致动器的制作方法

本实用新型是有关于一种致动器，特别是指一种通过调节部设计使致动器整体组成结构具一致性平整度。

背景技术：

压电泵是一种新型的流体驱动器，其无需附加驱动电机，仅通过电陶瓷的逆压电效应便能使压电振子产生变形，再依据前述变形产生泵腔的容积变化以实现流体输出，或者通过压电振子产生波动来传输流体，因此压电泵已逐渐取代传统泵而广泛地应用于电子、生医、航太、汽车以及石化等产业。

一般来说，压电泵是由压电单元以及泵体所组成，其中当通电至压电单元时，压电单元会在电场作用下径向压缩，并于其内部产生拉应力而弯曲变形。当压电单元正向弯曲时，泵体的腔室(以下称泵腔)的容积便会增大，使得泵腔内的压力减小，以令流体自入口流入泵腔。另一方面，当压电单元向反向弯曲时，泵腔的容积减小，使得泵腔内的压力增大，以令泵腔内的流体被挤压而自出口排出。目前，用来供电至压电单元的信号传导层通常为立体结构，且外加于泵体外部，整体体积较大且较容易受损，当使用正负电极分开焊接制程，对于焊点可靠度不一致性，常影响压电泵质量及效能表现，另，位于泵体外部的焊点突出物，易与外物接触，导致泵体功能异常及异音发生。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的是在于克服现有技术的缺陷，而提出一种致动器，主要是于承载部、压电单元与传导单元之间设置调节部，通过泵体内部平面式电性连接，使致动器整体外观结构具高度平整性，不仅克服以往焊接制程可靠度降低的问题，更通过内部平面式电性连接技术，达到致动器外观表面平整化及体积微型化的目的。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。

本实用新型的一种致动器，包括致动部、压电单元、传导单元及调节部。致动部具有第一致动区、第二致动区及位于第一致动区及第二致动区之间的至少一个连结段。压电单元具有第一信号区以及第二信号区，第一信号区以及第二信号区设置于同一平面之间，且第一信号区及第二信号区之间设置隔离部，压电单元设置于致动部的第一致动区的相对应位置处。传导单元包括第一电极及第二电极，压电单元的第一信号区电性链接于传导单元的第一电极，压电单元的第二信号区电性链接于传导单元的第二电极。调节部、压电单元以及传导单元均位于致动部的同一侧方向表面。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

在本实用新型的实施例中，上述的致动器更包括承载部，该承载部与压电单元位于同一平面，且承载部及压电单元均位于致动部的同一侧方向，承载部设置于致动部的第二致动区的相对应位置处。

在本实用新型的第一实施例中，上述的传导单元更包括绝缘层、传导部及基材，该传导单元是由绝缘层、传导部及基材堆叠组成。

在本实用新型的第一实施例中，上述的调节部具导电特性。

在本实用新型的第一实施例中，上述的调节部是用于控制致动器整体组成结构平整度。

在本实用新型的第一实施例中，上述的基材通过调节部控制，使基材具有第一平整表面。

在本实用新型的第一实施例中，上述的压电单元、传导单元、调节部及承载部均位于致动部同一侧方向。

在本实用新型的第一实施例中，上述的第一电极及第二电极位于同一平面。

在本实用新型的第二、第四实施例中，上述的致动器更包括穿孔片，穿孔片配置于致动部的第一致动区相对应位置处。

在本实用新型的第二、第四实施例中，上述的压电单元包括第一通道，穿孔片是贯穿于第一通道。

在本实用新型的第二、第四实施例中，上述的传导单元包括对应于穿孔片的第二通道，穿孔片是贯穿于第二通道后固定至致动部的第一致动区。

基于上述技术方案，本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。根据本实用新型所提出的致动器，可达到相当的技术进步性及实用性，并具有产业上的广泛利用价值，其至少具有以下优点：本实用新型的致动器将压电单元、传导单元及调节部统一配置于致动部同一侧方向，降低致动器整体结构高度。配合调节部控制致动器各组成元件结构平整度，进而使基材具有平整表面，提高及稳定致动器的工作效能。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本实用新型的第一实施例的一种致动器的示意图。

