一种引线键合机抗振基座的制作方法

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，具体涉及一种引线键合机抗振基座。

背景技术：

半导体功率器件正在向着高度集成的方向发展，因此越来越多的半导体功率器件中芯片需要与引线框架进行键合。现有技术中一般采用引线键合机将芯片的电极与引线框架的引脚进行键合，即引线键合机中的超声波发生器产生高频信号，由换能系统将高频信号转换为高频机械振动，传统的键合机基座采用由方钢焊接后的支架承载大基板结构，抗震动性不强，该缺陷是导致全自动引线键合机整机速度无法再往上提升的瓶颈。本实用新型的目的在于克服上述缺欠，提出了一种抗震性更强的引线键合机基座。

综上所述，如何有效地解决引线框架在金属基座上发生震动位置偏移影响键合质量的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

技术实现要素：

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的在于提出提供的一种引线键合机抗振基座，可减小引线键合机在操作过程中产生的振动；具体方案是：

一种引线键合机抗振基座，包括自上而下布置的抗振底座、底座支撑组件和稳定底板；所述抗振底座上设有自上而下设置的第一阶梯和第二阶梯，所述第一阶梯上表面靠近第二阶梯的一侧设有安装用于直线电机的电机安装槽，所述电机安装槽侧壁和底壁上设有吸振垫块；所述第一阶梯上表面远离第二阶梯的一侧设有用于安装直线电机并呈矩阵布置的电机安装孔，第一阶梯上表面对应电机安装孔之间设有吸振垫块；所述支撑组件包括以可拆卸的方式固定于抗振底座下端的支撑板，各个所述支撑板在水平截面上呈h形布置；所述稳定底板固定于各个支撑板下端，所述稳定底板下端面各边缘设有稳定垫块。

本技术方案中，抗振底座上安装键合机的工作台直线电机分别通过电机安装孔和电机安装槽进行安装，电机安装槽内布置有吸振垫块，能够吸收设备在键合过程中产生的振动；同理，通过电机安装孔安装的直线电机所产生的振动也可通过吸振垫块吸收，使得整个设备具有更高的抗振性，确保设备可在高速下稳定运行时，提高键合生产效率。抗振底座通过支撑组件的支撑板进行支撑，呈h形布置的支撑板具有较高的支撑稳定性，设置在支撑板下端的稳定垫块能够稳定住设备，有利于整个机台的稳定，避免设备倾倒。

优选的，所述电机安装槽底壁还设有若干固定直线电机的固定孔。

优选的，所述电机安装槽一端设有贯穿抗振底座侧面的走线凹槽。

优选的，所述第一阶梯上表面和电机安装槽底壁和侧壁设有嵌装吸振垫块的垫块卡口。

优选的，所述支撑板上端设有活动卡入抗振底座下端面的定位凸起。

优选的，所述稳定底板上表面设有与支撑板相适配的定位安装槽，所述定位安装槽形状与支撑板的水平截面形状相适应。

优选的，所述稳定垫块通过安装柱螺接于稳定底板下端面，转动所述安装柱可调整稳定垫块在竖向支撑高度。

本实用新型的有益效果是：抗振底座上安装键合机的工作台直线电机分别通过电机安装孔和电机安装槽进行安装，设备运行过程中所产生的振动可通过吸振垫块吸收，使得整个设备具有更高的抗振性，确保设备可在高速下稳定运行时，提高键合生产效率。抗振底座通过支撑组件的支撑板进行支撑，呈h形布置的支撑板具有较高的支撑稳定性，设置在支撑板下端的稳定垫块能够稳定住设备，有利于整个机台的稳定，本实用新型有效解决了现有技术中存在的技术问题，具有较高的实用价值。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为一实施例提供的一种引线键合机抗振基座的立体图。

各个附图标记表示的含义如下；抗振底座100、电机安装槽110、电机安装孔120、走线凹槽130、吸振垫块200、支撑板300、定位凸起310、稳定底板400、定位安装槽410、稳定垫块500、安装柱600。

具体实施方式

这里，要说明的是，本实用新型涉及的功能、方法等仅仅是现有技术的常规适应性应用。因此，本实用新型对于现有技术的改进，实质在于硬件之间的连接关系，而非针对功能、方法本身，也即本实用新型虽然涉及一点功能、方法，但并不包含对功能、方法本身提出的改进。本实用新型对于功能、方法的描述，是为了更好的说明本实用新型，以便更好的理解本实用新型。

