1.一种半导体装置,级联连接有结型fet(10)和mosfet(20),其特征在于,
具备:
上述结型fet,具有源极电极(11)、漏极电极(12)、栅极电极(13);以及
上述mosfet,具有源极电极(21)、漏极电极(22)、栅极电极(23),
上述结型fet和上述mosfet将上述结型fet的源极电极与上述mosfet的漏极电极电连接而进行级联连接,
上述结型fet具备:
第1导电型的漂移层(113);
第1导电型的沟道层(114),配置在上述漂移层上;
第1导电型的源极层(115),形成在上述沟道层的表层部,与上述沟道层相比为高杂质浓度;
作为上述栅极电极的第2导电型的栅极层(13),在上述沟道层中形成得比上述源极层深;
第2导电型的体层(116),在上述沟道层中形成得比上述源极层深,与上述栅极层分离;
漏极层(111),隔着上述漂移层而配置在与上述源极层相反的一侧;
上述源极电极,与上述源极层及上述体层电连接;以及
上述漏极电极,与上述漏极层电连接,
上述栅极层与上述体层之间的耐压被设为比上述mosfet的耐压低。
2.如权利要求1所述的半导体装置,其中,
上述体层与上述栅极层之间的长度(l)被进行了调整,以使得上述栅极层与上述体层之间的耐压比上述mosfet的耐压低。
3.如权利要求1或2所述的半导体装置,其中,
上述mosfet具备:
第1导电型的漂移层(212);
第2导电型的沟道层(213),配置在上述漂移层上;
第1导电型的源极层(216),形成在上述沟道层的表层部,与上述漂移层相比为高杂质浓度;
栅极绝缘膜(215),配置在夹在上述源极层与上述漂移层之间的上述沟道层的表面;
上述栅极电极,配置在上述栅极绝缘膜上;
漏极层(211),隔着上述漂移层而配置在与上述沟道层相反的一侧;
上述源极电极,与上述沟道层及上述源极层电连接;以及
上述漏极电极,与上述漏极层连接,
在上述漂移层形成有结晶缺陷(220),以使上述mosfet的漏电流比上述结型fet的漏电流大。
4.一种半导体装置,级联连接有结型fet(10)和mosfet(20),其特征在于,
具备:
上述结型fet,具有源极电极(11)、漏极电极(12)、栅极电极(13);以及
上述mosfet,具有源极电极(21)、漏极电极(22)、栅极电极(23),
上述结型fet和上述mosfet将上述结型fet的源极电极与上述mosfet的漏极电极电连接而进行级联连接,
上述mosfet具备:
第1导电型的漂移层(212);
第2导电型的沟道层(213),配置在上述漂移层上;
第1导电型的源极层(216),形成在上述沟道层的表层部,与上述漂移层相比为高杂质浓度;
栅极绝缘膜(215),配置在夹在上述源极层与上述漂移层之间的上述沟道层的表面;
上述栅极电极,配置在上述栅极绝缘膜上;
漏极层(211),隔着上述漂移层而配置在与上述沟道层相反的一侧;
上述源极电极,与上述沟道层及上述源极层电连接;以及
上述漏极电极,与上述漏极层连接,
在上述漂移层形成有结晶缺陷(220),以使上述mosfet的漏电流比上述结型fet的漏电流大。