图2是图1的致动器的分解示意图。

图3是图1的致动器的另一视角分解示意图。

图4是图1的致动器的a-a线剖面示意图。

图5是图4的一个局部的放大示意图。

图6是依照本实用新型的第二实施例的一种致动器的分解示意图。

图7是图6的另一视角的分解示意图。

图8是图6的致动器的剖面示意图。

图9是依照本实用新型的第三实施例的一种致动器的分解示意图。

图10是图9的另一视角的分解示意图。

图11是图9的致动器的剖面示意图。

图12是依照本实用新型的第四实施例的一种致动器的剖面示意图。

【符号说明】

100、100a、100b、100c：致动器140：传导单元

110：致动部141：第一电极

112：第一致动区141a：第一传导区

114：第二致动区142：第二通道

116：连结段143：第二电极

120：承载部143b：第二传导区

130：压电单元144：绝缘层

131：第一通道145：传导部

132：第一面146：基材

133：隔离部146a：平整表面

134：第一信号区150：调节部

136：第二面160：穿孔片

138：第二信号区

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的致动器，其具体实施方式、结构、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。

有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中将可清楚呈现。通过具体实施方式的说明,当可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效更加深入且具体的了解，然而所附图式仅是提供参考与说明之用，并非用来对本实用新型加以限制。

图1是依照本实用新型的第一实施例的一种致动器的示意图。图2是图1的致动器的分解示意图。图3是图1的致动器的另一视角分解示意图。图4是图1的致动器的a-a线剖面示意图。图5是图4的一个局部的放大示意图。请参阅图1至图5，本实施例的致动器100包括致动部110、压电单元130、承载部120、调节部150及传导单元140。下面对致动器100进行详细地说明。

请参阅图2至图4，在本实施例中，压电单元130设置于致动部110的第一致动区112的相对应位置处，压电单元130具有互相对应的第一面132与第二面136(请参阅图3)，并同时将第一信号区134以及第二信号区138均设置于第二面136，亦即第一信号区134以及第二信号区138均位于第二面136的同一平面之间，该第一信号区134及第二信号区138之间通过隔离部133进行电性隔离，其中第二信号区138的传导区域则延伸至第一面132(请参阅图2)，第一信号区134及第二信号区138所形成的形状不以此实施例为限制。

请参阅图2及图3，在本实施例中，传导单元140包括第一电极141及第二电极143，其中第一电极141及第二电极143均位于同一平面且彼此电性绝缘，压电单元130的第一信号区134电性链接于传导单元140的第一电极141，压电单元130的第二信号区138电性链接于传导单元140的第二电极143。

请参阅图2及图3，在本实施例中，致动器100包括承载部120，承载部120与压电单元130位于同一平面，其中承载部120、压电单元130及传导单元140均位于致动部110的同一侧方向，承载部120设置于致动部110的第二致动区114的相对应位置表面。

请参阅图4，在本实施例中，致动器100包括调节部150，调节部150、压电单元130以及传导单元140均位于致动部110同一侧方向上，其中调节部150是选择具导电特性的材质，例如：导电体、胶体、粉粒、弹性体、异方性导电材质等材料所组成，通过控制调节部150厚度，进而使致动器100整体结构具优异平整度。调节部150所呈现的外观形状是配合压电单元130、承载部120以及传导单元140所构成的空间设置，调节部150的外观形状不以此实施例为限制。

请参阅图4，在本实施例中，传导单元140更包括绝缘层144、传导部145及基材146，其中传导部145包括第一电极141及第二电极143，本实施例的第一电极141及第二电极143均位于同一平面，但不以此为限，通过调节部150的厚度调整，使传导单元140整体厚度及平整性一致。绝缘层144厚度小于或等于(≦)1公厘(mm)。基材146通过调节部150厚度调整，使基材146具有平整表面146a。

请参阅图5，为图4的圆形圈选处的局部放大示意图。在本实施例中，传导单元140由绝缘层144、传导部145及基材146组成。通过调节部150对致动器100各元件进行平整性调整，使致动器100整体结构平整度一致。并通过绝缘层144使传导部145与承载部120互相隔离绝缘。基材146位于传导单元140底面，并通过调节部150形成平整表面146a，使组合后的传导单元140平整结合于致动器100组成构件。

