一种避免晶圆前后偏移的导片夹持装置的制作方法

文档序号:22022442发布日期:2020-08-28 16:36阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种避免晶圆前后偏移的导片夹持装置,包括对称结构的间隔设置的左夹持摆臂和右夹持摆臂,以及驱动所述左夹持摆臂和所述右夹持摆臂进行开合动作的摆动驱动机构,所述左夹持摆臂和所述右夹持摆臂上设有导片夹持块,所述导片夹持块上具有一排顶部开口的导片齿槽,所述左夹持摆臂的转动轴和所述右夹持摆臂转动轴设置在前端板和后端板之间,所述左夹持摆臂的摆动轴和所述右夹持摆臂摆动轴连接所述摆动驱动机构,其特征在于:所述前端板上设于前轴承孔,所述后端板上设有后轴承孔,所述前轴承孔内设有支撑所述转动轴前端的前轴承,所述后轴承孔内设有支撑所述转动轴后端的后轴承,所述前轴承孔的外侧和内侧还设有夹紧阻挡所述前轴承的前外阻挡盖和前内阻挡盖,所述后轴承孔的外侧和内侧还设有夹紧阻挡所述后轴承的后外阻挡盖和后内阻挡盖。

2.根据权利要求1所述的避免晶圆前后偏移的导片夹持装置,其特征在于:所述摆动驱动机构包括摆动驱动气缸、设置在所述摆动驱动气缸的活塞杆上的联动板,以及对称结构的左传动板和右传动板,所述左传动板的下端铰接在所述联动板的左上端,上端可转动地连接所述左夹持摆臂的摆动轴,所述右传动板的下端铰接所述联动板的右上端,上端可转动地连接所述右夹持摆臂的摆动轴。

3.根据权利要求2所述的避免晶圆前后偏移的导片夹持装置,其特征在于:所述联动板由联动竖板以及固定所述联动竖板上的联动横板构成,所述联动竖板上沿竖直方向等间距分布有多排腰型孔,所述联动横板通过螺栓固定在其中一排腰型孔上,两端超出联动竖板外。

4.根据权利要求3所述的避免晶圆前后偏移的导片夹持装置,其特征在于:所述左传动板和所述右传动板均由上传动板和下传动板构成,所述下传动板具有沿长度方向延伸的与所述上传动板宽度适配的装配槽,所述装配槽的底部具有沿长度方向延伸的长条安装孔,所述上传动板通过穿设在长条安装孔中的螺栓与所述下传动杆紧固。

5.根据权利要求1所述的避免晶圆前后偏移的导片夹持装置,其特征在于:所述导片齿槽的槽底为与晶圆片圆周边缘适配的弧形。

6.根据权利要求5所述的避免晶圆前后偏移的导片夹持装置,其特征在于:所述导片齿槽上部为圆弧形开口,下部为窄三角形槽。

7.根据权利要求1所述的避免晶圆前后偏移的导片夹持装置,其特征在于:所述转动轴上的前端位于所述前轴承后侧具有嵌槽,嵌槽内设有阻挡所述前轴承在转动轴上窜动的c型卡簧,所述前外阻挡盖包括一体结构的前外盖部和前外轴套部,所述前外轴套部从所述前端板外侧深入所述前轴承孔内并套在所述转动轴上,所述前外盖部内侧面贴附所述前端板的外侧板面,所述前外轴套部的端头抵顶阻挡所述前轴承,所述前内阻挡盖贴在所述前端板的内侧面并套在所述转动轴上阻挡所述前轴承。

8.根据权利要求1所述的避免晶圆前后偏移的导片夹持装置,其特征在于:所述转动轴的后端设于所述后轴承内,所述转动轴上位于所述后轴承的前、后侧设有嵌槽,两嵌槽内也设有阻挡所述后轴承的c型卡簧,所述后内阻挡盖包括一体结构的后内盖部和后内轴套部,所述后内轴套部从所述后端板的内侧深入所述后轴承孔内,所述后内轴套部的端头抵顶阻挡所述后轴承,所述后外阻挡盖位于所述后端板外从外侧阻挡所述后轴承。


技术总结
本实用新型公开了一种避免晶圆前后偏移的导片夹持装置,包括对称结构的间隔设置的左夹持摆臂和右夹持摆臂,所述左夹持摆臂的转动轴和所述右夹持摆臂转动轴设置在前端板和后端板之间,前端板上设于前轴承孔,后端板上设有后轴承孔,前轴承孔内设有支撑所述转动轴前端的前轴承,后轴承孔内设有支撑所述转动轴后端的后轴承,前轴承孔的外侧和内侧还设有夹紧阻挡所述前轴承的前外阻挡盖和前内阻挡盖,所述后轴承孔的外侧和内侧还设有夹紧阻挡所述后轴承的后外阻挡盖和后内阻挡盖。本实用新型的导片夹持装置即使受到冲击,左夹持摆臂的转动轴和右夹持摆臂也不会发生位置位移,能够避免晶圆片发生偏移,具有避免晶圆片破片的优点。

技术研发人员:邓信甫;李志峰;徐铭;王雪松
受保护的技术使用者:至微半导体(上海)有限公司
技术研发日:2019.11.18
技术公布日:2020.08.28
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