半导体装置的制作方法

文档序号:25542986发布日期:2021-06-18 20:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体装置,级联连接有结型fet(10)和mosfet(20),其特征在于,

具备:

上述结型fet,具有源极电极(11)、漏极电极(12)、栅极电极(13);以及

上述mosfet,具有源极电极(21)、漏极电极(22)、栅极电极(23),

上述结型fet和上述mosfet将上述结型fet的源极电极与上述mosfet的漏极电极电连接而进行级联连接,

上述结型fet具备:

第1导电型的漂移层(113);

第1导电型的沟道层(114),配置在上述漂移层上;

第1导电型的源极层(115),形成在上述沟道层的表层部,与上述沟道层相比为高杂质浓度;

作为上述栅极电极的第2导电型的栅极层(13),在上述沟道层中形成得比上述源极层深;

第2导电型的体层(116),在上述沟道层中形成得比上述源极层深,与上述栅极层分离;

漏极层(111),隔着上述漂移层而配置在与上述源极层相反的一侧;

上述源极电极,与上述源极层及上述体层电连接;以及

上述漏极电极,与上述漏极层电连接,

上述栅极层与上述体层之间的耐压被设为比上述mosfet的耐压低。

2.如权利要求1所述的半导体装置,其中,

上述体层与上述栅极层之间的长度(l)被进行了调整,以使得上述栅极层与上述体层之间的耐压比上述mosfet的耐压低。

3.如权利要求1或2所述的半导体装置,其中,

上述mosfet具备:

第1导电型的漂移层(212);

第2导电型的沟道层(213),配置在上述漂移层上;

第1导电型的源极层(216),形成在上述沟道层的表层部,与上述漂移层相比为高杂质浓度;

栅极绝缘膜(215),配置在夹在上述源极层与上述漂移层之间的上述沟道层的表面;

上述栅极电极,配置在上述栅极绝缘膜上;

漏极层(211),隔着上述漂移层而配置在与上述沟道层相反的一侧;

上述源极电极,与上述沟道层及上述源极层电连接;以及

上述漏极电极,与上述漏极层连接,

在上述漂移层形成有结晶缺陷(220),以使上述mosfet的漏电流比上述结型fet的漏电流大。

4.一种半导体装置,级联连接有结型fet(10)和mosfet(20),其特征在于,

具备:

上述结型fet,具有源极电极(11)、漏极电极(12)、栅极电极(13);以及

上述mosfet,具有源极电极(21)、漏极电极(22)、栅极电极(23),

上述结型fet和上述mosfet将上述结型fet的源极电极与上述mosfet的漏极电极电连接而进行级联连接,

上述mosfet具备:

第1导电型的漂移层(212);

第2导电型的沟道层(213),配置在上述漂移层上;

第1导电型的源极层(216),形成在上述沟道层的表层部,与上述漂移层相比为高杂质浓度;

栅极绝缘膜(215),配置在夹在上述源极层与上述漂移层之间的上述沟道层的表面;

上述栅极电极,配置在上述栅极绝缘膜上;

漏极层(211),隔着上述漂移层而配置在与上述沟道层相反的一侧;

上述源极电极,与上述沟道层及上述源极层电连接;以及

上述漏极电极,与上述漏极层连接,

在上述漂移层形成有结晶缺陷(220),以使上述mosfet的漏电流比上述结型fet的漏电流大。


技术总结
在级联连接有JFET(10)和MOSFET(20)的半导体装置中,JFET(10)具备漂移层(113)、配置在漂移层(113)上的沟道层(114)、形成在沟道层(114)的表层部且与沟道层(114)相比为高杂质浓度的源极层(115)、在沟道层(114)中形成得比源极层(115)深的栅极层(13)、在沟道层(114)中形成得比源极层(115)深且与栅极层(13)分离的体层(116)、隔着漂移层(113)而配置在与源极层(115)相反的一侧的漏极层(111)。而且,使栅极层(13)与体层(116)之间的耐压比MOSFET(20)的耐压低。

技术研发人员:河野宪司
受保护的技术使用者:株式会社电装
技术研发日:2019.11.05
技术公布日:2021.06.18
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