请参阅图2及图3，在本实施例中，传导单元140设置于最底层，当传导单元140通电时，电信号分别传导输入至第一电极141、第二电极143，其中第一电极141连通于第一传导区141a，第二电极143连通于第二传导区143b，依本实用新型的概念，不论承载部120、压电单元130、调节部150及传导单元140等各元件组成排序如何变化，只要能够使压电单元130的第一信号区134电性链接于传导单元140的第一电极141，第二信号区138电性链接于第二电极143即可，结构上不以此实施例为限制。例如第一电极141于传导单元140的邻近中央处形成第一传导区141a，利用第一传导区141a为媒介，使压电单元130的第一信号区134电性链接于传导单元140的第一电极141；在本实施例中，第二电极143于传导单元140的正中央处形成第二传导区143b，利用第二传导区143b为媒介，使压电单元130的第二信号区138电性链接于传导单元140的第二电极143，两传导区图案均可任意变化所呈现的外观形式，例如：长条形、圆弧形、三角形、多边形等其他形状，第一传导区141a与第二传导区143b的设置形状与数量不以此实施例为限。综合上述，本实用新型的第一传导区141a与第二传导区143b的设置形状与构成数量于实际应用时，只要能使第一信号区134电性链接于第一电极141，第二信号区138电性链接于第二电极143即可，两传导区所设置的导电图案的设置形状与构成数量不以本实施例为限制。

下面介绍其他形式的致动器100a。与第一实施例相同或相近的元件以相同或相近的符号表示，不再多加赘述，下面仅就不同实施例之间的主要差异之处进行说明。图6是依照本实用新型的第二实施例的一种致动器的分解示意图。图7是图6的另一视角的分解示意图。图8是图6的致动器的剖面示意图。请共同参阅图4及图8，本实施例的致动器100a与前一实施例的致动器100的主要差异在于，致动器100a更包括穿孔片160。

请参阅图6至图8，在本实施例中，将穿孔片160配置于致动部110对应于第一致动区112的中央处位置，压电单元130与前一实施例不同处还包括第一通道131，穿孔片160贯穿于第一通道131，因此，压电单元130为中空片体形式。另外，传导单元140也包括对应于穿孔片160的第二通道142，提供穿孔片160贯穿于第二通道142后，固定至致动部110的第一致动区112，致动器100a组装时，将穿孔片160依序穿设第二通道142、第一通道131后，固定至致动部110的第一致动区112。在本实施例中，穿孔片160可为金属、陶瓷、塑料等材质，穿孔片160的材质种类不以此为限制。

另外，如图6至及图7所示，在本实施例中，压电单元130呈中空环形片体形式，使穿孔片160稳固安装于压电单元130中央处的第一通道131环绕定位。但压电单元130以及穿孔片160的外观形状与配置数量不以此为限制，且压电单元130与穿孔片160之间的对应配置关系亦不以此为限制。传导单元140的第二通道142配置数量与外观形状，均是同步配合穿孔片160的配置数量与外观形状而得以任意变化，不以本实施例为限制。

请参阅图8，在本实施例中，穿孔片160底面是齐平于基材146的平整表面146a，依据本实用新型的设计概念，不论穿孔片160的底面是否与基材146的平整表面146a齐平或凸出，均不影响调节部150对于基材146的平整表面146a进行平整度调整的实施。因此，穿孔片160的底面是否与基材146的平整表面146a齐平或凸出，均是配合致动器的整体设计而变化，不以本实施例为限制。

依本实用新型的设计概念，不论致动部110、压电单元130、承载部120、调节部150、传导单元140及穿孔片160等各元件如何变化配置，均能使第一信号区134电性链接于第一电极141，第二信号区138电性链接于第二电极143。同时，不论压电单元130为实心片体或中空片体结构，均不影响压电单元130的第一信号区134及第二信号区138的电性传导。

