支架3，连接支架3的一端与脚轮2连接，另一端与第二筋板12可拆卸连接，在需要安装或拆卸脚轮2时，可直接安装或拆卸连接支架3，更加便于操作。

具体地，连接支架3上设置有安装平台32，安装平台32上设置有与固定孔对应的安装孔31；第二筋板12上设置有安装槽，安装槽的一端设置有开口，连接支架3能通过安装槽的开口进入安装槽内，进入安装槽内的连接支架3的安装平台32与第二筋板12的上表面抵接，且安装孔31正对固定孔。

进一步具体地，固定孔为螺纹孔，连接支架3还包括紧固螺钉，将紧固螺钉穿设于安装孔31内，并与固定孔螺纹连接就能实现连接支架3与脚轮2的安装，拆卸时则只需要将紧固螺钉与固定孔旋拧脱离即可，操作简单，拆卸方便。

于本实施例中，固定脚架1上可拆卸设置有两个脚轮2，能使设备在转运时更加平稳可靠。同时，为加强第一筋板11和第二筋板12之间的强度，第一筋板11和第二筋板12围成的内侧设置有加强筋13。具体地，一个固定脚架1上设置有三个加强筋13，加强筋13和脚轮2依次间隔设置。于其他实施例中，若设备重量较大，可适当增加脚轮2和加强筋13的个数，以保证安全的转运设备。

优选地，固定脚架1可拆卸连接于设备，便于对固定脚架1的检修及更换，同时还能根据设备的实际情况更换不同脚架。另外，为便于转运期间对设备方向的控制，脚轮2设置为万向脚轮，能通过及时控制方向而有效地避免设备在通过脚轮2转运过程中发生碰撞。

本实施方式还提供一种半导体晶圆传送机，包括如上任一方案所述的脚架。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。