如图1所示，在一实施例中，本实用新型提供一种引线键合机抗振基座，包括自上而下布置的抗振底座100、底座支撑组件和稳定底板400；所述抗振底座100上设有自上而下设置的第一阶梯和第二阶梯，所述第一阶梯上表面靠近第二阶梯的一侧设有安装用于直线电机的电机安装槽110，所述电机安装槽110侧壁和底壁上设有吸振垫块200；所述第一阶梯上表面远离第二阶梯的一侧设有用于安装直线电机并呈矩阵布置的电机安装孔120，第一阶梯上表面对应电机安装孔120之间设有吸振垫块200；抗振底座100上安装键合机的工作台直线电机分别通过电机安装孔120和电机安装槽110进行安装，电机安装槽110内布置有吸振垫块200，能够吸收设备在键合过程中产生的振动；同理，通过电机安装孔120安装的直线电机所产生的振动也可通过吸振垫块200吸收，使得整个设备具有更高的抗振性，确保设备可在高速下稳定运行时，提高键合生产效率；此外，本实施例中抗振底座100可选用高比刚度材料制作，提高抗振底座100的共振频率，有利于进一步提高设备的抗振性。

如图1所示，为了稳定支撑抗振底座100并提高设备的稳定性，本实施例中的支撑组件包括以可拆卸的方式固定于抗振底座100下端的支撑板300，各个所述支撑板300在水平截面上呈h形布置；抗振底座100通过支撑组件的支撑板300进行支撑，呈h形布置的支撑板300具有较高的支撑稳定性，h形布置的支撑板300由于横向截面尺寸均相对较高、较窄，作为受力支撑构件的稳定性较高，进一步，所述稳定底板400固定于各个支撑板300下端，所述稳定底板下端面各边缘设有稳定垫块500。设置在支撑板300下端的稳定垫块500能够稳定住设备，有利于整个机台的稳定，避免设备倾倒。支撑板300上下两端分别与抗振底座100和稳定底板相连时，优先选用螺栓固定连接，具有较高稳定宁夏的同时方便拆装。

如前所述，安装于电机安装槽110内直线电机需要确保其安装的稳定性，本实施例在电机安装槽110底壁设有若干固定直线电机的固定孔。直线电机可通过固定孔稳定安装在电机安装槽110内。进一步，电机安装槽110一端设有贯穿抗振底座100侧面的走线凹槽130，直线电机安装线路可通过走线凹槽130布置。

如图1所示，本实施例中，吸振垫块200用于吸收设备运行时产生的振动，吸振垫块200的选用可拆卸的方式安装在抗振底座100上，即在第一阶梯上表面和电机安装槽110底壁和侧壁设有嵌装吸振垫块200的垫块卡口。在安装时，相应规格的吸振垫块200通过垫块卡口嵌装在相应位置，方便在设备维护中更换损坏的吸振垫块200。

如图1所示，支撑板300在安装在抗振底座100下方，在安装时应当确保支撑板300安装的安装精度和稳定性，所述支撑板300上端设有活动卡入抗振底座100下端面的定位凸起310。在组装时可通过定位凸起310卡入抗振底座100下端，避免安装时发生偏移。

如图1所示，支撑板300与稳定底板400固定连接时，同样需要避免支撑板300发生偏移，本实施例在稳定底板400上表面设有与支撑板300相适配的定位安装槽410，所述定位安装槽410形状与支撑板300的水平截面形状相适应。在稳定底板400时，支撑板300卡入定位安装槽410内即可防止支撑板300偏移，当设备高速运转时，可防止支撑板300偏移。

如图1所示，设备在运行时，应当确保设备水平放置在相应的使用平面上，本实施例中的稳定垫块500通过安装柱600螺接于稳定底板400下端面，转动所述安装柱600可调整稳定垫块500在竖向支撑高度。安装柱600在转动时，可调整稳定垫块500的支撑高度，便于调整稳定底板400的水平度。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例能够以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、系统和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普桶技术人员应当理解：其依然能够以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。