下面介绍其他形式的致动器100b。与第一实施例相同或相近的元件以相同或相近的符号表示，不再多加赘述，下面仅就不同实施例之间的主要差异之处进行说明。图9是依照本实用新型的第三实施例的一种致动器的分解示意图。图10是图9的另一视角的分解示意图。图11是图9的致动器的剖面示意图。请共同参阅图4及图11，本实施例的致动器100b与前一实施例的致动器100的主要差异在于，传导单元140设置于致动部110与压电单元130中间。

请参阅图10，传导单元140包括第一电极141及第二电极143，其中第一电极141及第二电极143均位于同一平面且彼此电性绝缘，请参阅图9，在本实施例中，压电单元130为实心片体结构，压电单元130的第一信号区134及第二信号区138同样位于同一平面上，且第一信号区134及第二信号区138之间通过隔离部133电性隔离。压电单元130的第一信号区134电性链接于传导单元140的第一电极141，第二信号区138电性链接于传导单元140的第二电极143。

请共同参阅图4及图11，在本实施例中，传导单元140的绝缘层144、传导部145及基材146的堆叠方向与第一实施例方向相反，本实施例的传导单元140由上而下依序堆叠基材146、传导部145、绝缘层144。请参阅图9及图10，本实施例的压电单元130的第一信号区134以及第二信号区138设置方向同样与第一实施例相反，在本实施例中，第一信号区134及第二信号区138均位于第一面132的同一平面之间，同样通过隔离部133进行电性隔离，第二信号区138的传导区域则延伸至第二面136。依本实用新型的设计概念，即使压电单元130与传导单元140位置互相置换变化，同样不影响调节部150对于致动器整体结构平整性调整的实施，且同样得以使压电单元130的第一信号区134电性链接于传导单元140的第一电极141，第二信号区138电性链接于传导单元140的第二电极143。

下面介绍其他形式的致动器100c。与第三实施例相同或相近的元件以相同或相近的符号表示，不再多加赘述，下面仅就不同实施例之间的主要差异之处进行说明。图12是依照本实用新型的第四实施例的一种致动器的剖面示意图。请共同参阅图11及图12，本实施例的致动器100c与第三实施例的致动器100b的主要差异在于，致动器100c更包括穿孔片160，压电单元130为中空片体结构。

请参阅图12，传导单元140设置于致动部110与压电单元130中间，穿孔片160配置于致动部110对应于第一致动区112的中央处位置，压电单元130对应设置第一通道131，传导单元140亦设置第二通道142，调节部150配合穿孔片160的配置位置变化，形成于压电单元130、承载部120以及传导单元140所构成的空间中，致动器100c组装时将穿孔片160依序穿设第二通道142以及第一通道131后，固定至致动部110的第一致动区112。

另外，在本实施例中，穿孔片160底面是凸出于基材146的平整表面146a，依据本实用新型的设计概念，不论穿孔片160的底面是否与基材146的平整表面146a齐平或凸出，均不影响调节部150对于基材146的平整表面146a进行平整度调整的实施，因此，即使穿孔片160的底面凸出于基材146的平整表面146a，同样可进行致动器的平整度调整，且压电单元130的第一信号区134同样得以电性链接于传导单元140的第一电极141，第二信号区138则电性链接于传导单元140的第二电极143。

依本实用新型的设计概念，不论致动部110、压电单元130、承载部120、调节部150、传导单元140及穿孔片160等各元件设置位置如何变化调整，均能使第一信号区134电性链接于第一电极141，第二信号区138电性链接于第二电极143。同时，不论压电单元130为实心片体或中空片体结构，均不影响压电单元130的第一信号区134及第二信号区138的电性传导。

综上所述，本实用新型的致动器通过将压电单元130、承载部120、调节部160、传导单元140与穿孔片150配置于致动部110同一侧方向设计，配合调节部160控制致动器整体组成结构平整度，并使传导单元140的基材146具有平整表面，相较于现有已知的多层致动器组成结构，本实施例的致动器除具有较薄的整体厚度，结构微型化，另致动器整体结构具有高平整度特性，可有效增加致动器驱动效率。

在本实用新型的技术领域内，只要具备最基本的知识，可以对本实用新型的其他可操作的实施例进行改进。在本实用新型中对实质性技术方案提出了专利保护请求，其保护范围应包括具有上述技术特点的一切变化方式。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。